Welcome to our website
0086-18429179711 [email protected]

Industrial news

» News » Industrial news

Bagaimana kepadatan relatif dan porositas bahan target mempengaruhi kualitas lapisan?

2021年10月10日

Kepadatan relatif target adalah rasio kepadatan aktual target dengan kepadatan teoretis. Kepadatan teoretis dari target komponen tunggal adalah kerapatan kristal. Kepadatan teoritis dari paduan atau target campuran ditentukan oleh kerapatan teoritis masing-masing komponen dan komposisinya dalam paduan atau campuran. Dihitung dengan persentase. Struktur target penyemprotan termal longgar dan keropos, dan kandungan oksigennya tinggi (bahkan jika itu adalah penyemprotan vakum, sulit untuk menghindari produksi oksida dan nitrida dalam target paduan), permukaannya abu-abu, tidak memiliki kilau logam, dan kotoran dan kelembaban yang teradsorpsi adalah faktor utama. Sumber polusi menghalangi perolehan vakum tinggi yang cepat, mudah menyebabkan pelepasan selama proses sputtering, dan bahkan membakar bahan target.

Pada waktu bersamaan, suhu tinggi seketika dari permukaan sputtering target akan dengan mudah menyebabkan partikel lepas jatuh, mencemari permukaan kaca, dan mempengaruhi kualitas lapisan.. Ada peraturan yang jelas untuk pelepasan titik dari permukaan kaca yang dilapisi. Semakin tinggi kepadatan relatif, semakin cepat laju pembentukan film dan semakin stabil proses sputtering..Sesuai dengan perbedaan proses preparasi bahan target, kepadatan relatif dari target casting fusi harus dijamin di atas 98%, dan target metalurgi serbuk harus dijamin di atas 97% untuk penggunaan produksi.. Oleh karena itu, perlu untuk secara ketat mengontrol kepadatan bahan target untuk mengurangi terjadinya penurunan terak.. Bahan target penyemprotan memiliki kepadatan rendah dan biaya persiapan rendah. Ketika kepadatan relatif dapat menjamin lebih dari 90%, itu umumnya tidak mempengaruhi penggunaan. Saat sekarang, target SiA1 yang digunakan di China semuanya adalah target penyemprotan..

Selain densifikasi, jika bahan target tidak normal selama proses produksi, seperti partikel besar jatuh atau menyusut lubang saat dipanaskan, lebih banyak pori-pori (cacat internal) akan terbentuk, dan bagian dalam bahan target akan tampak lebih besar (target peleburan>2mm, sasaran penyemprotan> 0.5mm) atau lubang yang lebih padat akan keluar karena konsentrasi muatan, yang akan mempengaruhi penggunaan. Target dengan kepadatan dan pori-pori rendah rentan terhadap chipping selama pemrosesan selanjutnya, penanganan atau pemasangan. Bahan target dengan kepadatan relatif tinggi dan sedikit pori memiliki konduktivitas termal yang baik, dan panas pada permukaan bahan target sputtering mudah dan cepat dipindahkan ke permukaan bagian dalam bahan target atau air pendingin di liner, dan pembuangan panasnya bagus, sehingga memastikan stabilitas proses pembentukan film.

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • Hubungi kami

    Seluler:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com