Fàilte chun làrach-lìn againn
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Naidheachdan gnìomhachais

» Naidheachdan » Naidheachdan gnìomhachais

Targaidean sputtering magnet

2021年10月29日

1) Prionnsapal sputtering magnetron.
Anns a ’phòla targaid sputtered (catod) agus an anod eadar cur a-steach orthogonal magnetach agus raon dealain, ann an seòmar falamh àrd air a lìonadh leis a ’ghas inert a tha a dhìth (mar as trice Ar gas), magnets maireannach ann an uachdar stuth targaid gus raon magnetach de 250 ~ 350 gauss, leis an raon dealain àrd bholtachd gus raon electromagnetic orthogonal a chruthachadh. Fo gnìomh an raon dealain, tha an gas Ar air a h-ionachadh gu ianan agus dealanan adhartach, tha an targaid air a chur ris le bholtadh àrd àicheil, tha na dealanan bhon targaid fo ùmhlachd gnìomh an raon magnetach agus tha ionization an gas obrach ag àrdachadh, tha plasma dùmhlachd àrd air a chruthachadh faisg air an catod, tha na h-ianan Ar air an luathachadh fo ghnìomhachd feachd Lorentz agus ag itealaich a dh ’ionnsaigh an uachdar targaid, a ’spreadhadh an uachdar targaid le astar gu math àrd, gus am bi na dadaman a thèid a-mach às an targaid a ’leantainn prionnsapal tionndadh momentum le àrd Bidh na dadaman a tha air an targaid a’ leantainn prionnsapal tionndadh lùth cinéiteach agus a ’sgèith far an uachdar targaid a dh’ ionnsaigh an t-substrate gus film a thasgadh. Tha sputtering magnetron mar as trice air a roinn ann an dà sheòrsa: Sputtering DC agus sputtering RF, far a bheil prionnsapal uidheamachd sputtering DC sìmplidh agus gu bheil an ìre luath nuair a bhios tu a ’spùtadh mheatailtean. Sputtering RF, air an làimh eile, Faodar an cleachdadh ann an raon nas fharsainge de thagraidhean agus faodaidh iad stuthan neo-ghiùlain a spùtadh a bharrachd air stuthan dealanach, a bharrachd air sputtering reactive airson ullachadh stuthan toinnte mar ocsaidean, nitrides agus carbides. Ma thèid tricead RF a mheudachadh bidh e a ’fàs sputtering plasma microwave, an-diugh, mar as trice tha ath-shuidheachadh electron cyclotron (ECR) seòrsa sputtering plasma microwave.
2) Seòrsan de thargaidean sputtering magnetron.
Targaid còmhdach sputtering meatailt, targaid còmhdach sputtering alloy, targaid còmhdach sputtering ceirmeach, targaid sputtering ceramic boride, targaid sputtering ceramic carbide, targaid sputtering ceirmeach fluoride, targaid sputtering ceirmeach nitride, targaid ceirmeag ocsaid, targaid sputtering ceramic selenide, targaid sputtering ceramic silicide, targaid sputtering ceramic sulfide, targaid sputtering ceramic telluride, targaidean ceirmeag eile, targaidean ceirmeag silium-doped silicon oxide (Cr-SiO), targaidean indium phosphide (InP), prìomh thargaidean arsenide (PbAs), targaidean indium arsenide (InAs). [2]
Guth Deasaiche Sgìrean Iarrtais
Mar a tha fios againn uile, tha gluasad leasachadh teicneòlais stuthan targaid ceangailte gu dlùth ri gluasad leasachaidh teicneòlas film tana anns a ’ghnìomhachas tagraidh sìos an abhainn, agus mar a bhios gnìomhachas an tagraidh a ’leasachadh an teicneòlas ann am bathar no pàirtean fiolm tana, bu chòir an teicneòlas stuthan targaid atharrachadh cuideachd. Mar eisimpleir, Luchd-saothrachaidh Ic. O chionn ghoirid coisrigte airson leasachadh uèir copar seasmhachd ìosal, tha dùil gun cuir e gu mòr an àite an fhilm alùmanum tùsail anns na beagan bhliadhnaichean a tha romhainn, gus am bi leasachadh thargaidean copair agus an stuth targaid còmhdach bacaidh riatanach. A bharrachd air, o chionn beagan bhliadhnaichean, an taisbeanadh pannal còmhnard (FPD) gu mòr an àite an tiùb ray cathode tùsail (CRT) monitor coimpiutair stèidhichte agus margaidh telebhisean. Bidh e cuideachd a ’meudachadh gu mòr an teicneòlas agus iarrtas margaidh airson targaidean ITO. A bharrachd air, anns an teicneòlas stòraidh. Àrd-dùmhlachd, diosc cruaidh àrd-chomasach, tha iarrtas diosc optigeach ath-sgrìobhaidh àrd-dùmhlachd a ’sìor fhàs. Tha iad sin uile air leantainn gu atharrachaidhean ann an iarrtas gnìomhachas an tagraidh airson stuthan targaid. Anns na leanas bheir sinn a-steach na prìomh raointean tagraidh de stuthan targaid, agus gluasad leasachadh stuthan targaid anns na raointean sin.
Microelectronics
Tha na riatanasan càileachd as cruaidhe aig a ’ghnìomhachas semiconductor airson filmichean sputtering targaid de ghnìomhachas tagraidh sam bith. An-diugh, wafers silicon de suas ri 12 òirleach (300 epitodes) air an dèanamh. fhad ‘s a tha leud an eadar-cheangail a’ dol sìos. Riatanasan luchd-saothrachaidh wafer silicon airson meudan mòra, fìor-ghlan, tha dealachadh ìosal agus gràinean mìn a ’feumachdainn gu bheil microstructure nas fheàrr aig na targaidean a chaidh a dhèanamh. Tha trast-thomhas nan gràinean criostail agus èideadh an targaid air a chomharrachadh mar phrìomh fheart a tha a ’toirt buaidh air ìre tasgaidh an fhilm. A bharrachd air, tha purrachd an fhilm gu mòr an urra ri purrachd an targaid. Anns an àm a dh ’fhalbh, a 99.995% (4N5) is dòcha gum bi targaid copair fìor-ghlan comasach air feumalachdan luchd-saothrachaidh semiconductor a choileanadh airson a ’phròiseas 0.35f, ach chan urrainn dha coinneachadh ri riatanasan pròiseas 0.25um an-diugh, fhad 'sa bha an 0.18um} bidh feum air purrachd targaid de ealain no eadhon pròiseas 0.13m airson an neo-thomhas 5 no eadhon 6N no barrachd. Copar an coimeas ri alùmanum, tha buaidh nas àirde aig copar air electromigration agus seasmhachd nas ìsle gus coinneachadh! Feumaidh pròiseas an stiùiriche sreangadh fo-micron fo 0.25um ach thig duilgheadasan eile leis: tha neart greamachaidh copair gu stuthan dielectric organach ìosal. Agus furasta freagairt, a ’leantainn gu cleachdadh na loidhne eadar-cheangail copair chip air a chriathradh agus air a bhriseadh. Gus na duilgheadasan sin fhuasgladh, am feum a bhith a ’stèidheachadh còmhdach bacaidh eadar an còmhdach copair agus dielectric. Mar as trice thathas a ’cleachdadh stuthan còmhdach blocaidh mar phuing leaghaidh àrd, seasmhachd àrd den mheatailt agus na todhar, mar sin tha tiugh an t-sreath bacaidh nas lugha na 50nm, agus tha coileanadh adhesion stuth copar agus dielectric math. Tha eadar-cheangal copair agus eadar-cheangal alùmanum den stuth còmhdach bacadh eadar-dhealaichte. Feumar stuthan targaid ùra a leasachadh. Eadar-cheangal copair den ìre bacaidh le stuthan targaid a ’toirt a-steach Ta, W., TaSi, WSi, msaa.. Ach Ta, Tha W nam meatailtean teasairginn. Tha cinneasachadh caran duilich, a-nis a ’sgrùdadh molybdenum, cromium agus òr Taiwan eile mar stuthan eile.
Airson taisbeanaidhean
Taisbeanaidhean pannal còmhnard (FPD) air buaidh mhòr a thoirt air sgrùdair coimpiutair agus margaidh telebhisean thar nam bliadhnaichean, sa mhòr-chuid ann an cruth phìoban ray cathode (CRT), a bhios cuideachd a ’stiùireadh teicneòlas agus iarrtas margaidh airson targaidean ITO. Tha dà sheòrsa de thargaidean iTO rim faighinn an-diugh. Is e aon a bhith a ’cleachdadh pùdar indium ocsaid nano-stàite agus pùdar staoin ocsaid measgaichte agus sintichte, is e aon a bhith a ’cleachdadh targaid indium tin alloy. Faodar targaidean allium indium-tin a chleachdadh airson filmichean tana ITO le sputtering DC reactive, ach bidh an uachdar targaid a ’oxidachadh agus a’ toirt buaidh air an ìre sputtering, agus chan eil e furasta targaidean mòra òir Taiwan fhaighinn. An-diugh, sa chumantas thèid gabhail ris a ’chiad dhòigh gus targaidean ITO a thoirt gu buil, a ’cleachdadh L.}Còmhdach sputtering reactive IRF. Tha astar tasgaidh luath aige. Agus is urrainn dhaibh smachd ceart a chumail air tiugh an fhilm, seoltachd àrd, cunbhalachd math den fhilm, agus gèilleadh làidir ris an t-substrate, msaa. l. Ach na duilgheadasan cinneasachaidh stuthan targaid, tha seo air sgàth nach eil e furasta do indium oxide agus staoin ocsaid sinter còmhla. ZrO2, Tha Bi2O3 agus CeO mar as trice air an cleachdadh mar chur-ris sintering agus tha e comasach dhaibh targaidean fhaighinn le dùmhlachd de 93% gu 98% den luach teòiridheach. Tha coileanadh fhilmichean ITO a chaidh a chruthachadh san dòigh seo gu mòr an urra ris na cuir-ris. Bidh luchd-saidheans Iapanach a ’cleachdadh Bizo mar chur-ris, Tha Bi2O3 a ’leaghadh aig 820Cr agus tha e air gluasad thairis air an teòthachd shiùbhlach l500 ° C.. Tha seo a ’comasachadh targaid ITO an ìre mhath fìor-ghlan fhaighinn fo chumhachan leaghadh ìre leaghaidh. A bharrachd air an sin, chan fheum an stuth amh ocsaid a tha riatanach a bhith nan nanoparticles, a tha a ’sìmpleachadh a’ phròiseas tòiseachaidh. Ann an 2000, an Coimisean Dealbhaidh Leasachaidh Nàiseanta, Ministrealachd Saidheans agus Teicneòlas Ministrealachd Saidheans agus Teicneòlas anns an “leasachadh prìomhachais làithreach de phrìomh raointean stiùiridh gnìomhachas fiosrachaidh”, Tha stuth targaid mòr ITO air a thoirt a-steach cuideachd.
Airson stòradh
Ann an teicneòlas stòraidh, leasachadh dùmhlachd àrd, feumaidh diosc cruaidh àrd comas àireamh mhòr de stuthan film magnetoresistive mòr, agus tha film ioma-fhillte CoF ~ Cu multilayer na structar film magnetoresistive mòr a thathas a ’cleachdadh gu farsaing an-diugh. Thathas fhathast a ’dèanamh tuilleadh leasachaidh air an stuth targaid TbFeCo alloy a tha riatanach airson diosgan magnetach, agus tha comas stòraidh àrd aig na diosgan magnetach a chaidh a dhèanamh bhuaithe, beatha fhada agus faodar a dhubhadh às gu cunbhalach gun fios. Tha structar fiolm ioma-fhillte TbFeCo / Ta agus TbFeCo / Al air na diosgan magnetach a chaidh a leasachadh an-diugh. Tha ceàrn cuairteachaidh Kerr de structar TbFeCo / AI a ’ruighinn 58, fhad ‘s as urrainn dha TbFeCofFa a bhith faisg air 0.8. Thathar air faighinn a-mach gu bheil ath-ghiùlan ìosal magnetach an stuth targaid àrd bholtadh sgaoilidh AC àrd a ’seasamh an aghaidh neart dealain.
Cuimhneachan atharrachaidh ìre stèidhichte Germanim antimony telluride (PCM) air comas malairteach mòr a nochdadh mar theicneòlas cuimhne eile airson flash seòrsa NOR agus pàirt de mhargaidh DRAM, ge-tà, is e aon de na dùbhlain air an rathad gu sgèileadh nas luaithe an dìth cheallan làn hermetic a dh ’fhaodar a thoirt a-mach gus an sruth ath-shuidheachadh a lughdachadh tuilleadh. Faodaidh sruthan ath-shuidheachadh nas ìsle caitheamh cumhachd cuimhne a lughdachadh, leudachadh beatha bataraidh agus àrdachadh leud-bann dàta, a h-uile feart cudromach airson dàta an latha an-diugh, neach-cleachdaidh gu math so-ghiùlain

 

Is dòcha gu bheil thu a ’còrdadh riut cuideachd

  • Roinnean-seòrsa

  • Naidheachdan o chionn ghoirid & Blog

  • Roinn ri caraid

  • COMHRADH

    Companaidh stuthan meatailt Shaanxi Zhongbei Tantalum Niobium Metal Co., Earranta. na iomairt Sìneach a tha gu sònraichte a ’giullachd mheatailtean neo-iarannach, a ’frithealadh luchd-ceannach cruinneil le toraidhean àrd-inbhe agus seirbheis às-reic foirfe.

  • Cuir fios thugainn

    Fòn-làimhe:86-400-660-1855
    Post-d:[email protected] aliyun.com
    Lìn:www.chn-ti.com