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Analyse du problème d'empoisonnement et de noircissement de la moitié cible après pulvérisation cathodique

202131 août

 

Question: La technologie de pulvérisation cathodique magnétron réactive dépose un film de nitrure de zirconium, la cible est de deux pouces, le gaz de pulvérisation est de l'argon, le gaz réactif est N2, la puissance est de 300W, l'alimentation radio fréquence, le dépôt est de deux heures, et la cible est retirée après l'achèvement. Regardez le phénomène décrit dans le titre, qu'il s'agisse d'un empoisonnement ciblé ou d'autres raisons, mais pourquoi seulement la moitié apparaît?

Analyse de la raison 1: Il peut être lié à l'introduction de la puissance radiofréquence

Analyse de la raison 2: Une si petite cible, deux pouces?Le refroidissement est-il uniforme?

Analyse de la raison 3: 300La puissance W est ajoutée à une si petite cible, le refroidissement peut-il continuer? On soupçonne que le refroidissement n'est pas bon, causant la moitié du noir!

Analyse de la raison 4: refroidissement insuffisant. La température est-elle trop élevée?

Analyse de la raison 5: Cela peut être lié à la puissance élevée. J'ose seulement augmenter la puissance de la cible avec un diamètre de 60 à environ 100W.

Analyse des causes 6: L'alimentation est-elle stable en deux heures Il se peut que l'énergie soit trop élevée, ou il se peut que le côté de la cible touche un composant mis à la terre

Analyse de la raison 7: On soupçonne qu'il y a un problème d'étanchéité à l'air, pense personnellement

Solution 1: Suggestion 1) Vérifier l'uniformité du gaz; 2) S'il y a des fuites d'air d'un côté?

Solution 2: Il est recommandé de faire une analyse XPS, ou refaire l'expérience.

Sommaire: Sur la base de l'analyse ci-dessus, les principales raisons qui provoquent l'empoisonnement et le noir de la cible sont une température excessivement élevée, alimentation instable, l'uniformité du gaz et l'étanchéité à l'air. Vérifiez ces causes principales possibles, et les dépanner étape par étape.

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