Fàilte chun làrach-lìn againn
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Naidheachdan gnìomhachais

» Naidheachdan » Naidheachdan gnìomhachais

Tha am prionnsapal de sputtering targaid magnetron sputtering

2021年8月31日

 

Prionnsapal sputtering magnetron: cuir raon magnetach orthogonal agus raon dealain eadar an targaid sputtered (catod) agus an anod, agus tha an targaid sputtering air a lìonadh leis a ’ghas inert a tha a dhìth (mar as trice Ar gas) anns an t-seòmar falamh àrd. Bidh an magnet maireannach a ’cruthachadh a 250-350 Raon magnetach Gauss air uachdar an stuth targaid, agus a ’cruthachadh raon electromagnetic orthogonal leis an raon dealain àrd-bholtachd..

Fo gnìomh an raon dealain, Bidh gas air ionizes a-steach do ions dearbhach agus dealanan. Tha bholtadh àrd àicheil sònraichte air a chuir air an targaid. Tha an raon magnetach a ’toirt buaidh air na dealanan a thèid a sgaoileadh bhon targaid agus tha coltachd ionization an gas obrach ag àrdachadh, a ’cruthachadh plasma dùmhlachd àrd faisg air an catod. Fo gnìomh feachd Lorentz, Bidh ianan a ’luathachadh chun uachdar targaid agus a’ spreadhadh an uachdar targaid aig astar àrd, gus am bi na dadaman a thèid a-mach às an targaid a ’leantainn prionnsapal tionndadh momentum agus a’ sgèith air falbh bhon uachdar targaid le lùth cineatach nas àirde. Suidheachadh substrate a-steach do fhilm. Tha sputtering magnetron mar as trice air a roinn ann an dà sheòrsa: Sputtering DC agus sputtering tricead rèidio. Tha prionnsapal uidheamachd sputtering DC sìmplidh. Nuair a sputtering meatailt, tha an ìre aige luath cuideachd..

Tha an raon tagraidh de sputtering tricead rèidio nas fharsainge. A bharrachd air a bhith a ’spùtadh stuthan giùlain, faodar stuthan neo-ghiùlain a sputadh cuideachd. Aig an aon àm, faodaidh e cuideachd sputtering reactive a dhèanamh gus stuthan toinnte mar ocsaidean ullachadh, nitridean, agus carbides..Nuair a thèid tricead rèidio an targaid sputtering a mheudachadh, bidh e a ’fàs sputtering plasma microwave. An-dràsta, ath-shuidheachadh electron cyclotron (ECR) tha sputtering plasma microwave seòrsa air a chleachdadh gu cumanta..

Is dòcha gu bheil thu a ’còrdadh riut cuideachd

  • Roinnean-seòrsa

  • Naidheachdan o chionn ghoirid & Blog

  • Roinn ri caraid

  • COMHRADH

    Companaidh stuthan meatailt Shaanxi Zhongbei Tantalum Niobium Metal Co., Earranta. na iomairt Sìneach a tha gu sònraichte a ’giullachd mheatailtean neo-iarannach, a ’frithealadh luchd-ceannach cruinneil le toraidhean àrd-inbhe agus seirbheis às-reic foirfe.

  • Cuir fios thugainn

    Fòn-làimhe:86-400-660-1855
    Post-d:[email protected] aliyun.com
    Lìn:www.chn-ti.com