हमारी वैबसाइट पर आपका स्वागत है
मैं0086-18429179711 मैं[email protected] aliyun.com

औद्योगिक समाचार

» समाचार » औद्योगिक समाचार

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग स्पटरिंग लक्ष्य का सिद्धांत

2021年8月31日

 

स्पटरिंग लक्ष्य मैग्नेट्रोन स्पटरिंग का सिद्धांत:

स्पटर किए गए लक्ष्य के बीच एक ओर्थोगोनल चुंबकीय क्षेत्र और विद्युत क्षेत्र जोड़ा जाता है (कैथोड) और एनोड, और आवश्यक अक्रिय गैस (आमतौर पर Ar गैस) उच्च निर्वात कक्ष में भरा जाता है. स्थायी चुंबक बनता है 250-350 लक्ष्य सामग्री की सतह पर. गाऊसी चुंबकीय क्षेत्र, और उच्च-वोल्टेज विद्युत क्षेत्र एक ओर्थोगोनल विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र बनाते हैं.

विद्युत क्षेत्र की कार्रवाई के तहत, Ar गैस सकारात्मक आयनों और इलेक्ट्रॉनों में आयनित होती है. एक निश्चित नकारात्मक उच्च वोल्टेज लक्ष्य पर लागू होता है. लक्ष्य से उत्सर्जित इलेक्ट्रॉन चुंबकीय क्षेत्र से प्रभावित होते हैं और कार्यशील गैस की आयनीकरण संभावना बढ़ जाती है, कैथोड के पास एक उच्च घनत्व वाले प्लाज्मा का निर्माण. लोरेंत्ज़ बल की कार्रवाई के तहत, Ar आयन लक्ष्य सतह पर तेजी लाते हैं और लक्ष्य सतह पर तेज गति से बमबारी करते हैं, ताकि लक्ष्य से निकलने वाले परमाणु संवेग रूपांतरण के सिद्धांत का पालन करें और उच्च गतिज ऊर्जा के साथ लक्ष्य सतह से दूर उड़ जाएं।. फिल्म में सब्सट्रेट बयान.

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग को आम तौर पर दो प्रकारों में विभाजित किया जाता है: सहायक नदी स्पटरिंग और रेडियो फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग. सहायक नदी स्पटरिंग उपकरण का सिद्धांत सरल है, और धातुओं को स्पटर करते समय इसकी दर भी तेज होती है.. रेडियो फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग की अनुप्रयोग सीमा अधिक व्यापक होती है. प्रवाहकीय सामग्री स्पटरिंग के अलावा, गैर-प्रवाहकीय सामग्री को भी थूक दिया जा सकता है. एक ही समय पर, यह ऑक्साइड जैसे यौगिक सामग्री तैयार करने के लिए प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग भी कर सकता है, नाइट्राइड्स, और कार्बाइड..यदि रेडियो आवृत्ति की आवृत्ति बढ़ जाती है, यह माइक्रोवेव प्लाज्मा स्पटरिंग बन जाता है. वर्तमान में, इलेक्ट्रॉन साइक्लोट्रॉन अनुनाद (ईसीआर) प्रकार माइक्रोवेव प्लाज्मा स्पटरिंग आमतौर पर प्रयोग किया जाता है।.

शायद आपको भी पसंद आए

  • श्रेणियाँ

  • नवीनतम समाचार & ब्लॉग

  • दोस्त को शेयर करें

  • कंपनी

    शानक्सी झोंगबेई टाइटेनियम टैंटलम नाइओबियम धातु सामग्री कं।, लिमिटेड. अलौह धातुओं के प्रसंस्करण में विशेषज्ञता वाला एक चीनी उद्यम है, उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादों और सही बिक्री के बाद सेवा के साथ वैश्विक ग्राहकों की सेवा करना.

  • संपर्क करें

    मोबाइल:86-400-660-1855
    ईमेल:[email protected] aliyun.com
    वेब:www.chn-ti.com