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बेलनाकार और तलीय मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य के लाभ

2021年10月19日

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्यों के अन्य रूपों की तुलना में, बेलनाकार और प्लेनर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य आयताकार फ्लैट लक्ष्यों के लिए अच्छी कोटिंग एकरूपता के फायदे बरकरार रखते हैं, और निम्नलिखित दो तरीकों से लक्ष्य सामग्री को अधिकतम कर सकते हैं उपयोग दर::

(1) जब दो समूह (चार) लक्ष्य सतह पर रिंग के आकार के गड्ढे एक निश्चित गहराई तक पहुँचते हैं, लक्ष्य कोर (चुंबक भाग) लक्ष्य ट्यूब के सापेक्ष 45° घुमाया जा सकता है, ताकि टार्गेट ट्यूब पर अन्य क्षेत्र जो कि जंग नहीं लगे हैं, का उपयोग किया जा सकता है

(2) जब बेलनाकार और प्लेनर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य के लक्ष्य कोर को घूर्णन लक्ष्य कोर के रूप में डिज़ाइन किया गया है, (स्पटरिंग के दौरान लक्ष्य कोर घूम रहा है), लक्ष्य सामग्री की सतह को परत दर परत समान रूप से थूका जा सकता है, और कोई गड्ढा नहीं होगा. इस समय, लक्ष्य सामग्री का सबसे प्रभावी ढंग से उपयोग किया जाएगा, और लक्ष्य सामग्री की उपयोग दर तक पहुंच सकता है 50% प्रति 60%. जब लक्ष्य सामग्री एक कीमती धातु सामग्री है, यह निस्संदेह बहुत महत्वपूर्ण है।.

अंत चुंबकीय क्षेत्र की समस्या को हल करने के लिए समाक्षीय बेलनाकार मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य में चुंबक और जूता के सिद्धांत को अपनाकर, आयताकार तलीय लक्ष्य को एक बेलनाकार में विकसित किया जा सकता है, प्लानर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य, जो अच्छी एकरूपता के मामले में आयताकार तलीय लक्ष्य की कोटिंग को बरकरार रखता है, लक्ष्य सामग्री की उपयोग दर को अधिकतम किया जा सकता है, जिससे आर्थिक लाभ में सुधार.

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