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Kev cuam tshuam ntawm Sputtering lub hom phiaj kev coj dawb huv thiab cov khoom sib xws ntawm thaj tsam loj txheej txheej

2021年10月10日

Tus kws kho cov txheej txheej ntawm cov khoom siv lub hom phiaj tau hais ua ntej, hauv txoj kev sputtering, qhov zoo ntawm cov khoom siv lub hom phiaj yog siab dua li ntawm cov khoom lag luam ib txwm muaj .. Hauv kab lus no, tus kws sau ntawv yuav txuas ntxiv qhia qhov cuam tshuam ntawm kev ua kom huv thiab cov khoom sib xws ntawm cov khoom siv lub hom phiaj ntawm thaj tsam loj. Tuaj thiab kawm paub txog nws ~

Kev huv ntawm cov khoom siv sputtering lub hom phiaj muaj kev cuam tshuam ntau dua rau kev ua haujlwm ntawm zaj duab xis kom tau lo. Thaum cov iav huv nkag mus rau hauv lub tshuab nqus tsev txheej txheej siab, yog tias qhov huv ntawm lub hom phiaj cov ntaub ntawv tsis txaus, cov khoom tsis huv hauv cov khoom siv phiaj yuav ua raws cov iav saum npoo thaum txheej txheem sputtering nyob rau hauv qhov kev nqis tes ua hluav taws xob thiab chaw sib nqus. Kev sib cais tshwm sim zoo li khov kho, siab dua qhov purity ntawm lub hom phiaj, qhov ua tau zoo dua ntawm cov yeeb yaj kiab tso.

Rau cov hom phiaj nrog cov thermal conductivity tsis zoo, xws li SiA1 lub hom phiaj, muaj cov khoom tsis huv nyob hauv lub hom phiaj feem ntau ua rau cov cua sov hloov mus, lossis qhov sib txawv ntawm cov dej txias txias siv hauv kev tsim khoom thiab cov txheej txheej txheej dej kub tiag tiag, lwm yam., ua rau lub hom phiaj tawg thaum siv. Kev tawg me me yuav tsis muaj kev cuam tshuam loj rau kev tsim cov txheej txheej.Yog li cas, thaum muaj cov kab nrib pleb pom tseeb hauv cov khoom siv, tus nqi yog qhov yooj yim heev rau mloog zoo rau ntawm ntug ntawm qhov tawg, uas yuav ua rau muaj qhov txawv txav tawm ntawm lub hom phiaj sab nrauv.Qhov tso dej tawm yuav ua rau slag poob, cov yeeb yaj kiab txawv txav, thiab nce cov khoom seem. Yog li ntawd, nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm kev npaj lub hom phiaj, ntxiv rau kev tswj hwm kev coj dawb huv, cov txheej txheem kev npaj yuav tsum raug tswj hwm.

Rau cov hom phiaj hlau, kev faib khoom tsis sib xws feem ntau tshwm sim, xws li aluminium agglomeration hauv SiAl lub hom phiaj, kev sib cais ntawm txhuas hauv zinc-txhuas lub hom phiaj (atomic loj ntawm txhuas yog 27 tsawg dua li atomic loj ntawm zinc 65, thiab txhuas tau txias thaum lub sijhawm ua kom txias tom qab nchuav. Yuav ntab, ua rau cov ntsiab lus txhuas siab nyob rau ib sab thiab qis ntawm ib sab).Vim yog qhov qis melting point, cov agglomerated Al hauv SiA1 lub hom phiaj yog nquag plam thaum lub sijhawm ua cov txheej txheem zaj duab xis sputtering, thiab qhov nyiaj ntawm A1 ntxiv thaum lub sijhawm txheej txheem txau yog qhov tseeb. Thaum ib feem ntawm kev sib sau tshwm sim, nws qhia tias cov ntsiab lus txhuas hauv lwm qhov chaw tsawg dua, uas cuam tshuam rau SiA1 lub hom phiaj. Cov thermal conductivity thiab hluav taws xob conductivity ntawm zaj duab xis, ua rau tsis sib xws sputtering tus nqi, tsis zoo zaj duab xis uniformity, tawg ntawm lub hom phiaj cov khoom, ua rau pom qhov tshwm sim ntawm lub hom phiaj tawm mus, thiab tseem txo qis kev tsim cov yeeb yaj kiab zoo.Qhov kev sib cais ntawm cov hom phiaj yuav cuam tshuam rau tus nqi sputtering (zaj duab xis tsis sib xws) thiab ua yeeb yaj kiab, ntxiv rau kev tswj hwm kev coj dawb huv ntawm cov khoom siv, kev faib cov khoom siv hauv cov phiaj hlau tseem ceeb heev.

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