Tervetuloa verkkosivullemme
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Uutiset

» Uutiset

Analyysi myrkytysongelmasta ja kohdepuoliskon tummumisesta sputteroinnin jälkeen

202131 elokuuta

 

Kysymys: Reaktiivinen magnetroniputterointitekniikka kerää sirkoniumnitridikalvon, tavoite on kaksi tuumaa, ruiskutuskaasu on argonia, reaktiivinen kaasu on N2, teho 300W, radiotaajuisen virtalähteen, kerrostuma on kaksi tuntia, ja kohde otetaan ulos valmistumisen jälkeen. Katsokaa otsikossa kuvattua ilmiötä, onko kyseessä kohdemyrkytys tai muut syyt, mutta miksi vain puolet näkyy?

Syyanalyysi 1: Se voi liittyä radiotaajuisen tehon käyttöönottoon

Syyanalyysi 2: Niin pieni kohde, kaksi tuumaa?Onko jäähdytys yhtenäinen?

Syyanalyysi 3: 300W -teho lisätään niin pieneen kohteeseen, pystyykö jäähdytys pysymään ajan tasalla Epäillään, että jäähdytys ei ole hyvä, aiheuttaa puolet mustasta!

Syyanalyysi 4: riittämätön jäähdytys Onko lämpötila liian korkea?

Syyanalyysi 5: Se voi liittyä korkeaan tehoon. Uskallan vain lisätä kohteen tehoa halkaisijaltaan 60 noin 100W.

Syyanalyysi 6: Onko virtalähde vakaa kahdessa tunnissa Voi olla, että energia on liian korkea, tai voi olla, että kohteen sivu koskettaa maadoitettua osaa

Syyanalyysi 7: Ilman tiiviyden epäillään olevan ongelma, henkilökohtaisesti ajatella

Ratkaisu 1: Ehdotus 1) Tarkista kaasun tasaisuus; 2) Onko ilmavuotoja toisella puolella?

Ratkaisu 2: On suositeltavaa tehdä XPS -analyysi, tai tee kokeilu uudelleen.

Yhteenveto: Yllä olevan analyysin perusteella, tärkeimmät syyt, jotka aiheuttavat kohteen myrkytyksen ja mustan, ovat liian korkea lämpötila, epävakaa virtalähde, Tarkista nämä mahdolliset syyt, ja vianetsintä askel askeleelta.

Ehkä pidät myös

  • Luokat

  • Viimeisimmät uutiset & Blogi

  • Jaa kaverille

  • YHTIÖ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Oy. on kiinalainen yritys, joka on erikoistunut ei-rautametallien käsittelyyn, palvelemme globaaleja asiakkaita korkealaatuisilla tuotteilla ja täydellisellä huoltopalvelulla.

  • Ota meihin yhteyttä

    Matkapuhelin:86-400-660-1855
    Sähköposti:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com