Fabrication et application de cibles de pulvérisation cathodique en aluminium titane à revêtement PVD

Méthode de coulée traditionnellement utilisée et méthode de métallurgie des poudres pour produire une cible en alliage de titane et d'aluminium.

La méthode de coulée des cibles en alliage de titane et d'aluminium ne peut pas éviter la porosité et le retrait. Les tuyaux et lingots en fonte d'aluminium de titane de grande taille ne peuvent pas garantir l'effet d'étanchéité et d'étanchéité lors de la fabrication de la cible du tube rotatif, et comme la paroi du tube est gravée, l'épaisseur de paroi change Mince, trous desserrés et de retrait tant qu'il y a un trou connecté, l'étanchéité deviendra pire, les plus légers fuiront, le tube cible commencera à se décharger, ou une grande quantité d'impureté participera à la réaction et fera tomber le film ou la couleur est mauvaise..Dans les cas graves, l'eau est directement injectée de la cavité de rétraction vers la chambre à vide, qui contaminera la vraie cavité et l'unité de vide.

Production de procédé de métallurgie des poudresCible en aluminium titaneIl n'y a pas de problème de porosité et de retrait, mais du point de vue microscopique de la métallurgie des poudres, c'est aussi un matériau poreux, donc si tu veux faireCible de tube rotatif en aluminium titane, Les exigences de compacité des matériaux sont très strictes, la densité doit être supérieure à 98%, mais répondre aux exigences de densité ne signifie pas qu'il peut être utilisé. Si la teneur en oxygène du lingot d'aluminium et de titane est élevée et que la microstructure est déraisonnable, la contrainte interne du lingot d'aluminium titane est grande, et il est facile de s'effondrer, et il ne peut pas être utilisé comme cible de tube rotatif. Par conséquent, il existe de nombreuses exigences pour la production de poudre et le rapport granulométrique. Même si ces conditions sont remplies, la bague en aluminium titane de métallurgie des poudres doit être attachée au tube en acier inoxydable ou au tube en titane. En raison du grand coefficient de dilatation thermique de l'aluminium titane, l'expansion locale de la cible peut atteindre zéro pendant la pulvérisation..5～1m, la méthode traditionnelle de liage des lingots ne peut donc pas résoudre efficacement ce problème. La séparation des lingots de liaison de titane et d'aluminium se produit, et l'énergie thermique de la surface cible ne peut pas être conduite et éclate..Cependant, le lien d'appariement serré n'est pas fiable, et la qualité de la cible en alliage de titane et d'aluminium pulvérisée au plasma est médiocre..

Revêtement décoratif en or rose dans la montre, bijoux, et industries de la lunetterie. Récemment, de nombreuses exigences ne contiennent pas de carbone et rendent en outre la couleur rose sous-jacente proche de l'or rose du visage. À notre avis, TiCN ne peut plus répondre aux exigences. TiAlN est la solution la plus parfaite. Les bijoux de montre bas de gamme n'ont pas d'exigences en matière d'épaisseur et de brillance du film. La plupart d'entre eux utilisent des cibles arc-titane en aluminium pour déposer du TiAlN. Les montres de marque haut de gamme nécessitent une épaisseur de plus de 1um et une brillance. Ne peut pas tomber. L'arc est affecté par les gouttelettes et n'a aucun avantage dans un film lisse et épais. DeO'KellyOn peut voir d'après le retour de l'ordre d'alimentation actuel qu'un meilleur moyen est de déposer du TiAIN avec une cible à tube rotatif, non seulement la couleur est plus proche de l'or rose, mais le brillant ne sera pas affecté une fois l'épaisseur augmentée..