Nnọọ na webụsaịtị anyị
Nnọọ na webụsaịtị anyị0086-18429179711 Nnọọ na webụsaịtị anyị[email protected] aliyun.com

Nnọọ na webụsaịtị anyị

Nnọọ na webụsaịtị anyị Nnọọ na webụsaịtị anyị Nnọọ na webụsaịtị anyị Nnọọ na webụsaịtị anyị

Ụkpụrụ nke magnetron sputtering sputtering zaa

2021年8月31日

 

Ụkpụrụ nke sputtering lekwasịrị magnetron sputtering:

A na -etinye oghere ndọta eletriki na mpaghara eletriki n'etiti ebumnuche a na -agbasasị (cathode) na anode, na gas inert achọrọ (na -emekarị Ar gas) juputara na nnukwu oghere oghere. Ụdị magnet na -adịgide adịgide 250-350 n'elu ihe elekwasịrị anya. Ogwe ndọta Gaussian, na mpaghara eletriki eletriki dị elu na-etolite oghere elektrik.

N'okpuru ọrụ nke ọkụ eletrik, Ar gas na -abanye n'ime ion na electrons dị mma. A na -etinye ụfọdụ nnukwu voltaji na -adịghị mma na ebumnuche. Igwe ndọta na -emetụta elektrọn ndị ebuputara na ebumnobi yana ohere ionization nke gas na -arụ ọrụ na -abawanye, na-akpụpụta plasma dị elu na nso cathode. N'okpuru ọrụ nke ike Lorentz, Ions na -agba ọsọ ruo ebe a na -atụ anya ma na -atụba elu elu ya na nnukwu ọsọ, nke mere na atọm ndị si na ebe ebumpụta ụwa pụta ga -agbaso ụkpụrụ nke ntụgharị ntụgharị wee jiri ike kinetic dị elu fepụ n'elu ebe elekwasịrị anya.. Tinye mkpụrụ n'ime fim.

A na -ekewa ihe ndọta magnetọ n'ụdị abụọ: mkpọtụ ụtụ na mgbasa ozi redio ugboro ugboro. Ụkpụrụ akụrụngwa na -agbasa sputtering dị mfe, na ọnụego ya dịkwa ngwa ngwa mgbe ọ na -agbasa ọla. Na mgbakwunye na sputtering conductive ihe, nwekwara ike sputtered ihe na-abụghị conductive. N'otu oge ahụ, ọ nwekwara ike na -eduzi reactive sputtering iji kwadebe ngwa ihe dị ka oxides, nitrides, na carbides..Ọ bụrụ na ugboro ugboro redio a na -abawanye, ọ na -aghọ plasma microwave sputtering. Ugbu a, resonance elektrọn cyclotron (ECR) a na -ejikarị sputtering plasma microwave..

1.The sputtering akụrụngwa bụ mgbagwoju anya na-achọ a elu-voltaji ngwaọrụ

Nnọọ na webụsaịtị anyị Ihe mgbaru ọsọ na-agbasa Magnetron
  • Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị

  • Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị & Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị

  • Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị

  • Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị

    Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị, Ltd. Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị, Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị.

  • Kpọtụrụ anyị

    Ekwentị:86-400-660-1855
    Ịdị ọcha n'elu ala ịdị ọcha n'elu ala ezughị:[email protected] aliyun.com
    Weebụ:www.chn-ti.com