Üdvözöljük weboldalunkon
Üdvözöljük weboldalunkon0086-18429179711 Üdvözöljük weboldalunkon[email protected] aliyun.com

Üdvözöljük weboldalunkon

Üdvözöljük weboldalunkon Üdvözöljük weboldalunkon

A mérgezés és a céltárgy feketedésének problémájának elemzése porlasztás után

2021augusztus 31

 

Kérdés: A reaktív magnetron porlasztási technológia cirkónium -nitrid fóliát rak le, a cél két hüvelyk, a porlasztógáz argon, a reaktív gáz N2, teljesítménye 300W, a rádiófrekvenciás tápegységet, a lerakódás két óra, és a célpontot a befejezés után veszik ki. Nézd meg a címben leírt jelenséget, hogy ez célmérgezés vagy más ok, de miért csak a fele jelenik meg?

Ok elemzése 1: Ez összefüggésben lehet a rádiófrekvenciás teljesítmény bevezetésével

Ok elemzése 2: Ilyen kis célpont, két hüvelyk?A hűtés egységes?

Ok elemzése 3: 300W teljesítmény adódik egy ilyen kis célhoz, a hűtés lépést tud tartani Gyanítható, hogy a hűtés nem jó, a fekete felét okozza!

Ok elemzése 4: elégtelen hűtés. Túl magas a hőmérséklet?

Ok elemzése 5: Lehet, hogy a nagy teljesítményhez kapcsolódik. Csak át merem növelni a célpont erejét 60 kb 100W -ig.

Ok elemzése 6: A tápellátás két óra alatt stabil, vagy előfordulhat, hogy a céltábla oldala földelt alkatrészt érint

Ok elemzése 7: Gyanítható, hogy gond van a légzárással, személyesen gondolja

Megoldás 1: Javaslat 1) Ellenőrizze a gáz egyenletességét; 2) Van -e légszivárgás az egyik oldalon?

Megoldás 2: Ajánlott XPS elemzést végezni, vagy ismételje meg a kísérletet.

Összefoglaló: A fenti elemzés alapján, a fő okok, amelyek a célpont mérgezését és feketéjét okozzák, a túl magas hőmérséklet, instabil áramellátás, gáz egyenletességét és légzárását. Ellenőrizze ezeket a lehetséges fő okokat, és lépésről lépésre elhárítani őket.

Üdvözöljük weboldalunkon

Üdvözöljük weboldalunkon Magnetron porlasztó célpontok
  • Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon & Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon

  • Üdvözöljük weboldalunkon

    Üdvözöljük weboldalunkon, Kft. Üdvözöljük weboldalunkon, Üdvözöljük weboldalunkon.

  • Lépjen kapcsolatba velünk

    Mobil:86-400-660-1855
    Üdvözöljük weboldalunkon:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com