Selamat datang di website kami
0086-18429179711 [email protected]

Berita industri

» Berita » Berita industri

Bagaimana mempersiapkan target sputtering

2021年10月19日

Target sputtering mengacu pada sumber sputtering yang tergagap dan disimpan pada substrat oleh sputtering magnetron, pelapisan ion multi-busur atau jenis peralatan pelapis lainnya di bawah kondisi proses yang sesuai untuk membentuk berbagai film tipis fungsional. Target sputtering banyak digunakan di berbagai bidang seperti dekorasi, perkakas, kaca, perangkat elektronik, semikonduktor, rekaman magnetik, tampilan datar, sel surya, dll. Bahan target yang dibutuhkan di berbagai bidang berbeda.

Persiapan target sputtering

Persiapan bahan target sputtering dapat dibagi menjadi dua kategori:: pengecoran cair dan metalurgi serbuk sesuai dengan prosesnya. Selain secara ketat mengontrol kemurnian, kepadatan, ukuran butir dan orientasi kristal material, kondisi perlakuan panas dan metode pemrosesan selanjutnya juga perlu dikontrol secara ketat. kontrol.

1. Metalurgi serbuk
Saat menyiapkan target dengan metalurgi serbuk, kuncinya terletak pada: (1) memilih bubuk kemurnian tinggi dan ultra-halus sebagai bahan baku; (2) memilih teknologi pembentukan dan sintering yang dapat mencapai densifikasi cepat untuk memastikan porositas target yang rendah dan mengontrol ukuran butir; (3) Proses persiapan secara ketat mengontrol pengenalan elemen pengotor.

2. Metode pengecoran peleburan
Metode pengecoran peleburan adalah salah satu metode dasar untuk membuat target sputtering.Untuk memastikan bahwa kandungan elemen pengotor dalam ingot serendah mungkin, peleburan dan pengecorannya biasanya dilakukan di bawah vakum atau atmosfer pelindung. Namun, selama proses pengecoran, tidak dapat dihindari bahwa ada porositas tertentu di dalam struktur material. Pori-pori ini akan menyebabkan partikel terciprat selama proses sputtering, sehingga mempengaruhi kualitas film tergagap..Untuk alasan ini, tindak lanjut pemrosesan termal dan proses perlakuan panas diperlukan untuk mengurangi porositasnya.

Mungkin kamu juga suka

  • Kategori

  • Berita Baru & Blog

  • Bagikan ke teman

  • PERUSAHAAN

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Bahan Logam Co., Ltd. adalah perusahaan Cina yang berspesialisasi dalam pemrosesan logam non-ferrous, melayani pelanggan global dengan produk berkualitas tinggi dan layanan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi kami

    Seluler:86-400-660-1855
    Surel:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com