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Nouveau type de méthode de fabrication de cibles en alliage titane-aluminium

2021年10月10日

Maintenant, les principales usines de fabrication de cibles de pulvérisation cathodique dans le monde utilisent deux méthodes différentes pour la fabrication de cibles de pulvérisation cathodique en alliage d'aluminium. Fabriqué par moulage par pulvérisation. En ce qui concerne les méthodes de moulage/forgeage connues, lors de la production de cibles de pulvérisation en alliage d'aluminium, l'ajout d'éléments d'alliage provoque souvent une ségrégation des cibles de pulvérisation d'alliage d'aluminium, ce qui à son tour rend la qualité des films de pulvérisation plus mauvaise et La surface de la cible de pulvérisation est susceptible de produire des micro-particules, ce qui affectera également l'uniformité des propriétés du film. Si la cible de pulvérisation en alliage d'aluminium est fabriquée par le procédé connu de formation par pulvérisation, bien que les inconvénients connexes mentionnés ci-dessus puissent être évités, il fera la cible de pulvérisation Le coût de production est considérablement augmenté, surtout lors de la réalisation de cibles de pulvérisation qui ne sont pas faciles à forger et doivent utiliser une égalisation à chaud, le coût sera augmenté en raison de l'utilisation de l'égalisation à chaud.

Afin de rendre le processus de production de cibles en alliage titane-aluminium plus facile et à moindre coût, voici une méthode de fabrication de cibles de pulvérisation en alliage d'aluminium avec de la poudre de pulvérisation de gaz. Comparé à la poudre de matière première de la cible de pulvérisation, la poudre d'alliage est tamisée pour obtenir la granulométrie de poudre appropriée, et enfin la poudre est pressée à chaud sous vide pour fabriquer la cible de pulvérisation cathodique en alliage d'aluminium. Cette méthode de fabrication de cibles de pulvérisation cathodique en alliage d'aluminium avec de la poudre de pulvérisation d'air peut être appliquée à la production de diverses cibles de pulvérisation cathodique en alliage d'aluminium (aluminium-chrome, aluminium-silicium-cuivre, aluminium-titane, etc.). Les étapes de mise en œuvre préférées sont: fournir des matières premières métalliques pour la fabrication de cibles de pulvérisation en alliage d'aluminium et les fondre en métal en fusion; ensuite, utiliser la méthode de pulvérisation de gaz pour fabriquer des poudres métalliques à partir du métal en fusion; finalement, chauffer les poudres métalliques sous vide Formées en un matériau cible de pulvérisation en alliage d'aluminium, et faire passer un gaz inerte comme gaz de protection. Cette méthode peut éviter les inconvénients de la ségrégation des matériaux et des microparticules, et rendre les cibles de pulvérisation de haute qualité plus rapides et moins chères.

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