Produzione e applicazione di obiettivi Sputtering in alluminio e titanio con rivestimento PVD

Metodo di fusione tradizionalmente utilizzato e metodo di metallurgia delle polveri per produrre target in lega di alluminio e titanio.

Il metodo di fusione dei bersagli in lega di alluminio e titanio non può evitare la porosità e il restringimento. I tubi e i lingotti in fusione di alluminio di titanio di grandi dimensioni non possono garantire la tenuta e l'effetto impermeabile durante la realizzazione del bersaglio del tubo rotante, e mentre la parete del tubo è incisa, lo spessore della parete cambia Sottile, fori allentati e di restringimento finché c'è un foro collegato, la tenuta peggiorerà, quelli più leggeri coleranno, il tubo target inizierà a scaricarsi, o una grande quantità di impurità parteciperà alla reazione e farà cadere il film o il colore è sbagliato.. Nei casi più gravi, l'acqua viene iniettata direttamente dalla cavità di restringimento alla camera del vuoto, che contaminerà la cavità reale e l'unità del vuoto.

Produzione del processo di metallurgia delle polveriBersaglio in alluminio titanioNon ci sono problemi di porosità e ritiro, ma dal punto di vista microscopico della metallurgia delle polveri, è anche un materiale poroso, quindi se vuoi fareObiettivo del tubo rotante in alluminio al titanio, I requisiti per la compattezza del materiale sono molto severi, la densità deve essere maggiore di 98%, ma soddisfare i requisiti di densità non significa che possa essere utilizzato. Se il contenuto di ossigeno del lingotto di alluminio di titanio è elevato e la microstruttura è irragionevole, lo stress interno del lingotto di alluminio di titanio è grande, ed è facile crollare, e non può essere utilizzato come bersaglio del tubo rotante. Dunque, ci sono molti requisiti per la produzione di polvere e il rapporto granulometrico..Anche se queste condizioni sono soddisfatte, l'anello in alluminio e titanio con metallurgia delle polveri deve essere legato al tubo in acciaio inossidabile o al tubo in titanio. A causa del grande coefficiente di dilatazione termica dell'alluminio al titanio, l'espansione del target locale può raggiungere lo zero durante lo sputtering..5～1m, quindi il metodo tradizionale di legare i lingotti non può risolvere efficacemente questo problema. Si verifica la separazione dei lingotti leganti in titanio e alluminio, e l'energia termica della superficie bersaglio non può essere condotta e scoppia..Tuttavia, lo stretto legame di corrispondenza è inaffidabile, e la qualità del bersaglio in lega di alluminio e titanio spruzzato al plasma è scadente..

Rivestimento decorativo in oro rosa nell'orologio, gioielleria, e industrie dell'occhialeria. Recentemente, molti requisiti non contengono carbonio e rendono ulteriormente il colore rosa sottostante vicino al viso oro rosa..Secondo noi, TiCN non può più soddisfare i requisiti. TiAlN è la soluzione più perfetta. I gioielli per orologi di fascia bassa non hanno requisiti per lo spessore e la lucentezza del film. La maggior parte di loro utilizza bersagli di alluminio ad arco in titanio per depositare TiAlN. Gli orologi di marca di fascia alta richiedono uno spessore superiore a 1um e lucentezza. Impossibile far cadere l'arco. L'arco è influenzato dalle goccioline e non ha alcun vantaggio in pellicole lisce e spesseO'KellySi può vedere dal feedback dell'attuale ordine di fornitura che un modo migliore è depositare TiAIN con un bersaglio a tubo rotante, non solo il colore è più vicino all'oro rosa, ma la brillantezza non sarà alterata dopo l'aumento dello spessore..