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In che modo la densità relativa e la porosità del materiale target influenzano la qualità del rivestimento?

2021年10月10日

La densità relativa del bersaglio è il rapporto tra la densità effettiva del bersaglio e la densità teorica. La densità teorica del bersaglio monocomponente è la densità cristallina. La densità teorica della lega o della miscela target è determinata dalla densità teorica di ciascun componente e dalla sua composizione nella lega o nella miscela. Calcolato in percentuale. La struttura del bersaglio di spruzzatura termica è allentata e porosa, e il contenuto di ossigeno è alto (anche se si tratta di spruzzatura sotto vuoto, è difficile evitare la produzione di ossidi e nitruri nella lega bersaglio), la superficie è grigia, manca di lucentezza metallica, e le impurità adsorbite e l'umidità sono i fattori principali. La fonte di inquinamento ostacola la rapida acquisizione del vuoto spinto, porta facilmente allo scarico durante il processo di sputtering, e brucia persino il materiale bersaglio.

Allo stesso tempo, l'alta temperatura istantanea della superficie sputtering del bersaglio farà facilmente cadere le particelle sciolte, contaminare la superficie del vetro, e influiscono sulla qualità del rivestimento. Esistono regole chiare per il rilascio puntuale della superficie del vetro rivestito. Maggiore è la densità relativa, più veloce è il tasso di formazione del film e più stabile è il processo di sputtering.. In base alla differenza nel processo di preparazione del materiale target, la densità relativa dell'obiettivo della fusione di fusione dovrebbe essere garantita essere superiore 98%, e l'obiettivo della metallurgia delle polveri dovrebbe essere garantito al di sopra 97% per uso di produzione..Pertanto, è necessario controllare rigorosamente la densità del materiale target per ridurre il verificarsi di gocce di scorie. Il materiale target di spruzzatura ha una bassa densità e un basso costo di preparazione. Quando la densità relativa può garantire più di 90%, generalmente non influisce sull'uso. Attualmente, i bersagli SiA1 utilizzati in Cina sono tutti bersagli a spruzzo..

Oltre alla densificazione, se il materiale target è anomalo durante il processo di produzione, come particelle di grandi dimensioni che cadono o che si restringono durante il riscaldamento, più pori (difetti interni) sarà formato, e l'interno del materiale di destinazione apparirà più grande (obiettivo di fusione>2mm, bersaglio di spruzzatura> 0.5mm) o fori più densi si scaricheranno a causa della concentrazione di cariche, che influenzerà l'uso. Gli obiettivi con bassa densità e pori sono soggetti a scheggiature durante la successiva lavorazione, manipolazione o installazione. Il materiale target con un'elevata densità relativa e pochi pori ha una buona conduttività termica, e il calore sulla superficie del materiale target sputtering viene trasferito facilmente e rapidamente alla superficie interna del materiale target o all'acqua di raffreddamento nel rivestimento, e la dissipazione del calore è buona, garantendo così la stabilità del processo di formazione del film.

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