Selamat datang di website kami
0086-18429179711 [email protected]

Berita

» Berita

Analisis masalah keracunan dan penghitaman setengah target setelah sputtering

202131 Agustus

 

Pertanyaan: Teknologi sputtering magnetron reaktif menyimpan film zirkonium nitrida, targetnya adalah dua inci, gas sputtering adalah argon, gas reaktif adalah N2, kekuatannya adalah 300W, catu daya frekuensi radio, deposisi adalah dua jam, dan target dikeluarkan setelah selesai. Lihatlah fenomena yang dijelaskan dalam judul, apakah itu target keracunan atau alasan lain, tapi kok yang muncul cuma setengahnya?

Analisis alasan 1: Ini mungkin terkait dengan pengenalan daya frekuensi radio

Analisis alasan 2: Target kecil seperti itu, dua inci?Apakah seragam pendingin??

Analisis alasan 3: 300Kekuatan W ditambahkan ke target sekecil itu, dapatkah pendinginan tetap terjaga Diduga pendinginannya tidak baik, menyebabkan setengah dari hitam!

Analisis alasan 4: pendinginan tidak cukup. Apakah suhunya terlalu tinggi??

Analisis alasan 5: Ini mungkin terkait dengan kekuatan tinggi. Saya hanya berani meningkatkan kekuatan target dengan diameter 60 sekitar 100W.

Analisis penyebab 6: Apakah catu daya stabil dalam dua jam Mungkin energinya terlalu tinggi, atau mungkin sisi target menyentuh komponen yang diarde

Analisis alasan 7: Diduga ada masalah dengan sesak udara, berpikir secara pribadi

Larutan 1: Saran 1) Periksa keseragaman gas; 2) Apakah ada kebocoran udara di satu sisi?

Larutan 2: Disarankan untuk melakukan analisis XPS, atau lakukan eksperimen lagi.

Ringkasan: Berdasarkan analisis di atas, alasan utama yang menyebabkan target diracuni dan hitam adalah suhu yang terlalu tinggi, catu daya tidak stabil, keseragaman gas dan sesak udara. Periksa kemungkinan penyebab utama ini, dan memecahkan masalah mereka langkah demi langkah.

Mungkin kamu juga suka

  • Kategori

  • Berita Baru & Blog

  • Bagikan ke teman

  • PERUSAHAAN

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Bahan Logam Co., Ltd. adalah perusahaan Cina yang berspesialisasi dalam pemrosesan logam non-ferrous, melayani pelanggan global dengan produk berkualitas tinggi dan layanan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi kami

    Seluler:86-400-660-1855
    Surel:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com