Üdvözöljük weboldalunkon
Üdvözöljük weboldalunkon0086-18429179711 Üdvözöljük weboldalunkon[email protected] aliyun.com

Üdvözöljük weboldalunkon

Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon

A magnetron porlasztó porlasztási cél elve

2021augusztus 31

 

A porlasztás elve cél magnetron porlasztás:

Egy ortogonális mágneses mező és egy elektromos mező kerül a porlasztott cél közé (katód-) és az anód, és a szükséges inert gázt (általában Ar gáz) a nagyvákuumú kamrába van töltve. Az állandó mágnes kialakul 250-350 a célanyag felületén. A Gauss mágneses mező, és a nagyfeszültségű elektromos mező ortogonális elektromágneses mezőt alkot.

Az elektromos mező hatására, Az Ar gáz pozitív ionokká és elektronokká ionizálódik. Bizonyos negatív nagyfeszültséget alkalmaznak a célpontra. A célpontból kibocsátott elektronokat a mágneses mező befolyásolja, és a munkagáz ionizációs valószínűsége nő, nagy sűrűségű plazmát képezve a katód közelében. Lorentz erő hatására, Az ionok felgyorsulnak a célfelületre, és nagy sebességgel bombázzák a célfelületet, úgy, hogy a célból kilövellő atomok a lendületátalakítás elvét követik, és nagyobb mozgási energiával repülnek el a célfelülettől. Aljzat lerakódása filmbe.

A magnetron -porlasztás általában két típusra oszlik: mellékfolyósítás és rádiófrekvenciás porlasztás. A mellékfolyó -porlasztó berendezés elve egyszerű, és sebessége fémek porlasztásakor is gyors..A rádiófrekvenciás porlasztás alkalmazási köre kiterjedtebb. A vezetőképes anyagok porlasztása mellett, nem vezető anyagok is porlaszthatók. Ugyanabban az időben, reaktív porlasztást is végezhet összetett anyagok, például oxidok előállítására, nitridek, és karbidok..Ha a rádiófrekvencia frekvenciáját megnövelik, mikrohullámú plazma porlasztássá válik. Jelenleg, elektronciklotron rezonancia (ECR) általánosan használt mikrohullámú plazma porlasztás..

Üdvözöljük weboldalunkon

Üdvözöljük weboldalunkon Magnetron porlasztó célpontok
  • Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon & Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon

    Üdvözöljük weboldalunkon, Kft. Üdvözöljük weboldalunkon, Üdvözöljük weboldalunkon.

  • Lépjen kapcsolatba velünk

    Mobil:86-400-660-1855
    Üdvözöljük weboldalunkon:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com