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Spiegare la conoscenza dello sputtering dello sputtering del magnetron a media frequenza target

2021年10月10日

Lo sputtering di magnetron include molti tipi. Ognuno ha diversi principi di funzionamento e oggetti applicativi. Ma c'è una cosa in comune: l'interazione tra il campo magnetico e gli elettroni fa sì che gli elettroni avvolgano la superficie del bersaglio, aumentando così la probabilità che gli elettroni colpiscano il gas argon per produrre ioni. Gli ioni generati si scontrano con la superficie del bersaglio sotto l'azione del campo elettrico per polverizzare il bersaglio. Negli ultimi decenni di sviluppo, tutti hanno gradualmente adottato i magneti permanenti, e magneti a bobina usati raramente..

Il principio dello sputtering a frequenza intermedia è lo stesso di quello dello sputtering DC generale. La differenza è che lo sputtering DC usa la canna come anodo, mentre lo sputtering a frequenza intermedia è accoppiato. La partecipazione della canna deve essere determinata dal design generale, e l'intero sistema Durante il processo di sputtering, la disposizione dell'anodo e del catodo è correlata. Ci sono molti modi per partecipare al ciclo del rapporto. Diversi metodi possono ottenere differenti rese di sputtering e differenti densità di ioni..

La tecnologia principale dello sputtering a frequenza intermedia risiede nella progettazione e nell'applicazione dell'alimentatore. Attualmente, i metodi di output più maturi sono l'onda sinusoidale e l'onda quadra a impulsi. Ognuno ha i suoi vantaggi e svantaggi. Primo, considerare il tipo di strato di pellicola e analizzare quale metodo di emissione di potenza è adatto per quale. Strato di pellicola, è possibile utilizzare le caratteristiche dell'alimentatore per ottenere l'effetto film desiderato.

Il target viene utilizzato per target a frequenza intermedia, e alcuni bersagli sputtering usano tre coppie. I bersagli sono relativamente grandi. Per quanto riguarda la frequenza intermedia, la maggior parte dei pezzi sono placcati con del metallo. Tali forni sottovuoto sono generalmente realizzati relativamente grandi, che può stabilire molte parti del compito, e il film placcato è più denso..

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