Maligayang pagdating sa aming website
0086-18429179711 [email protected]

Pang-industriya balita

» Balita » Pang-industriya balita

Prinsipyo ng magnetron sputtering target

2021年8月31日

 

Prinsipyo ng sputtering target magnetron sputtering:

Isang orthogonal magnetic field at electric field ay idinagdag sa pagitan ng sputtered target (cathode) at ang anomang lahi, at ang mga kinakailangang magsingit ng gas (karaniwang Ar gas) ay puno sa mataas na vacuum kamara. Ang permanenteng magneto form 250-350 sa ibabaw ng target materyales. Ang gaussian magnetic field, at ang mataas na boltahe electric patlang form ng isang orthogonal electromagnetic patlang.

Sa ilalim ng pagkilos ng electric field, Ar gas sukat sa positibong mga sibuyas at electrons. Ang isang tiyak na negatibong mataas na boltahe ay inilapat sa target. Ang mga electrons emitted mula sa target ay apektado ng magnetic field at ang pagbanggit ng posibilidad ng nagtatrabaho gas ay nagdaragdag, pagbuo ng isang mataas na density plasma malapit sa cathode. Sa ilalim ng aksyon ni Lorentz puwersa, Ar ions accelerate sa target ibabaw at bombard ang target ibabaw sa isang mataas na bilis, upang ang mga atoms sputtered out ng target sundin ang prinsipyo ng momentum conversion at lumipad ang layo mula sa target ibabaw na may mas mataas na kinetic enerhiya. Substrate deposition sa pelikula.

Magnetron sputtering ay karaniwang hahati sa dalawang uri: tributary sputtering at radyo dalas sputtering. Ang prinsipyo ng tributary sputtering kagamitan ay simple, at ang rate nito ay din mabilis kapag sputtering metal.. Ang application hanay ng radio dalas sputtering ay mas malawak na. Bilang karagdagan sa sputtering pagsasagawa materyales, non-conductive materyales ay maaari ring sputtered. Kasabay nito, maaari din itong magsagawa ng reactive sputtering upang maghanda ng mga compound materyales tulad ng oxides, nitrides, at carbides.. Kung ang dalas ng radio dalas ay nadagdagan, ito ay nagiging microwave plasma sputtering. Sa kasalukuyan, electron cyclotron pagbabalanse (ECR) uri microwave plasma sputtering ay karaniwang ginagamit..

Siguro gusto mo rin

  • Mga Kategorya

  • Mga Bagong Balita & Blog

  • Ibahagi sa kaibigan

  • Kumpanya

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. ay isang Intsik negosyo espesyalista sa pagproseso ng mga di-ferrous metal, serving global customer na may mataas na kalidad na mga produkto at perpektong pagkatapos-benta serbisyo.

  • Makipag-ugnay sa Amin

    Mobile:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com