به وب سایت ما خوش آمدید
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

اخبار

» اخبار

لیست پارامترهای فنی دستگاه پوشش نوری چند لایه

2021年8月31日

مدل
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
اندازه اتاق روکش
1050 × 1250, 304 فولاد ضد زنگ.
800 Ф 800
950 × 1050
1250 Ф 1200 فلیم
اندازه داخلی حفره پوشش
براکت ثابت 1680 میلی متر بالاتر از سطح زمین است, مناسب برای ارتفاع عملکرد ارگونومیک.
براکت ثابت 1468 میلی متر بالاتر از سطح زمین است, مناسب برای ارتفاع عملکرد ارگونومیک.
براکت ثابت 1510 میلی متر بالاتر از سطح زمین است, مناسب برای ارتفاع عملکرد ارگونومیک.
1.دیسک تک قطعه قوسی, برای ملاقات با مشتریان’ نیاز به یکنواختی تا حد بیشتری. چرخش 5-30r/min, تغییر سرعت بدون قدم.
2.دیسک قوس سه قطعه کار, انقلاب و چرخش سیاره ای, برای پاسخگویی به نیازهای مشتریان برای ظرفیت تولید تا حد زیادی. چرخش 5-30r/min, تغییر سرعت بدون قدم.
ثابت
موجود در چهار قطعه, زاویه براکت قابل تنظیم است, برای برآوردن نیازهای مشتریان برای یکنواختی تا حد بیشتری. چرخش 5-30r/min, تغییر سرعت بدون قدم.
دیسک تک قطعه قوسی, برای ملاقات با مشتریان’ نیاز به یکنواختی تا حد بیشتری. چرخش 5-30r/min, تغییر سرعت بدون قدم.
دیسک تک قطعه قوسی, برای ملاقات با مشتریان’ نیاز به یکنواختی تا حد بیشتری. چرخش 5-30r/min, تغییر سرعت بدون قدم.
سیستم خلاء
واحد: پمپ انتشار DIP-12000 (لیبولد), پمپ ریشه ZJY-300, پمپ مکانیکی 2X-70, پمپ تعمیر و نگهداری 2X-8. خط لوله است 304 فولاد ضد زنگ.
واحد: پمپ انتشار KT-400 (ژنهوا), پمپ ریشه ZJY-150, پمپ مکانیکی 2X-70, پمپ تعمیر و نگهداری 2X-8.
واحد: پمپ انتشار KT-600 (ژنهوا), پمپ ریشه ZJY-600, پمپ مکانیکی 2X-70, پمپ تعمیر و نگهداری 2X-8.
واحد: پمپ انتشار KT-800 (ژنهوا), پمپ ریشه ZJY-600, پمپ مکانیکی 2X-70, پمپ تعمیر و نگهداری 2X-8.
خلاء نهایی: بهتر از 4 × 10-4 Pa.
مجهز به دستگاه ضد تلاطم, طراحی قفل ایمنی, دستی و اتوماتیک اختیاری است.
سیستم گرمایش
روش گرمایش روی لوله گرمایش, کنترل PID, حداکثر 350 ± ± 1.5.
تورم گاز کار
ابزار کنترل جریان جرم گاز یا تنظیم دستی دریچه تورم.
بمباران یونیزاسیون خلاء
DC 3KV, 06کاتد میله ای KW (برای تمیز کردن قطعه کار قبل از پوشش استفاده می شود).
منبع تبخیر (اختیاری)
1. تفنگ الکترونیکی TELEMARK-270 درجه (وارد شده), 6KW, ولتاژ بالا 4KV-10KV قابل تنظیم. اسکن موقعیت, اسکن موج مثلث, اسکن دایره ای, اسکن مارپیچی. فوکوس نقطه پرتو خوب, دقت موقعیت یابی بالا, و قابلیت تکرار خوب اسکن.
2. تفنگ الکترونیکی داخلی (ژنهوا): 6KW, ولتاژ بالا 4KV ~ 8KV قابل تنظیم است, می تواند موج مثلث را انتخاب کند, موج سینوسی, موج مربع آزادانه اسکن می شود.
3. قابل شستشو: بشقاب شش حفره Φ38 × 20 یا چهار حفره Φ38 × 20 بعلاوه یک قوطی قوس شکل یک حفره با طول قوس مرکزی 87 (برای مصرف زیاد مواد تبخیر با نقطه ذوب پایین استفاده می شود) یا چهار حفره Φ48 × 18 بشقاب.
منبع یون (اختیاری)
1. RF (فرکانس رادیو) منبع یون (وارد شده است).
2. 5منبع یون KVA Hall (تولید شده توسط Zhenhua), برای تمیز کردن قبل از آبکاری یا آبکاری کمکی در فرایند آبکاری استفاده می شود, که برای بهبود ضریب شکست فیلم مفید است, استحکام, و چگالی و چسبندگی فیلم.
سیستم کنترل ضخامت فیلم (انتخاب)
1. کنترل کننده کریستال MDC-360 (وارد شده) می تواند 1 تا 99 لایه فرآیند پوشش اتوماتیک را ذخیره کند, 99 انواع داده های برنامه, دقت 0.5%+1? خطای برطرف شده. 2 بلور کنترلر TELEMARK-880 (وارد كردن): می تواند 1 تا 99 لایه فرآیند پوشش اتوماتیک را ذخیره کند, 99 انواع داده های برنامه. 精度 0.5++1? رفع خطا.
3. کنترل کننده نوری TELEMARK-820 (وارد كردن): از فناوری تجزیه و تحلیل نقطه نهایی چند طیف کامل طیف استفاده می کند, و با تجزیه و تحلیل میزان عبور ، پایان فیلم را قضاوت می کند (یا بازتاب) منحنی ورق مانیتور 370-870 میلی متر دقت کنترل بالا, کنترل طول موج تک, همچنین می توان از کنترل خودکار و کنترل دستی استفاده کرد. نرم افزار محاسبه فیلم MACILEOD اضافی, درجه یکپارچگی بالا.
4. کنترل کننده نوری TELEMARK-820 و کنترل کننده کریستال TELEMARK-880 می توانند الزامات پوشش با دقت بالا و تکرارپذیری بالا را برآورده کنند. برای تحقق کنترل کامل خودکار با کامپیوتر میزبان همکاری کنید.
5. کنترل کننده نوری داخلی (مانند 9704 تطبیق دهنده تک رنگ, و غیره.), طول موج قابل تنظیم از 330 به 870, و دقت می تواند به 1.5 نانومتر برسد.
ارتباط دهنده
دارای پایه مغناطیسی, می توان آن را در هر موقعیت درب محفظه خلاء و کابینت کنترل قرار داد.

شاید شما هم دوست داشته باشید

  • دسته بندی ها

  • اخبار اخیر & وبلاگ

  • برای دوست به اشتراک بگذارید

  • شرکت

    شرکت مواد فلزی Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium, با مسئولیت محدود. یک شرکت چینی متخصص در پردازش فلزات غیر آهنی است, ارائه خدمات با کیفیت بالا و خدمات پس از فروش به مشتریان جهانی.

  • با ما تماس بگیرید

    سیار:86-400-660-1855
    پست الکترونیک:[email protected] aliyun.com
    وب:www.chn-ti.com