Maligayang pagdating sa aming website
0086-18429179711 [email protected]

Balita

» Balita

Pagtatasa ng problema ng pagkalason at pag-itim ng target kalahati pagkatapos ng sputtering

2021年8月31日

 

Tanong: Reactive magnetron sputtering teknolohiya deposito zirconium nitride film, ang target ay dalawang pulgada, ang sputtering gas ay argon, ang reaktibong gas ay N2, ang kapangyarihan ay 300W, ang radio dalas ng kapangyarihan supply, ang deposito ay dalawang oras, at ang target ay kinuha out pagkatapos ng pagkumpleto. Tingnan ang kababalaghan na inilarawan sa pamagat, kung ito ay target pagkalason o iba pang mga dahilan, ngunit bakit lamang kalahati ng mga ito lumilitaw?

Pagsusuri ng dahilan 1: Ito ay maaaring may kaugnayan sa pagpapakilala ng radio dalas kapangyarihan

Pagsusuri ng dahilan 2: Tulad ng isang maliit na target, dalawang pulgada?Ay ang paglamig uniporme?

Pagsusuri ng dahilan 3: 300W kapangyarihan ay idinagdag sa tulad ng isang maliit na target, maaari ang paglamig panatilihin upit ay pinaghihinalaang na ang paglamig ay hindi mabuti, nagiging sanhi ng kalahati ng itim!

Pagsusuri ng dahilan 4: hindi sapat na paglamig. Ay ang temperatura masyadong mataas?

Pagsusuri ng dahilan 5: Ito ay maaaring may kaugnayan sa mataas na kapangyarihan. Ako lamang mangangaso upang madagdagan ang kapangyarihan ng target na may isang lapad ng 60 sa tungkol sa 100W.

Maging sanhi ng pagsusuri 6: Ay ang kapangyarihan supply matatag sa dalawang oras Na Maaaring na ang enerhiya ay masyadong mataas, o maaaring ito ay na ang gilid ng target touches ng isang grounded bahagi

Pagsusuri ng dahilan 7: Ito ay pinaghihinalaang na may problema sa hangin masikip, personal na pag-iisip

Solusyon 1: Mungkahi 1) Suriin ang uniporme ng gas; 2) Kung mayroong hangin leakage sa isang panig?

Solusyon 2: Ito ay inirerekomenda na gawin ang isang XPS pagtatasa, o gawin muli ang eksperimento.

Buod: Batay sa pagsusuri sa itaas, ang pangunahing dahilan na maging sanhi ng target na lason at itim ay labis na mataas na temperatura, hindi matatag na kapangyarihan supply, gas uniporme at hangin masikip. Suriin ang mga posibleng pangunahing dahilan, at i-troubleshoot ang mga ito nang paunti-unti.

Siguro gusto mo rin

  • Mga Kategorya

  • Mga Bagong Balita & Blog

  • Ibahagi sa kaibigan

  • Kumpanya

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. ay isang Intsik negosyo espesyalista sa pagproseso ng mga di-ferrous metal, serving global customer na may mataas na kalidad na mga produkto at perpektong pagkatapos-benta serbisyo.

  • Makipag-ugnay sa Amin

    Mobile:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected]
    Web:www.chn-ti.com