અમારી વેબસાઇટ પર આપનું સ્વાગત છે
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

ઔદ્યોગિક સમાચાર

» સમાચાર » ઔદ્યોગિક સમાચાર

મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ સ્પુટરિંગ લક્ષ્યનો સિદ્ધાંત

2021年8月31日

 

Sputtering લક્ષ્ય મેગ્નેટ્રોન sputtering સિદ્ધાંત:

ઓર્થોગોનલ મેગ્નેટિક ફિલ્ડ અને ઇલેક્ટ્રિક ફિલ્ડ સ્પુટર્ડ ટાર્ગેટ વચ્ચે ઉમેરવામાં આવે છે (કેથોડ) અને એનોડ, અને જરૂરી નિષ્ક્રિય ગેસ (સામાન્ય રીતે એઆર ગેસ) ઉચ્ચ વેક્યુમ ચેમ્બરમાં ભરાય છે. કાયમી ચુંબક રચાય છે 250-350 લક્ષ્ય સામગ્રીની સપાટી પર. ગૌસિયન ચુંબકીય ક્ષેત્ર, અને ઉચ્ચ-વોલ્ટેજ ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્ર ઓર્થોગોનલ ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ક્ષેત્ર બનાવે છે.

ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ક્રિયા હેઠળ, એર ગેસ હકારાત્મક આયનો અને ઇલેક્ટ્રોનમાં આયનાઇઝ કરે છે. ચોક્કસ નકારાત્મક ઉચ્ચ વોલ્ટેજ લક્ષ્ય પર લાગુ થાય છે. લક્ષ્યમાંથી નીકળેલા ઇલેક્ટ્રોન ચુંબકીય ક્ષેત્રથી પ્રભાવિત થાય છે અને કાર્યકારી ગેસની આયનીકરણની સંભાવના વધે છે, કેથોડની નજીક ઉચ્ચ ઘનતાવાળા પ્લાઝ્માની રચના. લોરેન્ટ્ઝ ફોર્સની ક્રિયા હેઠળ, Ar આયનો લક્ષ્ય સપાટી પર વેગ આપે છે અને speedંચી ઝડપે લક્ષ્ય સપાટી પર બોમ્બમારો કરે છે, જેથી લક્ષ્યમાંથી છૂટા પડેલા અણુઓ વેગ રૂપાંતરણના સિદ્ધાંતને અનુસરે અને ઉચ્ચ ગતિશીલ ઉર્જા સાથે લક્ષ્ય સપાટીથી દૂર ઉડે. ફિલ્મમાં સબસ્ટ્રેટ જુબાની.

મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગને સામાન્ય રીતે બે પ્રકારમાં વહેંચવામાં આવે છે: ઉપનદી સ્પટરિંગ અને રેડિયો ફ્રીક્વન્સી સ્પટરિંગ. સહાયક સ્પુટરિંગ સાધનોનો સિદ્ધાંત સરળ છે, અને ધાતુઓ ફફડતી વખતે તેનો દર પણ ઝડપી છે..રેડિયો ફ્રીક્વન્સી સ્પટરિંગની એપ્લિકેશન શ્રેણી વધુ વ્યાપક છે. સ્પુટરિંગ વાહક સામગ્રી ઉપરાંત, બિન-વાહક સામગ્રી પણ સ્પુટર થઈ શકે છે. તે જ સમયે, તે ઓક્સાઇડ જેવી સંયોજન સામગ્રી તૈયાર કરવા માટે પ્રતિક્રિયાશીલ સ્પટરિંગ પણ કરી શકે છે, નાઇટ્રાઇડ્સ, અને કાર્બાઇડ્સ .. જો રેડિયો ફ્રીક્વન્સીની આવર્તન વધી જાય, તે માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા સ્પટરિંગ બની જાય છે. હાલ, ઇલેક્ટ્રોન સાયક્લોટ્રોન રેઝોનન્સ (ECR) પ્રકાર માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા સ્પટરિંગનો સામાન્ય રીતે ઉપયોગ થાય છે..

કદાચ તમને પણ ગમે

  • શ્રેણીઓ

  • તાજેતરના સમાચાર & બ્લોગ

  • મિત્રને શેર કરો

  • કંપની

    શાંક્સી ઝોંગબેઇ ટાઇટેનિયમ ટેન્ટેલમ નિઓબિયમ મેટલ મટિરિયલ કો., લિ. બિન-લોહ ધાતુઓની પ્રક્રિયામાં વિશેષતા ધરાવતું ચીની એન્ટરપ્રાઇઝ છે, ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળા ઉત્પાદનો અને સંપૂર્ણ વેચાણ પછીની સેવા સાથે વૈશ્વિક ગ્રાહકોને સેવા આપે છે.

  • અમારો સંપર્ક કરો

    મોબાઇલ:86-400-660-1855
    ઈ-મેલ:[email protected] aliyun.com
    વેબ:www.chn-ti.com