Üdvözöljük weboldalunkon
Üdvözöljük weboldalunkon0086-18429179711 Üdvözöljük weboldalunkon[email protected] aliyun.com

Üdvözöljük weboldalunkon

Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon

A porlasztás elve a cél magnetron porlasztás

2021augusztus 31

 

Magnetron porlasztás elve: adjunk hozzá egy ortogonális mágneses mezőt és egy elektromos mezőt a porlasztott célpont közé (katód-) és az anód, és a porlasztó célpont meg van töltve a szükséges inert gázzal (általában Ar gáz) a nagyvákuumú kamrában. Az állandó mágnes a 250-350 Gauss mágneses mező a célanyag felületén, és a nagyfeszültségű elektromos mezővel ortogonális elektromágneses mezőt képez..

Az elektromos mező hatására, Az Ar gáz pozitív ionokká és elektronokká ionizálódik. Bizonyos negatív nagyfeszültséget alkalmaznak a célpontra. A célpontból kibocsátott elektronokat a mágneses mező befolyásolja, és a munkagáz ionizációs valószínűsége nő, nagy sűrűségű plazmát képezve a katód közelében. Lorentz erő hatására, Az ionok felgyorsulnak a célfelületre, és nagy sebességgel bombázzák a célfelületet, úgy, hogy a célból kilövellő atomok a lendületátalakítás elvét követik, és nagyobb mozgási energiával repülnek el a célfelülettől. Aljzat lerakódása filmbe. A magnetron -porlasztás általában két típusra oszlik: DC szórás és rádiófrekvenciás porlasztás. Az egyenáramú porlasztó berendezés elve egyszerű. Fém porlasztásakor, aránya is gyors..

A rádiófrekvenciás porlasztás alkalmazási köre szélesebb. A vezetőképes anyagok porlasztása mellett, nem vezető anyagok is porlaszthatók. Ugyanabban az időben, reaktív porlasztást is végezhet összetett anyagok, például oxidok előállítására, nitridek, és karbidok..Amikor a porlasztó célpont rádiófrekvenciájának frekvenciája megnő, mikrohullámú plazma porlasztássá válik. Jelenleg, elektronciklotron rezonancia (ECR) általánosan használt mikrohullámú plazma porlasztás..

Üdvözöljük weboldalunkon

Üdvözöljük weboldalunkon Magnetron porlasztó célpontok
  • Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon & Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon

    Üdvözöljük weboldalunkon, Kft. Üdvözöljük weboldalunkon, Üdvözöljük weboldalunkon.

  • Lépjen kapcsolatba velünk

    Mobil:86-400-660-1855
    Üdvözöljük weboldalunkon:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com