Tervetuloa verkkosivullemme
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Teollisuuden uutisia

» Uutiset » Teollisuuden uutisia

Magnetronin ruiskutuksen sputterointikohteen periaate

202131 elokuuta

 

Sputteroinnin periaate magnetroni -sputterointi:

Ortogonaalinen magneettikenttä ja sähkökenttä lisätään sputteroidun kohteen väliin (katodi) ja anodi, ja vaadittua inerttiä kaasua (yleensä Ar -kaasua) täytetään korkeaimukammiossa. Kestomagneetti muodostuu 250-350 kohdemateriaalin pinnalla. Gaussin magneettikenttä, ja suurjännitteinen sähkökenttä muodostavat ortogonaalisen sähkömagneettisen kentän.

Sähkökentän vaikutuksen alaisena, Ar -kaasu ionisoituu positiivisiksi ioneiksi ja elektroneiksi. Kohteeseen kohdistetaan tietty negatiivinen korkeajännite. Magneettikenttä vaikuttaa kohteen kohteena oleviin elektroneihin ja työkaasun ionisaatiotodennäköisyys kasvaa, muodostaen tiheän plasman lähellä katodia. Lorentzin voiman vaikutuksesta, Arionit kiihtyvät kohdepintaan ja pommittavat kohdepintaa suurella nopeudella, niin että tavoitteesta ulos ruiskutetut atomit noudattavat momentinmuuntamisen periaatetta ja lentävät pois kohdepinnalta suuremmalla liike -energialla. Alustan kerrostuminen kalvoon.

Magnetronisuihkutus on yleensä jaettu kahteen tyyppiin: sivujoki- ja radiotaajuussprutterointi. Sivujärjestelmän periaate on yksinkertainen, ja sen nopeus on myös nopea, kun ruiskutetaan metalleja ... Radiotaajuisen sputteroinnin sovellusalue on laajempi. Johtavien materiaalien ruiskutuksen lisäksi, johtamattomat materiaalit voivat myös ruiskuttaa. Samaan aikaan, se voi myös suorittaa reaktiivista sputterointia yhdistemateriaalien, kuten oksidien, valmistamiseksi, nitridit, ja karbidit..Jos radiotaajuuden taajuutta lisätään, siitä tulee mikroaaltoplasma sputterointi. Nykyisessä, elektronisyklotroni -resonanssi (ECR) tyypin mikroaaltouuniplasterointia käytetään yleisesti..

Ehkä pidät myös

  • Luokat

  • Viimeisimmät uutiset & Blogi

  • Jaa kaverille

  • YHTIÖ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Oy. on kiinalainen yritys, joka on erikoistunut ei-rautametallien käsittelyyn, palvelemme globaaleja asiakkaita korkealaatuisilla tuotteilla ja täydellisellä huoltopalvelulla.

  • Ota meihin yhteyttä

    Matkapuhelin:86-400-660-1855
    Sähköposti:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com