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स्पटरिंग के बाद लक्ष्य आधा में जहर और कालापन की समस्या का विश्लेषण

2021年8月31日

 

प्रश्न: प्रतिक्रियाशील मैग्नेट्रोन स्पटरिंग तकनीक जिरकोनियम नाइट्राइड फिल्म जमा करती है, लक्ष्य दो इंच . है, स्पटरिंग गैस आर्गन है, प्रतिक्रियाशील गैस है N2, शक्ति 300W . है, रेडियो फ्रीक्वेंसी बिजली की आपूर्ति, बयान दो घंटे है, और लक्ष्य पूरा होने के बाद निकाल लिया जाता है. शीर्षक में वर्णित घटना को देखें, चाहे वह लक्ष्य विषाक्तता हो या अन्य कारण, लेकिन इसका आधा ही क्यों दिखाई देता है?

कारण विश्लेषण 1: यह रेडियो फ्रीक्वेंसी पावर की शुरूआत से संबंधित हो सकता है

कारण विश्लेषण 2: इतना छोटा लक्ष्य, दो इंच?कूलिंग यूनिफॉर्म है?

कारण विश्लेषण 3: 300इतने छोटे लक्ष्य में W शक्ति जुड़ जाती है, क्या शीतलन जारी रह सकता हैयह संदेह है कि शीतलन अच्छा नहीं है, काले रंग का आधा कारण!

कारण विश्लेषण 4: अपर्याप्त शीतलन। क्या तापमान बहुत अधिक है?

कारण विश्लेषण 5: यह उच्च शक्ति से संबंधित हो सकता है. मैं केवल के व्यास के साथ लक्ष्य की शक्ति बढ़ाने की हिम्मत करता हूं 60 लगभग 100W . तक.

कारण विश्लेषण 6: क्या दो घंटे में बिजली की आपूर्ति स्थिर हैयह हो सकता है कि ऊर्जा बहुत अधिक हो, या यह हो सकता है कि लक्ष्य का पक्ष किसी जमीनी घटक को छूता हो

कारण विश्लेषण 7: आशंका जताई जा रही है कि हवा में जकड़न की समस्या है, व्यक्तिगत रूप से सोचें

समाधान 1: सुझाव 1) गैस एकरूपता की जाँच करें; 2) क्या एक तरफ हवा का रिसाव है?

समाधान 2: XPS विश्लेषण करने की अनुशंसा की जाती है, या फिर से प्रयोग करें.

सारांश: उपरोक्त विश्लेषण के आधार पर, लक्ष्य को जहरीला और काला करने के मुख्य कारण अत्यधिक उच्च तापमान हैं, अस्थिर बिजली की आपूर्ति, गैस एकरूपता और हवा की जकड़न। इन संभावित मुख्य कारणों की जाँच करें, और चरण दर चरण उनका निवारण करें.

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