Dobro došli na našu web stranicu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Vijesti iz industrije

» Vijesti » Vijesti iz industrije

Princip magnetronskog raspršivanja meta

2021年8月31日

 

Načelo raspršivanja ciljanog magnetronskog raspršivanja:

Između raspršene mete dodaju se ortogonalno magnetsko polje i električno polje (katoda) i anoda, i potrebni inertni plin (obično Ar plin) se puni u komori visokog vakuuma. Stvara se stalni magnet 250-350 na površini ciljnog materijala. Gaussovo magnetsko polje, a visokonaponsko električno polje tvori ortogonalno elektromagnetsko polje.

Pod djelovanjem električnog polja, Ar plin ionizira u pozitivne ione i elektrone. Na metu se primjenjuje određeni negativni visoki napon. Na elektrone emitirane iz mete utječe magnetsko polje i povećava se vjerojatnost ionizacije radnog plina, tvoreći plazmu visoke gustoće u blizini katode. Pod djelovanjem Lorentzove sile, Ar ioni ubrzavaju do ciljane površine i velikom brzinom bombardiraju površinu mete, tako da atomi izbačeni iz mete slijede princip pretvaranja impulsa i odlijeću s površine mete s većom kinetičkom energijom. Taloženje podloge u film.

Magnetronsko raspršivanje općenito se dijeli na dvije vrste: prskanje pritoka i raspršivanje radio frekvencija. Princip opreme za prskanje pritoka je jednostavan, a brzina mu je također velika pri raspršivanju metala..Domet primjene radiofrekvencijskog raspršivanja je opsežniji. Osim raspršivanja vodljivih materijala, mogu se raspršiti i neprovodljivi materijali. U isto vrijeme, također može provesti reaktivno raspršivanje za pripremu složenih materijala kao što su oksidi, nitridi, i karbidi..Ako se poveća frekvencija radiofrekvencije, postaje mikrovalno plazma raspršivanje. Trenutno, elektronska ciklotronska rezonancija (ECR) obično se koristi mikrovalno plazma raspršivanje..

Možda se i vama sviđa

  • Kategorije

  • Nedavne vijesti & Blog

  • Podijelite s prijateljem

  • DRUŠTVO

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. je kinesko poduzeće specijalizirano za preradu obojenih metala, opsluživanje globalnih kupaca visokokvalitetnim proizvodima i savršenom postprodajnom uslugom.

  • Kontaktirajte nas

    Mobilni:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    mreža:www.chn-ti.com