Selamat datang di website kami
0086-18429179711 [email protected]

Berita industri

» Berita » Berita industri

Prinsip target sputtering magnetron

202131 Agustus

 

Prinsip sputtering target sputtering magnetron:

Medan magnet ortogonal dan medan listrik ditambahkan di antara target yang tergagap (katoda) dan anoda, dan gas inert yang dibutuhkan (biasanya gas Ar) diisi di ruang vakum tinggi. Bentuk magnet permanen 250-350 di permukaan bahan target. Medan magnet Gaussian, dan medan listrik tegangan tinggi membentuk medan elektromagnetik ortogonal.

Di bawah aksi medan listrik, Gas Ar terionisasi menjadi ion positif dan elektron. Tegangan tinggi negatif tertentu diterapkan ke target. Elektron yang dipancarkan dari target dipengaruhi oleh medan magnet dan probabilitas ionisasi dari gas yang bekerja meningkat, membentuk plasma berdensitas tinggi di dekat katoda. Di bawah aksi gaya Lorentz, Ion Ar berakselerasi ke permukaan target dan membombardir permukaan target dengan kecepatan tinggi, sehingga atom-atom yang keluar dari target mengikuti prinsip konversi momentum dan terbang menjauh dari permukaan target dengan energi kinetik yang lebih tinggi. Deposisi substrat ke dalam film.

Sputtering magnetron umumnya dibagi menjadi dua jenis:: sputtering anak sungai dan sputtering frekuensi radio. Prinsip peralatan sputtering anak sungai sederhana, dan kecepatannya juga cepat saat menyemburkan logam..Rentang aplikasi sputtering frekuensi radio lebih luas. Selain bahan konduktif tergagap, bahan non-konduktif juga bisa tergagap. Pada waktu bersamaan, itu juga dapat melakukan sputtering reaktif untuk menyiapkan bahan senyawa seperti oksida, nitrida, dan karbida..Jika frekuensi frekuensi radio dinaikkan, itu menjadi gelombang plasma plasma sputtering. Saat sekarang, resonansi siklotron elektron (ECR) jenis microwave plasma sputtering umum digunakan..

Mungkin kamu juga suka

  • Kategori

  • Berita Baru & Blog

  • Bagikan ke teman

  • PERUSAHAAN

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Bahan Logam Co., Ltd. adalah perusahaan Cina yang berspesialisasi dalam pemrosesan logam non-ferrous, melayani pelanggan global dengan produk berkualitas tinggi dan layanan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi kami

    Seluler:86-400-660-1855
    Surel:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com