Nrụpụta na ngwa nke PVD kpuchie titanium aluminum sputtering target

Usoro nkedo eji eme ihe na ụzọ igwe eji eme ntụ ntụ iji mepụta ebumnuche alloy titanium.

Usoro nkedo nke ebumnuche alloy titanium enweghị ike izere porosity na shrinkage. Nnukwu nha titanium aluminom nkedo ọkpọkọ na ingots enweghị ike ekwe nkwa nsonazụ na mmetụta mgbochi mmiri mgbe ị na-eme ebumnuche ọkpọ na-atụgharị., na dịka a na -etinyere mgbidi tube, ọkpụrụkpụ mgbidi na -agbanwe Agbanwe, oghere rụrụ arụ na ibelata ma ọ bụrụhaala na enwere oghere ejikọtara, akara ahụ ga -aka njọ, ndị nke dị mfe ga -awụfu, tube echere ga -amalite ịgbapụta, ma ọ bụ nnukwu adịghị ọcha ga -esonye na mmeghachi omume ma mee ka ihe nkiri daa ma ọ bụ agba adịghị mma..N'ọnọdụ ndị siri ike, a na -etinye mmiri ozugbo site na oghere na -ebelata ihe ruo na oghere agụụ, nke ga -emetọ ezigbo oghere na oghere oghere.

Powder metallurgy usoro mmepụtaTitanium aluminum icheEnweghị nsogbu nke porosity na shrinkage, mana site na nlele microscopic nke igwe onyonyo uzuzu, ọ bụkwa ihe na -adịghị mma, yabụ ọ bụrụ na ịchọrọ imeTitanium aluminom na -atụgharị tube, Ihe achọrọ maka ịkpakọba ihe siri ike, njupụta ahụ kwesịrị ịdị ukwuu karịa 98%, ma izute njupụta chọrọ apụtaghị na enwere ike iji ya .Ọ bụrụ na ọdịnaya oxygen nke titanium aluminum ingot dị elu yana microstructure enweghị ezi uche., nrụgide dị n'ime nke titanium aluminom ingot buru ibu, ọ dịkwa mfe ịkwatu, na enweghị ike iji ya dị ka ebumnobi ntụgharị na -atụgharị. Ya mere, enwere ọtụtụ ihe achọrọ maka imepụta ntụ na nha nha nha..Ọ bụrụgodi na emezuru ọnọdụ ndị a, ekwesịrị ka ejikọ mgbanaka igwe ojii titanium aluminom na tube igwe anaghị agba nchara ma ọ bụ tube titanium. N'ihi nnukwu mgbasawanye ọnụọgụ nke aluminom titanium, mmụba nke ebumnuche mpaghara nwere ike iru efu n'oge sputtering..5 ～ 1m, ya mere, usoro ọdịnala nke ijikọ ingots enweghị ike idozi nsogbu a nke ọma. Nkewa nke ingots titanium na aluminom na -eme, na ike ọkụ nke elu elekwasịrị anya enweghị ike iduzi ya wee gbawaa..Otú ọ dị, njikọ ejikọtara ọnụ siri ike, na ịdị mma nke plasma fesara titanium aluminum alloy target adịghị mma..

Ihe mkpuchi eji achọ mma bilitere ọla edo na elekere, ọla, na ụlọ ọrụ anya anya. Na nso nso a, ọtụtụ ihe ndị a na -achọ anaghị enwe carbon ma na -emekwa ka ụcha rose gbara agba dị nso na ihu rose rose .. N'echiche anyị, TiCN enwekwaghị ike mezuo ihe ndị a chọrọ. TiAlN bụ ihe ngwọta zuru oke. Ihe ịchọ mma elekere dị ala enweghị ihe achọrọ maka ọkpụrụkpụ ihe nkiri na gloss. Ọtụtụ n'ime ha na -eji arc titanium aluminom lekwasịrị anya itinye TiAlN. Elekere akara aka dị elu chọrọ ọkpụrụkpụ karịa 1um na gloss. Enweghị ike ịdaba. Mmiri mmiri na -emetụta arc ya, ọ nweghịkwa uru na fim dị larịịO'KellyEnwere ike ịhụ ya site na nzaghachi nke usoro ọkọnọ dị ugbu a na ụzọ ka mma bụ itinye TiAIN na ebumnuche ọkpọ na -atụgharị., ọ bụghị naanị na agba dị nso na ọla edo rose, mana ọnya ahụ agaghị emetụta ya mgbe ọkpụrụkpụ rịrị elu..