Dobro došli na našu web stranicu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Vijesti iz industrije

» Vijesti » Vijesti iz industrije

Princip raspršivanja ciljanog magnetronskog raspršivanja

2021年8月31日

 

Princip raspršivanja magnetronom: dodati ortogonalno magnetsko polje i električno polje između raspršene mete (katoda) i anoda, a meta za raspršivanje napunjena je potrebnim inertnim plinom (obično Ar plin) u komori visokog vakuuma. Trajni magnet tvori a 250-350 Gaussovo magnetsko polje na površini ciljnog materijala, i tvori ortogonalno elektromagnetsko polje s visokonaponskim električnim poljem..

Pod djelovanjem električnog polja, Ar plin ionizira u pozitivne ione i elektrone. Na metu se primjenjuje određeni negativni visoki napon. Na elektrone emitirane iz mete utječe magnetsko polje i povećava se vjerojatnost ionizacije radnog plina, tvoreći plazmu visoke gustoće u blizini katode. Pod djelovanjem Lorentzove sile, Ar ioni ubrzavaju do ciljane površine i velikom brzinom bombardiraju površinu mete, tako da atomi izbačeni iz mete slijede princip pretvaranja impulsa i odlijeću s površine mete s većom kinetičkom energijom. Taloženje podloge u film. Magnetronsko raspršivanje općenito se dijeli na dvije vrste: Raspršivanje istosmjernom strujom i radiofrekvencijsko raspršivanje. Princip opreme za raspršivanje istosmjernom strujom je jednostavan. Prilikom prskanja metala, njegova stopa je također brza..

Raspon primjene radiofrekvencijskog raspršivanja je opsežniji. Osim raspršivanja vodljivih materijala, mogu se raspršiti i neprovodljivi materijali. U isto vrijeme, također može provesti reaktivno raspršivanje za pripremu složenih materijala kao što su oksidi, nitridi, i karbidi..Kada se poveća frekvencija radiofrekvencije mete raspršivanja, postaje mikrovalno plazma raspršivanje. Trenutno, elektronska ciklotronska rezonancija (ECR) obično se koristi mikrovalno plazma raspršivanje..

Možda se i vama sviđa

  • Kategorije

  • Nedavne vijesti & Blog

  • Podijelite s prijateljem

  • DRUŠTVO

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. je kinesko poduzeće specijalizirano za preradu obojenih metala, opsluživanje globalnih kupaca visokokvalitetnim proizvodima i savršenom postprodajnom uslugom.

  • Kontaktirajte nas

    Mobilni:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    mreža:www.chn-ti.com