Welcome to our website
0086-18429179711 [email protected]

Industrial news

» News » Industrial news

Jelaskan pengetahuan sputtering target sputtering magnetron frekuensi menengah

2021年10月10日

Magnetron sputtering mencakup banyak jenis. Masing-masing memiliki prinsip kerja dan objek aplikasi yang berbeda. Tetapi ada satu kesamaan: interaksi antara medan magnet dan elektron membuat elektron berputar di sekitar permukaan target, sehingga meningkatkan kemungkinan elektron mengenai gas argon untuk menghasilkan ion. Ion yang dihasilkan bertabrakan dengan permukaan target di bawah aksi medan listrik untuk menyemburkan target sputtering. Dalam beberapa dekade terakhir pengembangan, setiap orang secara bertahap mengadopsi magnet permanen, dan magnet koil yang jarang digunakan..

Prinsip sputtering frekuensi menengah sama dengan prinsip sputtering DC umum. Perbedaannya adalah DC sputtering menggunakan laras sebagai anoda, sementara sputtering frekuensi menengah dipasangkan. Apakah laras berpartisipasi harus ditentukan oleh desain keseluruhan, dan seluruh sistem Selama proses sputtering, pengaturan anoda dan katoda terkait. Ada banyak cara untuk berpartisipasi dalam siklus rasio. Metode yang berbeda dapat memperoleh hasil sputtering yang berbeda dan kepadatan ion yang berbeda..

Teknologi utama sputtering frekuensi menengah terletak pada desain dan aplikasi catu daya. Saat sekarang, metode keluaran yang lebih matang adalah gelombang sinus dan gelombang persegi pulsa. Masing masing punya kelebihan dan kekurangan. Pertama, pertimbangkan jenis lapisan film dan analisis metode keluaran daya mana yang cocok untuknya. Lapisan film, Anda dapat menggunakan karakteristik catu daya untuk mendapatkan efek film yang diinginkan.

Target digunakan untuk target frekuensi menengah, dan beberapa target sputtering menggunakan tiga pasang. Targetnya relatif besar. Sejauh menyangkut frekuensi menengah, sebagian besar benda kerja dilapisi dengan beberapa logam..Tungku vakum seperti itu umumnya dibuat relatif besar, yang dapat meletakkan banyak bagian tugas, dan film berlapis lebih padat..

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • Hubungi kami

    Seluler:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com