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Nuovo tipo di metodo di produzione target in lega di titanio-alluminio

2021年10月10日

Attualmente, i principali impianti di produzione di target sputtering nel mondo utilizzano due diversi metodi per la produzione di target sputtering in lega di alluminio. Realizzato mediante stampaggio a spruzzo. Per quanto riguarda i metodi di fusione/forgiatura noti, durante la produzione di obiettivi per sputtering in lega di alluminio, l'aggiunta di elementi di lega spesso causa la segregazione degli obiettivi di sputtering della lega di alluminio, che a sua volta rende la qualità dei film sputtering più scadente e La superficie del target sputtering è incline a produrre microparticelle, che influenzerà anche l'uniformità delle proprietà del film. Se il bersaglio di sputtering in lega di alluminio è realizzato con il noto metodo di formatura a spruzzo, anche se i relativi svantaggi sopra menzionati possono essere evitati, renderà il bersaglio sputtering Il costo di produzione è notevolmente aumentato, soprattutto quando si realizzano bersagli sputtering che non sono facili da forgiare e devono utilizzare l'equalizzazione a caldo, il costo sarà aumentato a causa dell'uso dell'equalizzazione a caldo.

Al fine di rendere il processo di produzione di obiettivi in ​​lega di titanio-alluminio più facile e a basso costo, ecco un metodo per realizzare obiettivi sputtering in lega di alluminio con polvere spray a gas. Rispetto alla polvere di materia prima del bersaglio sputtering, la polvere di lega viene setacciata per ottenere la dimensione delle particelle di polvere appropriata, e infine la polvere viene pressata a caldo sotto vuoto per realizzare l'obiettivo di sputtering in lega di alluminio. Questo metodo per realizzare obiettivi di sputtering in lega di alluminio con polvere spray ad aria può essere applicato alla produzione di vari obiettivi di sputtering in lega di alluminio (alluminio-cromo, alluminio-silicio-rame, alluminio-titanio, eccetera.). Le fasi di implementazione preferite sono: fornire materie prime metalliche per realizzare obiettivi di sputtering in lega di alluminio e fonderli in metallo fuso; poi, utilizzare il metodo a spruzzo di gas per produrre polveri metalliche dal metallo fuso; finalmente, riscaldare le polveri metalliche con il vuoto Formato in materiale bersaglio per la polverizzazione in lega di alluminio, e passare il gas inerte come gas di protezione. Questo metodo può evitare le carenze della segregazione del materiale e delle microparticelle, e rendere gli obiettivi sputtering di alta qualità più veloci ed economici.

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