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बहुपरत ऑप्टिकल कोटिंग मशीन की तकनीकी पैरामीटर सूची

2021年8月31日
स्पटरिंग लक्ष्य

आदर्श

जीएक्स-1050ए

जीएक्स-800ए

GX-900A

GX1200A

कोटिंग रूम का आकार

Ф1050×1250, 304 स्टेनलेस स्टील.

800×1000

900×1050

Ф1200×1250

कोटिंग गुहा का आंतरिक आकार

स्थिरता ब्रैकेट जमीन से १६८० मिमी ऊपर है, एर्गोनोमिक ऑपरेशन ऊंचाई के लिए उपयुक्त.

स्थिरता ब्रैकेट जमीन से 1468 मिमी ऊपर है, एर्गोनोमिक ऑपरेशन ऊंचाई के लिए उपयुक्त.

स्थिरता ब्रैकेट जमीन से 1510 मिमी ऊपर है, एर्गोनोमिक ऑपरेशन ऊंचाई के लिए उपयुक्त.

1.धनुषाकार सिंगल-वर्कपीस डिस्क, ग्राहकों से मिलने के लिए’ अधिक हद तक एकरूपता की आवश्यकता है। रोटेशन 5-30r/मिनट, स्टीप्लेस गति परिवर्तन.

2.धनुषाकार तीन-वर्कपीस डिस्क, ग्रहों की क्रांति और घूर्णन, उत्पादन क्षमता के लिए ग्राहकों की जरूरतों को सबसे बड़ी सीमा तक पूरा करने के लिए। रोटेशन 5-30r / मिनट, स्टीप्लेस गति परिवर्तन.

स्थिरता

चार टुकड़ों में उपलब्ध, ब्रैकेट का कोण समायोज्य है, एकरूपता के लिए ग्राहकों की जरूरतों को काफी हद तक पूरा करने के लिए। रोटेशन 5-30r / मिनट, स्टीप्लेस गति परिवर्तन.

धनुषाकार सिंगल-वर्कपीस डिस्क, ग्राहकों से मिलने के लिए’ अधिक हद तक एकरूपता की आवश्यकता है। रोटेशन 5-30r/मिनट, स्टीप्लेस गति परिवर्तन.

वैक्यूम प्रणाली

इकाई: प्रसार पंप डीआईपी-12000 (Leybold), रूट्स पंप ZJY-300, यांत्रिक पंप 2X-70, रखरखाव पंप 2X-8। पाइपलाइन है 304 स्टेनलेस स्टील.

इकाई: प्रसार पंप KT-400 (ज़ेन्हुआ), रूट्स पंप ZJY-150, यांत्रिक पंप 2X-70, रखरखाव पंप 2X-8.

इकाई: प्रसार पंप KT-600 (ज़ेन्हुआ), रूट्स पंप ZJY-600, यांत्रिक पंप 2X-70, रखरखाव पंप 2X-8.

इकाई: प्रसार पंप KT-800 (ज़ेन्हुआ), रूट्स पंप ZJY-600, यांत्रिक पंप 2X-70, रखरखाव पंप 2X-8.

परम निर्वात: 4×10-4 Pa . से बेहतर.

एंटी-टर्बुलेंस डिवाइस से लैस, सुरक्षा इंटरलॉक डिजाइन, मैनुअल और स्वचालित वैकल्पिक.

हीटिंग सिस्टम

हीटिंग ट्यूब पर हीटिंग विधि, पीआईडी नियंत्रण, अधिकतम 350 ℃ ± 1.5 ℃.

कार्यशील गैस मुद्रास्फीति

गैस मास फ्लो कंट्रोल इंस्ट्रूमेंट या मुद्रास्फीति वाल्व की मैनुअल फाइन-ट्यूनिंग.

वैक्यूम आयनीकरण बमबारी

डीसी 3KV, 06किलोवाट रॉड कैथोड (कोटिंग से पहले वर्कपीस को साफ करने के लिए इस्तेमाल किया जाता है).

वाष्पीकरण स्रोत (ऐच्छिक)

1. TELEMARK-270° इलेक्ट्रॉन गन (आयातित), 6किलोवाट, उच्च वोल्टेज 4KV-10KV समायोज्य। स्थिति स्कैन, त्रिकोण तरंग स्कैन, सर्कुलर स्कैन, सर्पिल स्कैन। अच्छा बीम स्पॉट फोकसिंग, उच्च स्थिति सटीकता, और अच्छी स्कैनिंग प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्यता.

2. घरेलू इलेक्ट्रॉन गन (ज़ेन्हुआ): 6किलोवाट, उच्च वोल्टेज 4KV～8KV समायोज्य, त्रिभुज तरंग चुन सकते हैं, साइन तरंग, स्क्वायर वेव स्कैनिंग स्वतंत्र रूप से.

3. क्रूसिबल: छह-गुहा 38×20 क्रूसिबल या चार-गुहा Φ38×20 प्लस एक-गुहा चाप के आकार का क्रूसिबल जिसकी केंद्र चाप लंबाई 87 (कम पिघलने बिंदु वाष्पीकरण सामग्री की उच्च खपत के लिए उपयोग किया जाता है) या चार-गुहा 48×18 क्रूसिबल.

आयन स्रोत (ऐच्छिक)

1. आरएफ (आकाशवाणी आवृति) आयन स्रोत (आयातित).

2. 5केवीए हॉल आयन स्रोत (ज़ेनहुआ द्वारा निर्मित), इलेक्ट्रोप्लेटिंग प्रक्रिया में इलेक्ट्रोप्लेटिंग या सहायक चढ़ाना से पहले सफाई के लिए उपयोग किया जाता है, जो फिल्म के अपवर्तनांक में सुधार के लिए फायदेमंद है, दृढ़ता, और फिल्म का घनत्व और आसंजन.

फिल्म मोटाई नियंत्रण प्रणाली (चयन)

1. एमडीसी-360 क्रिस्टल नियंत्रक (आयातित) स्वचालित कोटिंग प्रक्रिया की 1～99 परतों को स्टोर कर सकते हैं, 99 प्रोग्राम डेटा के प्रकार, शुद्धता 0.5%+1? फिक्स्ड त्रुटि। 2TELEMARK-880 क्रिस्टल नियंत्रक (आयात): स्वचालित कोटिंग प्रक्रिया की 1～99 परतों को स्टोर कर सकते हैं, 99 प्रोग्राम डेटा के प्रकार।精度0.5%+1? फिक्स्ड त्रुटि.

3. TELEMARK-820 ऑप्टिकल नियंत्रक (आयात): मल्टी-वेवलेंथ फुल-स्पेक्ट्रम एंड-पॉइंट एनालिसिस टेक्नोलॉजी को अपनाता है, और संप्रेषण का विश्लेषण करके फिल्म के अंत का न्याय करता है (या परावर्तन) मॉनिटर शीट की वक्र 370-870 मिमी। उच्च नियंत्रण सटीकता, एकल तरंग दैर्ध्य नियंत्रण, स्वचालित नियंत्रण और मैनुअल नियंत्रण का भी उपयोग किया जा सकता है। अतिरिक्त MACILEOD फिल्म गणना सॉफ्टवेयर, एकीकरण की उच्च डिग्री.

4. TELEMARK-820 ऑप्टिकल नियंत्रक और TELEMARK-880 क्रिस्टल नियंत्रक उच्च परिशुद्धता और उच्च दोहराव कोटिंग की आवश्यकताओं को पूरा कर सकते हैं। पूरी तरह से स्वचालित नियंत्रण का एहसास करने के लिए मेजबान कंप्यूटर के साथ सहयोग करें.

5. घरेलू ऑप्टिकल नियंत्रक (जैसे कि 9704 मिलान मोनोक्रोमेटर, आदि।), तरंग दैर्ध्य . से समायोज्य है 330 प्रति 870, और सटीकता ± 1.5nm . तक पहुंच सकती है.

कम्यूटेटर

चुंबकीय आधार के साथ, इसे वैक्यूम चैंबर के दरवाजे और नियंत्रण कैबिनेट की किसी भी स्थिति में रखा जा सकता है.

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