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Quelles sont les cibles de pulvérisation en céramique courantes

2021年10月10日

Avec le développement de l'industrie électronique, les matériaux de haute technologie se tournent progressivement vers les couches minces, et pendant la période de revêtement, ils se développent rapidement. La cible est un matériel électronique spécial à haute valeur ajoutée, et c'est la source de la pulvérisation cathodique de matériaux en couches minces. En tant que matériau de base pour le développement de l'industrie des couches minces non métalliques, les cibles céramiques ont atteint un développement sans précédent, et le marché cible s'élargit de jour en jour..

Les cibles plates en céramique domestiques utilisent principalement des procédés de frittage et de liaison, qui peut produire une longueur maximale de 600 mm, une largeur maximale de 400 mm, et une épaisseur maximale de 30 mm. Les coins arrondis, bords biseautés, les marches et autres formes spéciales peuvent être traitées selon les exigences du client..

Les cibles céramiques courantes comprennent principalement: CETTE cible, cible d'oxyde de magnésium, cible d'oxyde de fer, cible de nitrure de silicium, cible en carbure de silicium, cible de nitrure de titane, cible d'oxyde de chrome, cible d'oxyde de zinc, cible de monoxyde de silicium, cible d'oxyde de cérium, Cible de sulfure de zinc, cible de dioxyde de silicium, cible de dioxyde de zirconium, cible de pentoxyde de niobium, cible de dioxyde de titane, cible de dioxyde d'hafnium, cible de diborure de titane, cible en diborure de zirconium, cible de trioxyde de tungstène, oxyde d'aluminium, Pentoxyde de tantale cible, cible de pentoxyde de niobium, cible de fluorure de magnésium, cible de fluorure d'yttrium, cible de séléniure de zinc, cible en nitrure d'aluminium, cible de nitrure de silicium, cible de nitrure de bore, cible de nitrure de titane, cible en carbure de silicium , Cible niobate de lithium, cible titanate de praséodyme, cible titanate de baryum, cible titanate de lanthane, cible d'oxyde de nickel, etc..

Types de cibles en céramique:

(1) Selon la composition chimique, il peut être divisé en cible en céramique d'oxyde, cible en céramique de siliciure, cible en céramique de nitrure, cible en céramique de fluorure et cible en céramique de sulfure, etc..Parmi eux, la cible en céramique ITO à écran plat a été largement produite et appliquée en Chine. Les cibles en céramique pour les films isolants diélectriques élevés et les cibles en céramique à magnétorésistance géante ont de larges perspectives d'application.

(2) Selon l'application, il peut être divisé en cibles céramiques liées aux semi-conducteurs, afficher des cibles en céramique, cibles céramiques d'enregistrement magnétique, cibles céramiques d'enregistrement optique, cibles céramiques supraconductrices, cibles céramiques à magnétorésistance géantes, etc..

Les cibles en céramique ne représentent qu'une très petite partie de la fabrication de produits électroniques complexes existants, mais ils jouent un rôle en tant que matériau de base de premier plan pour l'industrie de l'information. L'industrie de l'information électronique de mon pays se développe rapidement, et la demande de cibles de pulvérisation en céramique augmente d'année en année. La recherche et le développement futurs de cibles de pulvérisation en céramique seront un sujet important pour les fournisseurs cibles de notre pays..

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