Cibles utilisées pour le revêtement par pulvérisation de produits électroniques

Les produits électroniques sont utilisés dans tous les domaines, et la plupart de ces produits électroniques doivent être revêtus avant d'être mis sur le marché. De nos jours, l'équipement de revêtement sous vide couramment utilisé est la machine de revêtement sous vide par pulvérisation cathodique magnétron. Ici, nous venons Jetez un œil aux cibles utilisées en pulvérisation cathodique.Généralement, les matériaux cibles que nous utilisons ne sont que trois types: cibles métalliques, cibles en alliage, et des cibles composées..

Il existe de nombreuses cibles utilisées dans les disques durs. Des films multicouches sont plaqués sur la surface d'enregistrement. Chaque film a sa propre fonction. Sur la couche inférieure, 40Du chrome ou un alliage de chrome de nm d'épaisseur sera plaqué pour améliorer l'adhérence et la résistance à la corrosion. , Et puis plaqué avec un alliage de cobalt-chrome de 15 nm d'épaisseur au milieu, puis plaqué avec un alliage de cobalt de 35 nm d'épaisseur, comme matériau magnétique, ce matériau peut refléter pleinement les caractéristiques du magnétisme et des faibles interférences, et enfin plaqué avec un film de carbone de 15 nm d'épaisseur.

La cible de pulvérisation cathodique de la tête magnétique est un alliage fer-nickel couramment utilisé, et quelques nouveaux matériaux composés ont été ajoutés plus tard, comme le nitrure de fer, nitrure de fer et de tantale, nitrure de fer et d'aluminium, etc., qui sont tous des matériaux cibles de film diélectrique magnétique de haute qualité.

Les disques CD utiliseront un film d'aluminium comme couche réfléchissante à plaquer sur des pièces en plastique, mais pour les disques CDROM et DVDROM, le film d'aluminium ne peut pas être utilisé, car il y aura une couche de colorant sur ces disques, et la substance sur l'aluminium est corrosive dans une certaine mesure, et il est généralement remplacé par un film d'or ou d'argent.

La couche de film du disque optique est également composée de plusieurs couches. Il est recouvert d'une couche d'enregistrement en alliage fer-cobalt de 30 nm d'épaisseur sur la couche de colorant, qui est mélangé avec des éléments de transition de terres rares amorphes, puis enduit d'un 20 couche diélectrique de nitrure de silicium d'une épaisseur de 100 nm. Enfin recouvert d'une couche réfléchissante en aluminium.

Ces produits électroniques qui doivent obtenir des propriétés magnétiques et peuvent enregistrer des données, pour réaliser ces fonctions, encore besoin de s'appuyer sur le film pulvérisé par diverses substances, et l'ordre des états cristallins affichés après la formation du film..