Tervetuloa verkkosivullemme
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Teollisuuden uutisia

» Uutiset » Teollisuuden uutisia

Sputteroinnin periaate magnetronisputterointi

202131 elokuuta

 

Magnetronin ruiskutusperiaate: lisää kohtisuora magneettikenttä ja sähkökenttä sputteroidun kohteen väliin (katodi) ja anodi, ja sputterointikohde on täytetty vaaditulla inertillä kaasulla (yleensä Ar -kaasua) korkeaimukammiossa. Kestomagneetti muodostaa a 250-350 Gaussin magneettikenttä kohdemateriaalin pinnalla, ja muodostaa suurjännitteisen sähkökentän kanssa ortogonaalisen sähkömagneettisen kentän..

Sähkökentän vaikutuksen alaisena, Ar -kaasu ionisoituu positiivisiksi ioneiksi ja elektroneiksi. Kohteeseen kohdistetaan tietty negatiivinen korkeajännite. Magneettikenttä vaikuttaa kohteen kohteena oleviin elektroneihin ja työkaasun ionisaatiotodennäköisyys kasvaa, muodostaen tiheän plasman lähellä katodia. Lorentzin voiman vaikutuksesta, Arionit kiihtyvät kohdepintaan ja pommittavat kohdepintaa suurella nopeudella, niin että tavoitteesta ulos ruiskutetut atomit noudattavat momentinmuuntamisen periaatetta ja lentävät pois kohdepinnalta suuremmalla liike -energialla. Alustan kerrostuminen kalvoon. Magnetronisuihkutus on yleensä jaettu kahteen tyyppiin: DC -sputterointi ja radiotaajuinen sputterointi. DC -ruiskutuslaitteiden periaate on yksinkertainen. Metallin ruiskutuksessa, sen korko on myös nopea..

Radiotaajuisen sputteroinnin sovellusalue on laajempi. Johtavien materiaalien ruiskutuksen lisäksi, johtamattomat materiaalit voivat myös ruiskuttaa. Samaan aikaan, se voi myös suorittaa reaktiivista sputterointia yhdistemateriaalien, kuten oksidien, valmistamiseksi, nitridit, ja karbidit..Kun sputterointikohteen radiotaajuutta lisätään, siitä tulee mikroaaltoplasma sputterointi. Nykyisessä, elektronisyklotroni -resonanssi (ECR) tyypin mikroaaltouuniplasterointia käytetään yleisesti..

Ehkä pidät myös

  • Luokat

  • Viimeisimmät uutiset & Blogi

  • Jaa kaverille

  • YHTIÖ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Oy. on kiinalainen yritys, joka on erikoistunut ei-rautametallien käsittelyyn, palvelemme globaaleja asiakkaita korkealaatuisilla tuotteilla ja täydellisellä huoltopalvelulla.

  • Ota meihin yhteyttä

    Matkapuhelin:86-400-660-1855
    Sähköposti:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com