Welcome to our website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrial news

» News » Industrial news

Magnetron sputtering objektif

2021年10月29日

1) Magnetron sputtering prensip.
Nan poto a sib sputtered (katod) ak anod ki genyen ant adisyon a nan yon jaden orthogonal mayetik ak elektrik, nan yon chanm vakyòm segondè plen ak gaz la inaktif yo mande yo (anjeneral Ar gaz), leman pèmanan nan sifas la materyèl sib yo fòme yon jaden mayetik nan 250 ~ 350 gauss, ak jaden elektrik vòltaj segondè yo fòme yon jaden elektwomayetik orthogonal. Anba aksyon an nan jaden elektrik la, gaz Ar a ionize nan iyon pozitif ak elektwon, se sib la te ajoute ak yon sèten vòltaj segondè negatif, elektwon ki soti nan sib la sijè a aksyon an nan jaden an mayetik ak ionizasyon nan gaz la ap travay ogmante, se yon plasma dansite segondè ki fòme tou pre katod la, iyon yo Ar yo akselere anba aksyon an nan fòs la Lorentz ak vole nan direksyon sifas la sib, bonbade sifas sib la ak yon vitès trè wo, se konsa ke atòm yo sputtered soti nan sib la swiv prensip la nan konvèsyon momantòm ak yon wo Atòm yo sputtered sou sib la swiv prensip la konvèsyon enèji sinetik epi vole sou sifas la sib nan direksyon pou substra a depoze yon fim.. Magnetron sputtering jeneralman divize an de kalite: Sputtering DC ak sputtering RF, kote prensip ekipman DC sputtering senp ak pousantaj la vit lè sputtering metal yo. RF sputtering, nan lòt men an, ka itilize nan yon seri pi laj de aplikasyon epi yo ka sputter materyèl ki pa kondiktif anplis materyèl elektrik kondiktif., osi byen ke sputtering reyaktif pou preparasyon an nan materyèl konpoze tankou oksid, nitrid ak karbid. Si frekans RF ogmante, li vin chofe mikwo ond, jodi a, souvan itilize yo se elèktron siklotron sonorite (ECR) tape mikwo ond plasma plasma.
2) Kalite sib sputtering magnetron.
Metal sputtering sib kouch, alyaj sputtering sib kouch, seramik sputtering sib kouch, borid seramik sputtering sib, carbure seramik sputtering sib, fliyò seramik sputtering sib, nitrure seramik sib sputtering, oksid sib seramik, selenid seramik sputtering sib, silikid seramik sputtering sib, sulfid seramik sputtering sib, telurid seramik sputtering sib, lòt sib seramik, chromium-doped yon oksid silikon seramik objektif (Cr-SiO), sib fosfid endyòm (InP), plon asenid sib (PbAs), sib endyòm asenid (InAs). [2]
Aplikasyon Zòn Editè Vwa
Kòm nou tout konnen, tandans nan devlopman teknoloji nan materyèl sib se pre relasyon ak tandans nan devlopman nan teknoloji fim mens nan endistri aplikasyon an en, ak kòm endistri aplikasyon an amelyore teknoloji a nan pwodwi fim mens oswa konpozan, teknoloji materyèl sib la ta dwe chanje tou. Pa egzanp, Manifaktirè Ic. Nan dènye tan yo dedye a devlopman nan fil elektrik ki ba rezistivite kòb kwiv mete, espere anpil ranplase fim aliminyòm orijinal la nan kèk ane kap vini yo, se konsa ke devlopman nan sib kòb kwiv mete ak materyèl sib kouch baryè obligatwa yo pral ijan. An plis, nan dènye ane yo, ekspozisyon panèl plat la (FPD) siyifikativman ranplase orijinal tib la ray katod (CRT) baze sou monitè òdinatè ak mache televizyon. Ap ogmante tou siyifikativman demann teknoloji ak mache pou objektif ITO. An plis, nan teknoloji depo. Gwo dansite, gwo kapasite disk difisil, demann disk optik re-inscriptible wo dansite kontinye ap ogmante. Tout bagay sa yo te mennen nan chanjman nan demann endistri aplikasyon pou materyèl sib. Nan sa ki annapre yo nou pral prezante zòn aplikasyon prensipal yo nan materyèl sib, ak tandans nan devlopman materyèl sib nan zòn sa yo.
Mikwoelektronik
Endistri semi-conducteurs gen kondisyon ki pi egzijan kalite pou fim sib sputtering nan nenpòt endistri aplikasyon. Jodi a, Silisyòm wafers de jiska 12 pous (300 epitòd) yo fabrike. pandan y ap lajè entèkoneksyon yo ap diminye. Kondisyon yo nan manifaktirè wafer Silisyòm pou gwosè gwo, segondè pite, segregasyon ki ba ak grenn amann mande pou objektif yo fabrike gen yon pi bon mikrostruktur. Dyamèt patikil cristalline ak inifòmite sib la te idantifye kòm yon faktè kle ki afekte pousantaj depo fim nan.. An plis, pite a nan fim nan se trè depann sou pite a nan sib la. Nan tan lontan an, yon 99.995% (4N5) sib kwiv pi bon kalite ta ka satisfè bezwen manifaktirè semi-conducteurs pou pwosesis 0.35pm, men li pa ka satisfè egzijans pwosesis 0.25um jodi a, pandan y ap 0.18um la} atizay oswa menm 0.13m pwosesis pou unmetered a pral mande pou yon pite sib nan 5 oswa menm 6N oswa plis. Copper konpare ak aliminyòm, kòb kwiv mete gen yon rezistans ki pi wo nan elektwomigrasyon ak pi ba rezistans al kontre! Pwosesis kondiktè a mande fil elektrik sub-micron pi ba pase 0.25um men pote ak lòt pwoblèm: fòs adezyon kwiv ak materyèl dyelèktrik òganik ba. Ak fasil pou reyaji, sa ki lakòz itilizasyon liy entèkoneksyon an kwiv chip korode ak kase. Yo nan lòd yo rezoud pwoblèm sa yo, bezwen an yo mete kanpe yon kouch baryè ant kwiv la ak kouch dyelèktrik. Materyèl kouch bloke yo jeneralman itilize gwo pwen k ap fonn, segondè rezistans nan metal la ak konpoze li yo, kidonk epesè kouch bloke a se mwens pase 50nm, ak pèfòmans adezyon materyèl kwiv ak dielectric se yon bon bagay. Copper interconnexion ak aliminyòm interconnexion nan materyèl kouch bloke a diferan. Nouvo materyèl sib bezwen devlope. Copper entèrkonèksyon nan kouch nan bloke ak materyèl sib ki gen ladan Ta, W, TaSi, WSi, elatriye. Men Ta, W se metal refractory. Pwodiksyon relativman difisil, kounye a ap etidye molybdène, chromium ak lòt lò Taiwan kòm materyèl altènatif.
Pou ekspozisyon
Montre panèl plat (FPD) te gen yon enpak siyifikatif sou monitè òdinatè a ak mache televizyon pandan ane yo, sitou nan fòm lan nan tib reyon katod (CRT), ki pral tou kondwi teknoloji a ak demann mache pou objektif ITO. Gen de kalite sib iTO ki disponib jodi a. Youn nan se itilize nano-eta endyòm oksid ak fèblan oksid poud melanje ak sintered., youn se itilize nan sib alyaj fèblan Endyòm. Objektif alyaj Endyòm-fèblan yo ka itilize pou fim mens ITO pa DC reyaktif sputtering, men sifas sib la pral oksidasyon ak afekte to a sputtering, epi li pa fasil pou jwenn gwo gwosè sib lò Taiwan. Sèjousi, se premye metòd la jeneralman adopte yo pwodwi objektif ITO, lè l sèvi avèk L}IRF reyaktif sputtering kouch. Li gen yon vitès depo vit. Epi li ka kontwole avèk presizyon epesè fim nan, segondè konduktiviti, bon konsistans nan fim nan, ak adezyon fò nan substra a, elatriye. l. Men, sib materyèl pwodiksyon difikilte, ki se paske oksid Endyòm ak oksid fèblan pa fasil pou SINTER ansanm. ZrO2, Bi2O3 ak CeO yo jeneralman itilize kòm aditif SINTERING epi yo kapab jwenn objektif ak yon dansite 93% a 98% nan valè teyorik la. Pèfòmans fim ITO ki fòme nan fason sa a se trè depann sou aditif yo. Syantis Japonè yo itilize Bizo kòm yon aditif, Bi2O3 fonn nan 820Cr epi li te volatilize pi lwen pase tanperati a sintering nan l500 ° C.. Sa a pèmèt yon sib relativman pi bon kalite ITO yo ka jwenn nan kondisyon faz likid SINTERING. Anplis, oksid matyè premyè ki nesesè yo pa nesesèman dwe nanopartikul, ki senplifye pwosesis preliminè a. Nan 2000, Komisyon Nasyonal Planifikasyon Devlopman an, Ministè Syans ak Teknoloji Ministè Syans ak Teknoloji nan la “aktyèl priyorite devlopman nan enfòmasyon endistri kle zòn gid”, ITO gwo sib materyèl tou te gen ladann.
Pou depo
Nan depo teknoloji, devlopman nan gwo dansite, gwo kapasite ki gen kapasite difisil mande pou yon gwo kantite materyèl fim magnetoresistive jeyan, ak CoF ~ Cu multikouch fim konpoze se yon estrikti fim jeyan magnetoresistive lajman itilize jodi a. Materyèl sib alyaj TbFeCo ki nesesè pou disk mayetik toujou ap devlope plis, ak disk yo mayetik te fè soti nan li gen gwo kapasite depo, long lavi epi yo ka repete efase san kontak. Disk mayetik devlope jodi a gen yon estrikti fim konpoze kouch TbFeCo/Ta ak TbFeCo/Al.. Ang wotasyon Kerr nan estrikti TbFeCo/AI rive nan 58, pandan ke TbFeCofFa ka pre 0.8. Li te jwenn ke pèmeyabilite ki ba mayetik nan materyèl la sib segondè AC vòltaj egzeyat pasyèl l reziste fòs elektrik.
Germanium antimony telluride baze souvni chanjman faz (PCM) yo te montre potansyèl komèsyal enpòtan kòm yon teknoloji memwa altènatif pou flash kalite NOR ak yon pati nan mache DRAM la, sepandan, youn nan defi yo sou wout la pi vit dekale se mank de selil konplètman hermetic ki ka pwodwi pou plis redwi aktyèl la reset.. Kouran reset pi ba yo ka diminye konsomasyon pouvwa memwa, pwolonje lavi batri ak ogmante Pleasant done, tout karakteristik enpòtan pou done ki santre jodi a, konsomatè trè pòtab

 

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • Kontakte nou

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Entènèt:www.chn-ti.com