पीवीडी-लेपित टाइटेनियम एल्यूमीनियम स्पटरिंग लक्ष्यों का निर्माण और अनुप्रयोग

टाइटेनियम एल्यूमीनियम मिश्र धातु लक्ष्य का उत्पादन करने के लिए परंपरागत रूप से इस्तेमाल की जाने वाली कास्टिंग विधि और पाउडर धातु विज्ञान विधि.

टाइटेनियम एल्यूमीनियम मिश्र धातु लक्ष्य की कास्टिंग विधि सरंध्रता और संकोचन से बच नहीं सकती है. बड़े आकार के टाइटेनियम एल्यूमीनियम कास्ट पाइप और सिल्लियां घूर्णन ट्यूब लक्ष्य बनाते समय सीलिंग और जलरोधी प्रभाव की गारंटी नहीं दे सकते हैं, और जैसे ट्यूब की दीवार नक़्क़ाशीदार होती है, दीवार की मोटाई बदलती है पतली, जब तक कोई छेद जुड़ा हुआ है तब तक ढीले और संकोचन छेद, सीलिंग खराब हो जाएगी, लाइटर लीक हो जाएगा, लक्ष्य ट्यूब का निर्वहन शुरू हो जाएगा, या बड़ी मात्रा में अशुद्धता प्रतिक्रिया में भाग लेगी और फिल्म के गिरने का कारण बनेगी या रंग गलत है..गंभीर मामलों में, संकोचन गुहा से निर्वात कक्ष में पानी सीधे इंजेक्ट किया जाता है, जो वास्तविक गुहा और निर्वात इकाई को दूषित करेगा.

पाउडर धातु विज्ञान प्रक्रिया उत्पादनटाइटेनियम एल्यूमीनियम लक्ष्यसरंध्रता और सिकुड़न की कोई समस्या नहीं है, लेकिन पाउडर धातु विज्ञान के सूक्ष्म दृष्टिकोण से, यह एक झरझरा सामग्री भी है, तो अगर आप बनाना चाहते हैंटाइटेनियम एल्यूमीनियम घूर्णन ट्यूब लक्ष्य, सामग्री कॉम्पैक्टनेस की आवश्यकताएं बहुत सख्त हैं, घनत्व से अधिक होना चाहिए 98%, लेकिन घनत्व आवश्यकताओं को पूरा करने का मतलब यह नहीं है कि इसका उपयोग किया जा सकता है। यदि टाइटेनियम एल्यूमीनियम पिंड की ऑक्सीजन सामग्री अधिक है और सूक्ष्म संरचना अनुचित है, टाइटेनियम एल्यूमीनियम पिंड का आंतरिक तनाव बड़ा है, और ढहना आसान है, और इसे घूर्णन ट्यूब लक्ष्य के रूप में उपयोग नहीं किया जा सकता है. इसलिए, पाउडर उत्पादन और कण आकार अनुपात के लिए कई आवश्यकताएं हैं। भले ही ये शर्तें पूरी हों, पाउडर धातु विज्ञान टाइटेनियम एल्यूमीनियम की अंगूठी को स्टेनलेस स्टील ट्यूब या टाइटेनियम ट्यूब से बांधा जाना चाहिए. टाइटेनियम एल्यूमीनियम के बड़े थर्मल विस्तार गुणांक के कारण, स्पटरिंग के दौरान स्थानीय लक्ष्य विस्तार शून्य तक पहुंच सकता है..5～1m, इसलिए सिल्लियों को बांधने का पारंपरिक तरीका इस समस्या को प्रभावी ढंग से हल नहीं कर सकता है. टाइटेनियम और एल्यूमीनियम बाइंडिंग सिल्लियों का पृथक्करण होता है, और लक्ष्य सतह की तापीय ऊर्जा का संचालन और विस्फोट नहीं किया जा सकता है..हालाँकि, तंग मिलान बंधन अविश्वसनीय है, और प्लाज्मा छिड़काव टाइटेनियम एल्यूमीनियम मिश्र धातु लक्ष्य की गुणवत्ता खराब है।.

घड़ी में सजावटी कोटिंग गुलाब सोना, आभूषण, और आईवियर उद्योग. हाल ही में, कई आवश्यकताओं में कार्बन नहीं होता है और आगे अंतर्निहित गुलाब के रंग को चेहरे के करीब गुलाब सोना बनाते हैं..हमारी राय में, TiCN अब आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकता. TiAlN सबसे सही समाधान है. लो-एंड वॉच ज्वेलरी की फिल्म की मोटाई और चमक के लिए कोई आवश्यकता नहीं है. उनमें से अधिकांश TiAlN जमा करने के लिए आर्क टाइटेनियम एल्यूमीनियम लक्ष्य का उपयोग करते हैं. हाई-एंड ब्रांड की घड़ियों को 1um से अधिक की मोटाई और चमक की आवश्यकता होती है. गिर नहीं सकता। चाप बूंदों से प्रभावित होता है और चिकनी और मोटी फिल्म में इसका कोई फायदा नहीं होता है। सेओ'केलीयह वर्तमान आपूर्ति आदेश की प्रतिक्रिया से देखा जा सकता है कि एक घूर्णन ट्यूब लक्ष्य के साथ TiAIN जमा करने का एक बेहतर तरीका है, न केवल रंग गुलाब सोने के करीब है, लेकिन मोटाई बढ़ने के बाद चमक प्रभावित नहीं होगी।.