Spriocanna sputtering

Liosta paraiméadar teicniúil de mheaisín sciath optúil ilteangach

Mionsamhail

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Méid an tseomra sciath

Ф1050 × 1250, 304 cruach dhosmálta.

Ф800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Méid istigh na cuas sciath

Tá an lúibín daingneáin 1680mm os cionn na talún, oiriúnach le haghaidh airde oibríochta eirgeanamaíochta.

Tá an lúibín daingneáin 1468mm os cionn na talún, oiriúnach le haghaidh airde oibríochta eirgeanamaíochta.

Tá an lúibín daingneáin 1510mm os cionn na talún, oiriúnach le haghaidh airde oibríochta eirgeanamaíochta.

1.Diosca droimneach aon-saothar, chun bualadh le custaiméirí’ riachtanais aonfhoirmeachta níos mó.Rotation 5-30r / min, athrú luais gan chéim.

2.An diosca droimneach trí phíosa oibre, réabhlóid phláinéid agus rothlú, freastal ar riachtanais na gcustaiméirí maidir le hacmhainn táirgeachta a mhéid is féidir.Rotation 5-30r / min, athrú luais gan chéim.

Daingneán

Ar fáil i gceithre phíosa, tá uillinn an lúibín inchoigeartaithe, freastal níos mó ar riachtanais na gcustaiméirí maidir le haonfhoirmeacht. Ráta 5-30r / nóim, athrú luais gan chéim.

Diosca droimneach aon-saothar, chun bualadh le custaiméirí’ riachtanais aonfhoirmeachta níos mó.Rotation 5-30r / min, athrú luais gan chéim.

Córas folúis

Aonad: caidéal idirleathadh DIP-12000 (Leybold), Caidéil fréamhacha ZJY-300, caidéal meicniúil 2X-70, caidéal cothabhála 2X-8.Tá an phíblíne 304 cruach dhosmálta.

Aonad: Caidéal idirleata KT-400 (Zhenhua), Caidéil fréamhacha ZJY-150, caidéal meicniúil 2X-70, caidéal cothabhála 2X-8.

Aonad: caidéal idirleata KT-600 (Zhenhua), Caidéil fréamhacha ZJY-600, caidéal meicniúil 2X-70, caidéal cothabhála 2X-8.

Aonad: Caidéal idirleata KT-800 (Zhenhua), Caidéil fréamhacha ZJY-600, caidéal meicniúil 2X-70, caidéal cothabhála 2X-8.

Folús deiridh: níos fearr ná 4 × 10-4 Pa.

Feistithe le feiste frith-suaiteachta, dearadh glasála sábháilteachta, roghnach láimhe agus uathoibríoch.

Córas téimh

Modh téimh ar an bhfeadán téimh, Rialú PID, uasmhéid 350 ℃ ± 1.5 ℃.

Boilsciú gáis oibre

Ionstraim rialaithe sreafa maise gáis nó mionchoigeartú láimhe na comhla boilscithe.

Buamáil ianaithe folúis

DC 3KV, 06Catóide slat KW (a úsáidtear chun an píosa oibre a ghlanadh sula ndéantar sciath).

Foinse galú (roghnach)

1. Gunna leictreon TELEMARK-270 ° (allmhairithe), 6KW, scanadh ard-voltais 4KV-10KV inchoigeartaithe.Positioning, scanadh tonn triantáin, scanadh ciorclach, spiaire bíseach.Geo láthair bhíoma ag díriú, cruinneas suite ard, agus in-atáirgtheacht maith scanadh.

2. Gunna leictreon baile (Zhenhua): 6KW, ardvoltais 4KV ～ 8KV inchoigeartaithe, in ann tonn triantáin a roghnú, tonn sine, scanadh tonn cearnach go saor.

3. Breogán: breogán sé-chuas Φ38 × 20 breogán nó ceithre chuas Φ38 × 20 móide breogán cruth stua aon-chuas le fad stua lár de 87 (a úsáidtear le haghaidh tomhaltas ard ábhar galú pointe leá íseal) nó breogán ceithre chuas Φ48 × 18.

Foinse ian (roghnach)

1. RF (Minicíocht Raidió) Foinse ian (Allmhairithe).

2. 5Foinse ian Halla KVA (arna léiriú ag Zhenhua), a úsáidtear le haghaidh glantacháin roimh leictreaphlátáil nó plating cúnta sa phróiseas leictreaphlátála, atá tairbheach chun innéacs athraonta an scannáin a fheabhsú, an daingne, agus dlús agus greamaitheacht an scannáin.

Córas rialaithe tiús scannáin (roghnú)

1. Rialaitheoir criostail MDC-360 (allmhairithe) in ann 1 ～ 99 sraith de phróiseas brataithe uathoibríoch a stóráil, 99 cineálacha sonraí cláir, cruinneas 0.5%+1? Earráid sheasta.2TELEMARK-880 rialtóir criostail (allmhairiú): in ann 1 ～ 99 sraith de phróiseas brataithe uathoibríoch a stóráil, 99 cineálacha sonraí cláir 精度 0.5% + 1? Earráid sheasta.

3. Rialaitheoir optúil TELEMARK-820 (allmhairiú): glacann sé teicneolaíocht anailíse pointe deiridh speictrim lán-tonnfhaid, agus breithníonn sé deireadh an scannáin trí anailís a dhéanamh ar an seoltacht (nó frithchaitheamh) cuar an bhileog monatóra 370-870 Cruinneas rialaithe mm.High, rialú tonnfhaid aonair, is féidir rialú uathoibríoch agus rialú láimhe a úsáid freisin. Bogearraí ríofa scannáin breise MACILEOD, leibhéal ard comhtháthaithe.

4. Is féidir le rialtóir optúil TELEMARK-820 agus rialtóir criostail TELEMARK-880 na riachtanais a bhaineann le sciath ardchruinneas agus ard-in-atrialltachta a chomhlíonadh. Comhoibriú leis an ríomhaire óstach chun rialú iomlán uathoibríoch a bhaint amach.

5. Rialaitheoir optúil baile (mar 9704 monacrómóir meaitseála, srl.), tá an tonnfhad inchoigeartaithe ó 330 chun 870, agus is féidir leis an cruinneas ± 1.5nm a bhaint amach.

Cumarsáidóir

Le bonn maighnéadach, is féidir é a chur ag aon áit ar dhoras an tseomra folúis agus ar an gcomh-aireachta rialaithe.

B'fhéidir gur mhaith leat freisin