Manufaktur dan penerapan target Sputtering aluminium titanium berlapis PVD

Metode pengecoran dan metode metalurgi serbuk yang digunakan secara tradisional untuk menghasilkan target paduan aluminium titanium.

Metode pengecoran target paduan aluminium titanium tidak dapat menghindari porositas dan penyusutan. Pipa dan ingot aluminium titanium ukuran besar tidak dapat menjamin efek penyegelan dan tahan air saat membuat target tabung berputar, dan saat dinding tabung terukir, ketebalan dinding berubah Tipis, lubang longgar dan susut selama ada lubang yang terhubung, penyegelan akan menjadi lebih buruk, yang lebih ringan akan bocor, tabung target akan mulai keluar, atau sejumlah besar pengotor akan berpartisipasi dalam reaksi dan menyebabkan film jatuh atau warnanya salah..Dalam kasus yang parah, air langsung disuntikkan dari rongga susut ke ruang vakum, yang akan mencemari rongga nyata dan unit vakum.

Produksi proses metalurgi serbukTarget aluminium titaniumTidak ada masalah porositas dan penyusutan, tetapi dari sudut pandang mikroskopis metalurgi serbuk, itu juga merupakan bahan berpori, jadi jika Anda ingin membuatTarget tabung berputar aluminium titanium, Persyaratan untuk kekompakan material sangat ketat, densitasnya harus lebih besar dari 98%, tetapi memenuhi persyaratan kepadatan tidak berarti dapat digunakan. Jika kandungan oksigen dari ingot aluminium titanium tinggi dan struktur mikronya tidak masuk akal, tegangan internal ingot aluminium titanium besar, dan mudah runtuh, dan itu tidak dapat digunakan sebagai target tabung berputar. Karena itu, ada banyak persyaratan untuk produksi bubuk dan rasio ukuran partikel..Bahkan jika kondisi ini terpenuhi, cincin aluminium titanium metalurgi serbuk perlu diikat ke tabung baja tahan karat atau tabung titanium. Karena koefisien ekspansi termal yang besar dari titanium aluminium, ekspansi target lokal dapat mencapai nol selama sputtering..5～1m, jadi metode tradisional mengikat batangan tidak dapat secara efektif menyelesaikan masalah ini. Pemisahan ingot pengikat titanium dan aluminium terjadi, dan energi termal dari permukaan target tidak dapat dilakukan dan meledak..Namun, ikatan pencocokan yang ketat tidak dapat diandalkan, dan kualitas target paduan aluminium titanium yang disemprotkan plasma buruk..

Lapisan dekoratif rose gold di jam tangan, perhiasan, dan industri kacamata. Baru-baru ini, banyak persyaratan tidak mengandung karbon dan selanjutnya membuat warna mawar yang mendasarinya dekat dengan wajah rose gold..Menurut pendapat kami, TiCN tidak dapat lagi memenuhi persyaratan. TiAlN adalah solusi paling sempurna. Perhiasan jam tangan kelas bawah tidak memiliki persyaratan untuk ketebalan dan kilap film. Sebagian besar dari mereka menggunakan target aluminium busur titanium untuk menyimpan TiAlN. Jam tangan merek kelas atas membutuhkan ketebalan lebih dari 1um dan gloss. Tidak bisa jatuh. Busur dipengaruhi oleh tetesan dan tidak memiliki keunggulan dalam film yang halus dan tebal. DariO'KellyDapat dilihat dari umpan balik dari pesanan pasokan saat ini bahwa cara yang lebih baik adalah dengan menyetor TiAIN dengan target tabung berputar, bukan hanya warnanya yang mendekati rose gold, tapi gloss tidak akan terpengaruh setelah ketebalan meningkat..