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Liste des paramètres techniques de la machine de revêtement optique multicouche

202131 août

maquette
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
Taille de la salle de revêtement
1050×1250, 304 acier inoxydable.
800×1000
900×1050
1200×1250
Taille intérieure de la cavité de revêtement
Le support du luminaire est à 1680 mm au-dessus du sol, adapté à une hauteur de fonctionnement ergonomique.
Le support du luminaire est à 1468 mm au-dessus du sol, adapté à une hauteur de fonctionnement ergonomique.
Le support du luminaire est à 1510 mm au-dessus du sol, adapté à une hauteur de fonctionnement ergonomique.
1.Disque monobloc arqué, rencontrer des clients’ besoins d'uniformité dans une plus grande mesure.Rotation 5-30r/min, changement de vitesse en continu.
2.Le disque arqué à trois pièces, révolution et rotation planétaire, pour répondre aux besoins des clients pour la capacité de production dans la plus grande mesure.Rotation 5-30r/min, changement de vitesse en continu.
Fixation
Disponible en quatre pièces, l'angle du support est réglable, pour répondre aux besoins des clients en matière d'uniformité dans une plus grande mesure.Rotation 5-30r/min, changement de vitesse en continu.
Disque monobloc arqué, rencontrer des clients’ besoins d'uniformité dans une plus grande mesure.Rotation 5-30r/min, changement de vitesse en continu.
Disque monobloc arqué, rencontrer des clients’ besoins d'uniformité dans une plus grande mesure.Rotation 5-30r/min, changement de vitesse en continu.
Système de vide
Unité: pompe à diffusion DIP-12000 (Leybold), Pompe Roots ZJY-300, pompe mécanique 2X-70, pompe de maintenance 2X-8.Le pipeline est 304 acier inoxydable.
Unité: Pompe à diffusion KT-400 (Zhenhua), Pompe Roots ZJY-150, pompe mécanique 2X-70, pompe d'entretien 2X-8.
Unité: pompe à diffusion KT-600 (Zhenhua), Pompe Roots ZJY-600, pompe mécanique 2X-70, pompe d'entretien 2X-8.
Unité: Pompe à diffusion KT-800 (Zhenhua), Pompe Roots ZJY-600, pompe mécanique 2X-70, pompe d'entretien 2X-8.
Vide ultime: mieux que 4×10-4 Pa.
Equipé d'un dispositif anti-turbulence, conception de verrouillage de sécurité, manuel et automatique en option.
Système de chauffage
Méthode de chauffage sur tube chauffant, Contrôle PID, maximum 350℃±1.5℃.
Gonflage du gaz de travail
Instrument de contrôle du débit massique de gaz ou réglage manuel de la valve de gonflage.
Bombardement par ionisation sous vide
CC 3KV, 06Cathode à tige KW (utilisé pour nettoyer la pièce avant le revêtement).
Source d'évaporation (optionnel)
1. Canon à électrons TELEMARK-270° (importé), 6KW, haute tension 4KV-10KV réglable. Balayage de positionnement, balayage d'onde triangulaire, balayage circulaire, balayage en spirale. Bonne focalisation du spot de faisceau, haute précision de positionnement, et une bonne reproductibilité de numérisation.
2. Canon à électrons domestique (Zhenhua): 6KW, haute tension 4KV~8KV réglable, peut choisir une onde triangulaire, onde sinusoïdale, balayage d'onde carrée librement.
3. Creuset: creuset à six cavités Φ38×20 ou à quatre cavités Φ38×20 plus creuset en forme d'arc à une cavité avec une longueur d'arc central de 87 (utilisé pour une consommation élevée de matériaux d'évaporation à bas point de fusion) ou creuset 48×18 à quatre cavités.
Source d'ions (optionnel)
1. RF (Fréquence radio) Source d'ions (Importé).
2. 5Source d'ions Hall KVA (produit par Zhenhua), utilisé pour le nettoyage avant la galvanoplastie ou le placage auxiliaire dans le processus de galvanoplastie, ce qui est bénéfique pour améliorer l'indice de réfraction du film, la fermeté, et la densité et l'adhérence du film.
Système de contrôle de l'épaisseur du film (sélection)
1. Contrôleur de cristal MDC-360 (importé) peut stocker 1~99 couches de processus de revêtement automatique, 99 types de données de programme, précision 0.5%+1? Erreur corrigée.2Contrôleur cristal TELEMARK-880 (importer): peut stocker 1~99 couches de processus de revêtement automatique, 99 types de données de programme. 精度0.5%+1? Erreur corrigée.
3. Contrôleur optique TELEMARK-820 (importer): adopte une technologie d'analyse de point final à spectre complet multi-longueurs d'onde, et juge la fin du film en analysant la transmittance (ou réflectance) courbe de la feuille de moniteur 370-870 mm. Haute précision de contrôle, contrôle de longueur d'onde unique, Le contrôle automatique et le contrôle manuel peuvent également être utilisés. Logiciel de calcul de film MACILEOD supplémentaire, haut degré d'intégration.
4. Le contrôleur optique TELEMARK-820 et le contrôleur à cristal TELEMARK-880 peuvent répondre aux exigences d'un revêtement de haute précision et de haute répétabilité. Coopérer avec l'ordinateur hôte pour réaliser un contrôle entièrement automatique.
5. Contrôleur optique domestique (tel que 9704 monochromateur correspondant, etc.), la longueur d'onde est réglable de 330 à 870, et la précision peut atteindre ±1.5nm.
Communicateur
Avec base magnétique, il peut être placé à n'importe quelle position de la porte de la chambre à vide et de l'armoire de commande.

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