Tervetuloa verkkosivullemme
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Teollisuuden uutisia

» Uutiset » Teollisuuden uutisia

Sylinterimäisten ja tasomaisten magnetroniputterointikohteiden edut

2021年10月19日

Verrattuna muihin magnetronin sputterointikohteisiin, sylinterimäiset ja tasomaiset magnetronisuihkutuskohteet säilyttävät hyvän pinnoitteen yhtenäisyyden edut suorakulmaisille litteille kohteille, ja voi maksimoida kohdemateriaalin seuraavilla kahdella tavalla Käyttöaste:

(1) Kun kaksi ryhmää (neljä) rengasmaisista kuopista kohdepinnalla saavuttaa tietyn syvyyden, kohdeydin (magneettiosa) voidaan kääntää 45 ° suhteessa kohdeputkeen, jotta muut kohdeputken alueet, jotka eivät ole syöpyneet, voidaan käyttää

(2) Kun lieriömäisen ja tasomaisen magnetronin ruiskutuskohteen kohdesydän on suunniteltu pyöriväksi kohdesydämeksi, (kohdesydän pyörii sputteroinnin aikana), kohdemateriaalin pinta voidaan ruiskuttaa tasaisesti kerros kerrokselta, ja kuoppia ei tule. Tällä hetkellä, kohdemateriaalia käytetään tehokkaimmin, ja kohdemateriaalin käyttöaste voi saavuttaa 50% kohteeseen 60%. Kun kohdemateriaali on jalometallimateriaali, tällä on epäilemättä suuri merkitys..

Hyväksymällä magneetin ja kengän periaatteen koaksiaalisessa lieriömäisessä magnetronin sputterointikohteessa magneettikentän lopun ongelman ratkaisemiseksi, suorakulmainen tasomainen kohde voidaan kehittää lieriömäiseksi, tasomainen magnetronin ruiskutuskohde, joka säilyttää suorakulmaisen tasomaisen kohteen pinnoitteen Hyvän tasaisuuden tapauksessa, kohdemateriaalin käyttöaste voidaan maksimoida, parantaa siten taloudellista hyötyä.

Ehkä pidät myös

  • Luokat

  • Viimeisimmät uutiset & Blogi

  • Jaa kaverille

  • YHTIÖ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Oy. on kiinalainen yritys, joka on erikoistunut ei-rautametallien käsittelyyn, palvelemme globaaleja asiakkaita korkealaatuisilla tuotteilla ja täydellisellä huoltopalvelulla.

  • Ota meihin yhteyttä

    Matkapuhelin:86-400-660-1855
    Sähköposti:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com