Ongi etorri gure webgunera
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Albiste industrialak

» Berriak » Albiste industrialak

Hutsezko estaldura eta estaldura optikoaren arteko aldea

2021年8月31日

 

Hutsezko estaldurak argonaren eraginpean dirdira deskargatzen du batez ere (Batera) ioiak xede azalean.
Helburuko materialaren atomoak kanporatu egiten dira eta substratuaren gainazalean metatzen dira film mehe bat osatzeko. Film isuriaren propietateak eta uniformetasuna lurrunezko filmarenak baino hobeak dira., baina estalduraren abiadura lurrundu egiten den filmarena baino askoz ere motelagoa da .. Ia sputtering ekipo berri guztiek ia iman indartsuak erabiltzen dituzte elektroiak espiralatzeko helburuaren inguruan argonaren ionizazioa azkartzeko.
Helburuaren eta argon ioien arteko talka probabilitatea handitzea eragiten du,
Handitu sputtering tasa. Orokorrean, estaldura metalikoek gehienetan DC sputtering erabiltzen dute, eta zeramikazko material ez-eroaleak RF AC sputtering erabiltzen dute. Oinarrizko printzipioa distira isurtzea erabiltzea da (distira hutsean).
alta) Argona (Batera) ioiek xede-gainazala jotzen dute, eta plasmako katioiak elektrodo negatiboaren gainazalera azkartuko dira material sputtered gisa. Inpaktu horrek xede den materiala hegan egitea eta substratuaren gainean jartzea eragingo du. Orokorrean, filmaren estaldurarako sputtering prozesuaren erabilerak hainbat ezaugarri ditu: (1) Metala, aleazio edo isolatzailea filmeko material bihur daiteke.(2) Ezarpen baldintza egokietan, konposizio bereko film mehea egin daiteke helburu anitz eta konplexuetatik abiatuta.(3) Isurketa atmosferan oxigenoa edo bestelako gas aktiboak gehituz, xede den materialaren eta gas molekulen nahasketa edo konposatua egin daiteke.(4) Helburuko sarrerako unitatea eta sputtering denbora kontrola daitezke, eta erraza da zehaztasun handiko filmaren lodiera lortzea.(5) Beste prozesu batzuekin alderatuta, azalera handiko film uniformeak ekoizteko aproposagoa da.(6) Sputtering partikulek ia ez dute grabitatearen eragina, eta helburuaren eta substratuaren posizioak libreki antola daitezke.(7) Substratuaren eta filmaren arteko itsaspen-indarra baino gehiago da 10 lurrunaren deposizio orokorreko filmarena aldiz, eta partikula isuriek energia handia daramatelako, pelikula osatzen duten gainazalean barreiatzen jarraituko dute film gogor eta trinkoa lortzeko. Momentu berean, energia handiak substratuak behar du soilik Film kristalizatua tenperatura baxuagoan lor daiteke.(8) Nukleazio dentsitate handia filmaren sorreraren hasierako fasean, 10 nm-tik beherako film jarrai ultra-mehea sor dezakeena.(9) Helburuko materialak bizitza luzea du eta denbora luzez automatikoki eta etengabe ekoitzi daiteke.(10) Helburuko materiala hainbat forma egin daiteke, makinaren diseinu bereziarekin kontrol hobea eta ekoizpen eraginkorrena lortzeko.

Estaldura optikoa
1. Higaduraren aurkako filmak (filma irauten du)
Material ez organikoz edo organikoz egina den kontuan hartu gabe, eguneroko erabileran, marruskadura hautsarekin edo granularekin (silizio oxidoa) lenteak higadura eta lenteen gainazalean marradurak eragingo ditu .. Beirazko xaflarekin alderatuta,
Material organikoen gogortasuna nahiko txikia da, eta marradurak izateko joera handiagoa du.Mikroskopioaren bidez, lentearen gainazaleko marradurak batez ere bi motatan banatzen direla ikus dezakegu. Bata granulak eragindako marradurak dira, azalekoa eta txikia, erabiltzaileak erraz antzematen ez duena; bestea, granito handiagoak eragindako marradurak dira. , Sakona eta zakarra inguruan, erdialdean egoteak ikusmenari eragingo dio.
(1) Ezaugarri teknikoak
1) Higaduraren aurkako film teknologiaren lehen belaunaldia
Higaduraren aurkako filma 1970eko hamarkadaren hasieran hasi zen. Ordu horretan, kristalezko lenteak ehotzeko errazak ez zirela uste zen, gogortasun handia zutelako, lentila organikoak bigunegiak ziren eta janzteko errazak ziren bitartean .. Horregatik, kuartzozko materiala lente organikoaren gainazalean estalita dago hutsean, higaduraren aurkako film oso gogorra osatzeko. Hala ere, hedapen termikoko koefizientearen eta oinarrizko materialaren arteko desoreka dela eta, erraza da zuritzea eta filma hauskorra da, beraz, desegokia da higadura efektuaren aurrean.
2) Higaduraren aurkako film teknologiaren bigarren belaunaldia
1980ko hamarkadaren ondoren, ikertzaileek teorikoki aurkitu dute higaduraren mekanismoa ez dagoela gogortasunarekin soilik lotuta. Filmeko materialak ezaugarri bikoitzak ditu “gogortasuna / deformazioa”, hori da, material batzuek gogortasun handiagoa dute baina deformazio txikiagoa dute, eta Materialen gogortasuna gutxi da, baina deformazioa handia da.Higaduraren aurkako filmen teknologiaren bigarren belaunaldia gogortasun handiko eta lente organikoaren gainazalean murgiltze prozesuaren bidez pitzatzeko erraza ez den materiala plakatzea da..
3) Higaduraren aurkako filmen teknologiaren hirugarren belaunaldia
Higaduraren aurkako hirugarren belaunaldiko teknologia 1990eko hamarkadaren ondoren garatu zen, batez ere higaduraren erresistentziaren arazoa konpontzeko lentila organikoa islapenaren aurkako film batez estali ondoren..Lente organikoaren oinarriaren gogortasuna eta islapenaren aurkako estalduraren gogortasuna nahiko desberdinak direnez, teoria berriak uste du higaduraren aurkako estaldura egon behar dela bien artean, lenteak granulaz igurtzitakoan buffer gisa joka dezan. Ez da marradurarako joera. Higaduraren aurkako hirugarren belaunaldiko materialaren gogortasuna islapenaren aurkako filmaren eta lentearen oinarriaren artean dago., eta marruskadura-koefizientea baxua da eta ez da erraza hauskorra izatea.
4) Higaduraren aurkako filmen teknologiaren laugarren belaunaldia
Laugarren belaunaldiko filmen aurkako teknologiak silizio atomoak erabiltzen ditu. Adibidez, Essilor frantsesaren TITUS gogortzeko fluidoak matrize organikoa eta partikula ultrafin ezorganikoak ditu, higaduraren aurkako filma gogortasuna hobetzea gogortasuna izan bitartean. Higaduraren aurkako estaldura teknologiarik garrantzitsuena murgiltze metodoa da., hori da, lentea gogortzeko likido batean murgilduta dago garbiketa anitz egin ondoren, eta, ondoren, abiadura jakin batera igotzen da denbora tarte jakin bat igarota..Abiadura hori gogortzeko fluidoaren biskositatearekin erlazionatuta dago eta higaduraren aurkako filmaren lodieran paper erabakigarria betetzen du .. Altxatu ondoren, polimerizatu labean gutxi gorabehera 100 ° C-ra 4-5 ordu, eta estalduraren lodiera gutxi gorabehera 3-5 mikra.
(2) Proba metodoa
Higaduraren aurkako filmaren higaduraren erresistentzia epaitzeko eta probatzeko modu funtsezkoena klinikoki erabiltzea da, utzi erabiltzaileak lentea janzten denbora tarte batez, eta ondoren, lentearen higadura mikroskopioarekin behatu eta alderatu.Jakina, hau izan ohi da teknologia berri honen sustapen formalaren aurretik erabilitako metodoa. Gaur egun, normalean erabiltzen ditugun proba metodo azkarragoak eta intuitiboagoak dira:
1) Izozte proba
Jarri lentilla legarrez betetako sustapen materialean (legarraren tamaina eta legarraren gogortasuna zehazten dira), eta igurtzi atzera eta aurrera zenbait kontrolpean. Amaitu ondoren, erabili laino neurgailu bat lentearen marruskaduraren aurretik eta ondoren islapen barreiatua zenbatekoa den probatzeko, eta alderatu lentilla estandarrarekin.
2) Altzairuzko artilea proba
Erabili zehaztutako altzairuzko artilea lentearen gainazala hainbat aldiz igurtzi presio eta abiadura jakin baten pean, eta gero, laino neurgailu bat erabili lentearen marruskadura islatuaren zenbatekoa marruskaduraren aurretik eta ondoren probatzeko, eta alderatu lente estandarrarekin.Noski, eskuz ere egin dezakegu, igurtzi bi lenteak aldi berean presio berarekin, eta gero begi hutsez behatu eta alderatu..
Aurreko bi proba-metodoen emaitzak eramaileak epe luzeko higaduraren emaitza klinikoetatik nahiko hurbil daude.
3) Islapenaren aurkako filmaren eta higaduraren aurkako filmaren arteko harremana
Lentearen gainazaleko islapenaren aurkako estaldura metal oxido material ez-organiko mehea da (lodiera baino txikiagoa 1 mikra), gogorra eta hauskorra.Bristalezko lentetan estalita dagoenean, oinarria nahiko gogorra denez eta harrika marratua dagoenez, film geruza nahiko zaila da urratzen; baina islapenaren aurkako filma lentea organikoan estalita dagoenean, oinarria biguna delako, pelikula filmean dago. Geruzan marratua, filma erraz urratzen da.
Horregatik, lentilla organikoa higaduraren aurkako estaldurarekin estali behar da islapenaren aurkako estalduraren aurretik, eta bi estalduren gogortasunak bat etorri behar du..
2. Islapenaren aurkako filma
(1) Zergatik behar dugu islapenaren aurkako estaldura?
1) Hausnarketa espekularra
Argia lentearen aurreko eta atzeko gainazaletatik igarotzen denean, errefraktatu ez ezik, baina islatu ere egingo da .. Lentearen aurreko gainazalean sortzen den argi islatu honek beste batzuek eramaten dutenaren begiak ikustea eragingo du., baina argi zuria ikusiko dute lentearen gainazalean..Argazkiak ateratzerakoan, hausnarketa mota horrek larriki eragingo du jantziaren itxuran.
2) “Mamua”
Betaurrekoen teoria optikoaren ustez, betaurrekoen lentearen errefrakzio-ahalmenak ikusitako objektuak irudi argia osatuko du eramailearen azken puntuan.. Azal daiteke, baita ere, ikusitako objektuaren argia lentetik zehar desbideratu eta erretinan biltzen dela irudi puntu bat osatzeko. Hala ere,, lentea errefrakzioaren aurreko eta atzeko gainazalen kurbadura desberdina delako, eta argi islatu kopuru jakin bat dago, horien artean barne islapen argia egongo da..Barne islatutako argiak irudi birtuala sortuko du puntu urruneko gainazal esferikotik gertu, hori da, irudiaren puntu birtuala erretinaren irudi puntutik gertu. Irudi puntu birtual horiek ikusmenaren argitasunean eta erosotasunean eragina izango dute..
3) Distira
Sistema optiko guztiak bezala, begia ez da perfektua. Erretinan eratutako irudia ez da puntu bat, baina zirkulu lauso bat..Horregatik, aldameneko bi punturen sentimendua zirkulu lauso gutxi gorabehera bata bestearen gainean jarrita dauden bi elkarren artean sortzen da. Bi puntuen arteko distantzia nahikoa handia den heinean, erretinako irudiak bi punturen sentsazioa sortuko du, baina bi puntuak gertuegi badaude, bi zirkulu lausoak gainjarri eta puntu batekin nahastu ohi dira.
Kontrastea fenomeno hori islatzeko eta ikusmenaren argitasuna adierazteko erabil daiteke. Kontraste-balioa balio jakin bat baino handiagoa izan behar da (hautemate atalasea, baliokidea 1-2) begiek aldameneko bi puntu bereiz ditzaketela ziurtatzeko.
Kontrastearen kalkulu formula da: D =(kanpoan)/(a + b)
C non dagoen kontrastea, erretinan ondoko bi objektu puntuek irudikatutako sentsazioaren balio handiena a da, eta aldameneko zatiaren balio txikiena b da.C kontrastearen balioa altuagoa da, zenbat eta ikusmen sistemaren bereizmena bi puntuetara eta orduan eta argiagoa da pertzepzioa; bi objektu puntuak oso hurbil badaude, ondoko zatien balio txikiena balio altuenetik gertuago dago, orduan C balioa baxua da , Ikus-sistema bi puntuak argi ez daudela adieraziz, edo ezin du argi bereiztu.
Simulatu dezagun horrelako eszena: gauean, betaurrekoak dituen gidari batek argi ikusten ditu bi bizikleta bere auto aldera zihoazela kontrako distantzian..Oraingo honetan, auto amaierako faroak gidariaren lentearen atzeko azalean islatzen dira: erretinan islatutako argiak osatzen duen irudiak ikusitako bi puntuen intentsitatea handitzen du (bizikleta argiak).Horregatik, a eta b segmentuen luzera handitzen da, izendatzailea bada ere (a + b) handitzen da, baina zenbakitzailea (kanpoan) berdin jarraitzen du, horrek balioaren jaitsiera eragiten du C. Kontraste murriztuaren emaitzak gidariaren hasierako sentsazioa eragingo du bi txirrindulari egotearen irudi bakarrean birkonbinatzea., horiek bereizteko angelua bat-batean murrizten den bezalaxe.!
4) Errendimendua
Argi istiluen islatutako argiaren portzentajea lentearen materialaren errefrakzio indizearen araberakoa da, isla kopuruaren formularen bidez kalkula daitekeena.
Hausnarketa formula: R =(n-1) karratu/(n + 1) karratu
R: lentearen isla alde bakarreko n: lentearen materialaren errefrakzio indizea
Adibidez, erretxina material arrunten errefrakzio indizea da 1.50, islatutako argia R = (1.50-1) karratu/(1.50 + 1) Karratua = 0,04 =% 4.
Lenteak bi gainazal ditu. R1 lentearen aurreko gainazalaren kopurua bada eta R2 lentearen atzeko gainazaleko isla, orduan, lentearen islapen osoa R = R1 + R2 da.(R2-ren isla kalkulatzerakoan, gorabehera argia% 100 -R1 da).Lentearen transmisibitatea T = 100% -R1-R2.
Errefrakzio indize handiko lenteak islapenaren aurkako estaldurarik ez badu ikusten da, islatutako argiak ondoeza gehiago ekarriko dio jantzleari..
(2) Printzipioa
Islapenaren aurkako estaldura argi uhinetan eta interferentzia fenomenoetan oinarritzen da. Anplitudea eta uhin luzera berdina duten bi argi uhin gainjartzen badira, argi uhinaren anplitudea handituko da; bi argi uhinak jatorri berekoak badira, uhin luzerak desberdinak dira, eta bi argi uhinak gainjartzen badira, elkar baliogabetzen dute..Islapenaren aurkako filmak printzipio hori erabiltzen du lentearen gainazala islapenaren aurkako film batez estaltzeko, filmaren aurreko eta atzeko azaleretan sortutako argi islatuak elkarren artean nahastu dezan, horrela islatutako argia bertan behera utzi eta islapenaren aurkako efektua lortzen da..
1) Anplitudearen baldintzak
Filmeko materialaren errefrakzio indizeak lentearen oinarrizko materialaren errefrakzio indizearen erro karratuaren berdina izan behar du.
2) Fasearen baldintzak
Filmaren lodierak izan behar du 1/4 erreferentziazko argiaren uhin-luzera.D = λ / 4 λ = 555nm denean, d = 555/4 = 139 nm
Islapenaren aurkako estaldurarako, betaurreko lentilen fabrikatzaile askok argi uhinak erabiltzen dituzte (555nm-ko uhin luzera) giza begiarentzat sentikorragoak direnak.estalduraren lodiera meheegia denean (<139nm), islatutako argia horia marroi argia agertuko da, urdina bada, estalduraren lodiera lodiegia dela esan nahi du (>139nm).
Estaldura geruza islatzailearen xedea argiaren islapena murriztea da, baina ezinezkoa da argiaren islarik lortzea.Beti egongo da hondar kolorea lentearen gainazalean, baina zein da hondar kolore onena, izan ere, ez dago estandarrik. Gaur egun, batez ere kolorearekiko lehentasun pertsonalean oinarritzen da, eta gehiena berdea da..
Gainera, lentearen gainazal ganbilo eta ahurreko hondar kolorearen kurbadurek estalduraren abiadura ere desberdina egiten dutela aurkituko dugu., beraz, lentearen erdialdea berdea da, eta ertzaren partea izpilikua edo beste kolore batzuetakoa da..
3) Islapenaren aurkako estaldura teknologia
Lente organikoen estaldura beirazko lentea baino zailagoa da. Beirazko materialak tenperatura altuak jasan ditzake 300 ° C, lentila organikoa, berriz, hori bihurtuko da gainditzen duenean 100 ° C eta gero azkar deskonposatzen da.
Magnesio fluoruroa (MgF2) normalean beirazko lentetarako islapenaren aurkako estaldura material gisa erabiltzen da. Hala ere, magnesio fluoruraren estaldura prozesua 200 ° C-tik gorako tenperaturan egin behar da, bestela, ezin da lentearen gainazalean erantsi, beraz, lentila organikoak Ez erabili.
1990eko hamarkadaz geroztik, hutsean estaltzeko teknologia garatzearekin batera, ioi-izpien bonbardaketa teknologiaren erabilerak filmaren eta lentearen konbinazioa egin du, eta filmaren konbinazioa hobetu da..Gainera, purutasun handiko metal oxido material finduak, hala nola titanio oxidoa eta zirkonio oxidoa, erretxinako lentearen gainazalean estal daitezke lurruntze prozesuaren bidez, islapenaren aurkako efektu ona lortzeko..
Jarraian lentilla organikoen islapenaren aurkako estaldura teknologiari buruzko sarrera da.
1) Prestaketa estali aurretik
Lentea aurrez garbitu behar da estaldura jaso aurretik. Garbiketa eskakizuna oso altua da, maila molekularrera iritsiz..Jarri garbiketa-fluido ugari garbiketa-ontzian, eta ultrasoinuekin erabili garbiketa efektua hobetzeko. Lentila garbitu ondoren, jarri huts-ganberan. Prozesu horretan zehar, arreta berezia jarri aireko hautsa eta zaborrak lentearen gainazalera itsastea saihesteko .. Azken garbiketa hutseko ganberan dago.. Prozesu horretan zehar, arreta berezia jarri behar da aireko hautsa eta zaborrak lentearen gainazalean itsats ez daitezen .. Azken garbiketa hutseko ganberan estali aurretik egiten da.. Huts ganberan jarritako ioi pistolak lentearen gainazala bonbardatuko du (adibidez, argon ioiekin). Garbiketa prozesu hau amaitu ondoren, islapenaren aurkako filmaren estaldura egingo da..
2) Hutsezko estaldura
Hutsaren lurruntze prozesuak estaldura material hutsa lentearen gainazalean estalita dagoela ziurtatu dezake, eta aldi berean, estaldurako materialaren konposizio kimikoa zorrozki kontrolatu daiteke lurrunketa prozesuan zehar .. Hutsaren lurruntze prozesuak film geruzaren lodiera zehatz-mehatz kontrola dezake., eta zehaztasuna arte dago.
3) Zinemaren irmotasuna
Betaurreko lentilletarako, filmaren irmotasuna oso garrantzitsua da, eta lentearen kalitate adierazle garrantzitsua da. Lentearen kalitate adierazleek lentillaren higaduraren kontrakoak dira, kulturaren aurkako museoa, tenperaturaren aurkako aldea, eta abar .. Horregatik, bideratutako proba fisiko eta kimiko ugari daude. Erabiltzailearen erabilera simulatzeko baldintzetan, estalitako lentearen filmaren irmotasunaren kalitatea probatzen da .. Test metodo horien artean daude: ur gaziaren proba, lurrun proba, ur desionizatuaren proba, altzairu artilea marruskadura proba, desegiteko proba, atxikimendu proba, tenperatura aldearen proba eta hezetasun proba, etab..
3. Anti-fouling filma (goiko filma)
(1) Printzipioa
Lentearen gainazala islaren aurkako geruza anitzeko filmarekin estali ondoren, lenteak orbanak izaten ditu, eta orbanek islapenaren aurkako filmaren islapenaren aurkako efektua suntsituko dute.Mikroskopioaren azpian, islapenaren aurkako estaldurak egitura porotsua duela aurki dezakegu, beraz, olio-orbanak islatzen ez diren estaldura erraz sartzen dira. Irtenbidea da goiko filmak isla ez duen filmaren geruzan olioa eta urarekin duen erresistentzia estaltzea., eta film horrek oso mehea izan behar du, islapenaren aurkako filmaren errendimendu optikoa aldatu ez dezan.
(2) Prozesua
Film antifouling materiala fluoruroa da batez ere, eta bi prozesatzeko metodo daude, bat murgiltze metodoa da, bestea hutsean estaltzea da, eta metodo ohikoena hutsean estaltzea da. Metodo erabiliena hutsean estaltzea da. Islapenaren aurkako estaldura amaitu ondoren, fluoruroa film islatzailean estal daiteke lurrinketa prozesua erabiliz. Zikinen aurkako filmak islapenaren aurkako geruza porotsua estal dezake., eta uraren eta olioaren kontaktu-eremua lentearekin murriztu dezake, olio eta ur tantak lentearen gainazalera atxikitzeko errazak izan ez daitezen, beraz, iragazgaitza den pelikula ere esaten zaio.
Lente organikoetarako, gainazal sistemaren tratamendu ezin hobeak higaduraren aurkako filmak barne dituen film konposatu bat izan behar du, geruza anitzeko islapenaren aurkako filma eta goiko filmaren aurkako zikinkeria. Normalean higaduraren aurkako estaldura lodiena da., 3-5mm inguru, eta geruza anitzeko islapenaren aurkako filmaren lodiera 0,3um ingurukoa da, goiko geruzan zikinkeriaren aurkako argizarizko estaldurarik mehena, 0.005-0.01mm inguru. Hartu Essilor Crizal frantsesa, film konposatua adibide gisa, lentearen oinarria higaduraren aurkako film batekin estaltzen da silizio organikoarekin; gero IPC teknologia erabiliz, islapenaren aurkako filma ioi bonbardaketarekin estaltzen da Garbitu aurretik aurrez garbitu; garbitu ondoren, erabili gogortasun handiko zirkonio dioxidoa (ZrO2) eta geruza anitzeko islapenaren aurkako estaldurak hutsean estaltzeko beste material batzuk; azkenean, plaka goiko filma 110 kontaktu-angelua izanik. Diamante kristalezko film konposatuen teknologiaren garapen arrakastatsuak erakusten du lentilla organikoaren gainazalaren tratamendu teknologiak maila berria lortu duela..

Filmaren lodiera probarako bakarrik bada, huts-estalduraren eta estaldura optikoaren arteko aldea da:
1. Hutsezko estaldura: Orokorrean TiN, CrN, TiC, ZrN, galvanoplastiaren lodiera 3 ~ 5 mikra ingurukoa da.Oro har, hutsean estaltzeko filmaren lodiera ezin da ekipoan probatu;
2. Estaldura optikoaren filmaren lodiera proba estaldura makinaren goialdean instalatu daiteke filmaren lodiera probatzailearekin..
Lehenengoa argia kontrolatzeko proba da, eta orain kristalen kontrola (kristalezko osziladorea) normalean estalduraren lodiera kristal osziladorearen maiztasuna erabiliz probatzeko erabiltzen da .. Filmaren lodiera desberdinak desberdinak dira.
Estaldura makina Txinan egina badago ere, filmaren lodiera probatzailea Estatu Batuetan edo Hego Korean ere egiten da..GM USAren eredua da: MDC360C.

Agian zuk ere gustatzen zaizu

  • Kategoriak

  • Azken Berriak & Bloga

  • Partekatu lagunarekin

  • ENPRESA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobio Metal Material Co., Ltd.. burdinazkoak ez diren metalen prozesamenduan espezializatutako Txinako enpresa bat da, bezero globalak kalitate handiko produktuekin eta salmenta osteko zerbitzu ezin hobean zerbitzatzea.

  • Jarri gurekin harremanetan

    Mugikorra:86-400-660-1855
    Posta elektronikoa:[email protected] aliyun.com
    Webgunea:www.chn-ti.com