Բարի գալուստ մեր կայք
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Արդյունաբերական նորություններ

» Նորություններ » Արդյունաբերական նորություններ

Թիրախային մագնետրոնային շաղ տալու սկզբունքը

2021年8月31日

 

Magnetron sputtering սկզբունքը: ավելացրեք ուղղանկյուն մագնիսական դաշտ և էլեկտրական դաշտ ցրված թիրախի միջև (կաթոդ) և անոդը, իսկ ցայտող թիրախը լցված է պահանջվող իներտ գազով (սովորաբար Ar գազ) բարձր վակուումային պալատում. Մշտական ​​մագնիսը ձևավորում է ա 250-350 Գաուսի մագնիսական դաշտը թիրախային նյութի մակերեսին, և բարձրավոլտ էլեկտրական դաշտի հետ կազմում է ուղղանկյուն էլեկտրամագնիսական դաշտ:.

Էլեկտրական դաշտի գործողության ներքո, Ar գազը իոնացվում է դրական իոնների և էլեկտրոնների. Թիրախի վրա կիրառվում է որոշակի բացասական բարձր լարում. Թիրախից արտանետվող էլեկտրոնները ազդում են մագնիսական դաշտի վրա, և աշխատանքային գազի իոնացման հավանականությունը մեծանում է, կաթոդի մոտ ձևավորելով բարձր խտության պլազմա. Լորենցի ուժի գործողության ներքո, Ար իոններն արագանում են դեպի թիրախային մակերեսը և մեծ արագությամբ ռմբակոծում թիրախի մակերեսը, այնպես, որ թիրախից ցրված ատոմները հետևեն իմպուլսի փոխակերպման սկզբունքին և թռչեն թիրախային մակերևույթից ավելի բարձր կինետիկ էներգիայով. Սուբստրատի տեղադրում ֆիլմի մեջ. Magnetron sputtering- ը ընդհանուր առմամբ բաժանված է երկու տեսակի: DC- ի ցայտում և ռադիոհաճախականության շաղ տալ. DC sputtering սարքավորման սկզբունքը պարզ է. Մետաղը ցողելիս, դրա արագությունը նույնպես արագ է:.

Ռադիոհաճախականության ցրման կիրառման շրջանակն ավելի ընդարձակ է. Ի լրումն ցողող հաղորդիչ նյութերի, կարող են նաև ցրվել ոչ հաղորդիչ նյութերը. Միեւնույն ժամանակ, այն կարող է նաև ռեակտիվ շաղ տալ ՝ բարդ նյութեր պատրաստելու համար, ինչպիսիք են օքսիդները, նիտրիդներ, եւ կարբիդներ..Երբ ավելանում է ցայտող թիրախի ռադիոհաճախականության հաճախականությունը, այն դառնում է միկրոալիքային պլազմայի ցնցում. Ներկայումս, էլեկտրոնային ցիկլոտրոնային ռեզոնանս (ECR) Սովորաբար օգտագործվում է միկրոալիքային պլազմայի ցնցում:.

Միգուցե ձեզ նույնպես դուր է գալիս

  • Կատեգորիաներ

  • Վերջին լուրեր & Բլոգ

  • Կիսվեք ընկերոջ հետ

  • ԸՆԿԵՐՈՒԹՅՈՒՆ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ՍՊԸ. չինական ձեռնարկություն է, որը մասնագիտացած է գունավոր մետաղների վերամշակման մեջ, սպասարկելով համաշխարհային հաճախորդներին բարձրորակ ապրանքներով և կատարյալ վաճառքից հետո.

  • Կապ մեզ հետ

    Բջջային:86-400-660-1855
    Էլ:[email protected] aliyun.com
    Վեբ:www.chn-ti.com