Sputtering sib

Paramèt teknik lis multikouch optik kouch machin lan

modèl

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Penti gwosè chanm lan

Ф1050 × 1250, 304 asye pur.

00800 × 1000

00900 × 1050

Ф1200 × 1250

Gwosè enteryè nan kavite kouch

Bracket nan aparèy se 1680mm anwo tè a, apwopriye pou wotè operasyon ergonomic.

Bracket nan aparèy se 1468mm anwo tè a, apwopriye pou wotè operasyon ergonomic.

Bracket nan aparèy se 1510mm anwo tè a, apwopriye pou wotè operasyon ergonomic.

1.Vout disk sèl-materyo, al kontre kliyan yo’ bezwen pou inifòmite nan yon pi gwo limit.Rotasyon 5-30r / min, chanjman vitès stepless.

2.Disk la vout twa-materyo, revolisyon planetè ak wotasyon, satisfè bezwen yo nan kliyan pou kapasite pwodiksyon nan limit ki pi gran.Rotasyon 5-30r / min, chanjman vitès stepless.

Aparèy

Disponib nan kat moso, ang lan nan bracket la se reglabl, pou satisfè bezwen kliyan yo pou inifòmite nan yon pi gwo limit.Rotasyon 5-30r / min, chanjman vitès stepless.

Vout disk sèl-materyo, al kontre kliyan yo’ bezwen pou inifòmite nan yon pi gwo limit.Rotasyon 5-30r / min, chanjman vitès stepless.

Sistèm vakyòm

Inite: ponp difizyon DIP-12000 (Leybold), Rasin ponp ZJY-300, ponp mekanik 2X-70, ponp antretyen 2X-8. Tiyo a se 304 asye pur.

Inite: Ponp difizyon KT-400 (Zhenhua), Rasin ponp ZJY-150, ponp mekanik 2X-70, ponp antretyen 2X-8.

Inite: ponp difizyon KT-600 (Zhenhua), Rasin ponp ZJY-600, ponp mekanik 2X-70, ponp antretyen 2X-8.

Inite: Ponp difizyon KT-800 (Zhenhua), Rasin ponp ZJY-600, ponp mekanik 2X-70, ponp antretyen 2X-8.

Ultim vakyòm: pi bon pase 4 × 10-4 Pa.

Ekipe ak aparèy anti-tourbiyon, konsepsyon sekirite blokaj, manyèl ak otomatik si ou vle.

Sistèm chofaj

Chofaj metòd sou tib chofaj, Kontwòl PID, maksimòm 350 ℃ ± 1.5 ℃.

K ap travay enflasyon gaz

Gaz mas koule enstriman kontwòl oswa manyèl amann-akor nan valv enflasyon.

Bonbadman ionizasyon vakyòm

DC 3KV, 06KW baton katod (itilize pou netwaye materyo a anvan kouch).

Sous evaporasyon (si ou vle)

1. TELEMARK-270 ° zam elèktron (enpòte), 6KW, segondè vòltaj 4KV-10KV reglabl.Pozisyon eskanè, triyang vag eskanè, sikilè eskanè, eskanè espiral. Bon plas gwo bout bwa konsantre, segondè presizyon pwezante, ak bon repwodibilite optik.

2. Zam elèktron domestik (Zhenhua): 6KW, segondè vòltaj 4KV ～ 8KV reglabl, ka chwazi vag triyang, vag sinis, vag kare optik lib.

3. Kreze: sis-kavite Φ38 × 20 kreze oswa kat-kavite Φ38 × 20 plis yon sèl-kavite ak fòm ki gen fòm ak yon sant longè arc nan 87 (itilize pou konsomasyon segondè nan materyèl evaporasyon pwen k ap fonn ba) oswa kat kavite Φ48 × 18 creuset.

Ion sous (si ou vle)

1. RF (Frekans Radyo) Ion Sous (Enpòte).

2. 5KVA Hall ion sous (pwodwi pa Zhenhua), itilize pou netwaye anvan galvanoplastie oswa oksilyè plating nan pwosesis la galvanoplastie, ki benefisye amelyore endèks la refraktif nan fim nan, determinasyon an, ak dansite ak adezyon nan fim nan.

Sistèm kontwòl fim epesè (seleksyon)

1. MDC-360 kontwolè kristal (enpòte) ka magazen 1 ～ 99 kouch pwosesis kouch otomatik yo, 99 kalite done pwogram lan, presizyon 0.5%+1? Erè fiks.2TELEMARK-880 kontwolè kristal (enpòte): ka magazen 1 ～ 99 kouch pwosesis kouch otomatik yo, 99 kalite done pwogram lan. 精度 0.5% + 1? Erè fiks.

3. TELEMARK-820 kontwolè optik (enpòte): adopte milti-longèdonn plen spectre fen-pwen analiz teknoloji, ak jij nan fen fim nan pa analize transmissions la (oswa refleksyon) koub nan fèy la pou kontwole 370-870 mm.High presizyon kontwòl, sèl kontwòl longèdonn, kontwòl otomatik ak kontwòl manyèl kapab itilize tou .. Lòt lojisyèl kalkil fim MACILEOD, wo degre de entegrasyon.

4. TELEMARK-820 kontwolè optik ak TELEMARK-880 kontwolè kristal ka satisfè kondisyon ki nan presizyon segondè, epi segondè repetition kouch.Koopere ak òdinatè lame reyalize konplètman otomatik kontwòl.

5. Domestik kontwolè optik (tankou 9704 matche monokromatè, elatriye), longèdonn la reglabl soti nan 330 a 870, ak presizyon an ka rive jwenn ± 1.5nm.

Kominikatè

Avèk baz mayetik, li ka mete nan nenpòt ki pozisyon nan pòt la chanm vakyòm ak kabinè kontwòl.

Petèt ou renmen tou