Targaidean sputtering

Liosta paramadair teignigeach de inneal còmhdach optigeach multilayer

modail

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Meud seòmar còmhdaich

Ф1050 × 1250, 304 Stàilinn nach meirg.

Ф800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Meud a-staigh de chàrn còmhdach

Tha am meur tàmh-àirneis 1680mm os cionn na talmhainn, freagarrach airson àirde obrachaidh ergonomic.

Tha am meur tàmh 1468mm os cionn na talmhainn, freagarrach airson àirde obrachaidh ergonomic.

Tha a ’bhreic tàmh-àirneis 1510mm os cionn na talmhainn, freagarrach airson àirde obrachaidh ergonomic.

1.Disc bogha aon-obrach bogha, gus coinneachadh ri luchd-ceannach’ feumalachdan airson èideadh gu ìre nas motha.Rotation 5-30r / min, atharrachadh astar gun cheum.

2.An diosc bogha trì-obrach, planetary revolution and rotation, to meet the needs of customers for production capacity to the greatest extent.Rotation 5-30r/min, atharrachadh astar gun cheum.

Fixture

Available in four-pieces, the angle of the bracket is adjustable, to meet the needs of customers for uniformity to a greater extent.Rotation 5-30r/min, atharrachadh astar gun cheum.

Disc bogha aon-obrach bogha, gus coinneachadh ri luchd-ceannach’ feumalachdan airson èideadh gu ìre nas motha.Rotation 5-30r / min, atharrachadh astar gun cheum.

Vacuum system

Aonad: diffusion pump DIP-12000 (Leybold), Roots pump ZJY-300, mechanical pump 2X-70, maintenance pump 2X-8.The pipeline is 304 Stàilinn nach meirg.

Aonad: Diffusion pump KT-400 (Zhenhua), Roots pump ZJY-150, mechanical pump 2X-70, maintenance pump 2X-8.

Aonad: diffusion pump KT-600 (Zhenhua), Roots pump ZJY-600, mechanical pump 2X-70, maintenance pump 2X-8.

Aonad: Pumpa sgaoilidh KT-800 (Zhenhua), Roots pump ZJY-600, mechanical pump 2X-70, maintenance pump 2X-8.

Falamh mu dheireadh: nas fheàrr na 4 × 10-4 Pa.

Uidheamaichte le inneal an-aghaidh buaireadh, dealbhadh eadar-ghlas sàbhailteachd, roghainneil làimhe agus fèin-ghluasadach.

Siostam teasachaidh

Modh teasachaidh air tiùb teasachaidh, Smachd PID, as àirde 350 ℃ ± 1.5 ℃.

Atmhorachd gas obrach

Ionnsramaid smachd sruthadh mòr gas no gleusadh làimhe de bhalbhaichean atmhorachd.

Bomadh ionization falamh

DC 3KV, 06Catode slat KW (air a chleachdadh gus am pìos obrach a ghlanadh mus tèid a chòmhdach).

Stòr falbhaidh (roghainneil)

1. Gunna dealanach TELEMARK-270 ° (air a thoirt a-steach), 6KW, bholtadh àrd 4KV-10KV adjustable.Positioning scan, scan tonn triantan, scan cruinn, spot shnìomhanach.Good beam spot fòcas, cruinneas suidheachaidh àrd, agus ath-riochdachadh sganaidh math.

2. Gunna dealanach dachaigheil (Zhenhua): 6KW, bholtadh àrd 4KV ～ 8KV comasach air atharrachadh, urrainn tonn triantan a thaghadh, tonn sine, sganadh tonn ceàrnagach gu saor.

3. Cruadhtan: crucible sia-cavity Φ38 × 20 no ceithir-cavity Φ38 × 20 a bharrachd air crùisgean cumadh arc aon-cavity le fad arc sa mheadhan de 87 (air a chleachdadh airson caitheamh àrd de stuthan falbhaidh puing leaghaidh ìosal) no crucible ceithir-cavity Φ48 × 18.

Stòr ian (roghainneil)

1. RF (Tricead rèidio) Stòr Ion (Air a thoirt a-steach).

2. 5Stòr ion KVA Hall (air a thoirt a-mach le Zhenhua), air a chleachdadh airson glanadh mus tèid electroplating no plating cuideachail sa phròiseas electroplating, a tha buannachdail gus clàr-amais ath-fhilleadh an fhilm a leasachadh, an diongmhaltas, agus dùmhlachd agus gèilleadh an fhilm.

Siostam smachd tiugh film (taghadh)

1. Rianadair criostail MDC-360 (air a thoirt a-steach) is urrainn dhaibh 1 ～ 99 sreathan de phròiseas còmhdach fèin-ghluasadach a stòradh, 99 seòrsaichean dàta prògram, cruinneas 0.5%+1? Mearachd stèidhichte.2TELEMARK-880 rianadair criostail (in-mhalairt): is urrainn dhaibh 1 ～ 99 sreathan de phròiseas còmhdach fèin-ghluasadach a stòradh, 99 seòrsaichean dàta prògram. 精度 0.5% + 1? Mearachd stèidhichte.

3. Riaghladair optigeach TELEMARK-820 (in-mhalairt): a ’gabhail ri teicneòlas anailis làn-tonn làn-speactram, agus a ’breithneachadh deireadh an fhilm le bhith a’ dèanamh anailis air an tar-chuir (no faileas) lùb an duilleag sgrùdaidh 370-870 mm.High cruinneas smachd, smachd aon-tonn, faodar smachd fèin-ghluasadach agus smachd làimhe a chleachdadh cuideachd. Bathar-bog àireamhachaidh film MACILEOD, ìre àrd de aonachadh.

4. Faodaidh rianadair optigeach TELEMARK-820 agus rianadair criostail TELEMARK-880 coinneachadh ri riatanasan còmhdach àrd mionaideachd agus ath-aithris àrd.Cooperate le coimpiutair aoigheachd gus smachd làn fèin-ghluasadach a thoirt gu buil.

5. Rianadair optigeach dachaigheil (mar eisimpleir 9704 monochromator a ’maidseadh, msaa.), faodar an tonn-tonn atharrachadh bho 330 gu 870, agus faodaidh an cruinneas ruighinn ± 1.5nm.

Neach-conaltraidh

Le bunait magnetach, faodar a chuir aig suidheachadh sam bith de dhoras an t-seòmair falamh agus caibineat smachd.

Is dòcha gu bheil thu a ’còrdadh riut cuideachd