Sputtering helburuak

Geruza anitzeko estaldura optikoko makinaren parametro teknikoen zerrenda

eredua

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Estaldura gelaren neurria

Ф1050 × 1250, 304 altzairu herdoilgaitza.

Ф800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Estaldura barrunbearen barruko neurria

Fixture bracket lurretik 1680mm-ra dago, egokia ergonomia eragiteko altuerarako.

Lanpararako euskarria lurretik 1468 mm-ra dago, egokia ergonomia eragiteko altuerarako.

Fixture bracket lurretik 1510mm-ra dago, egokia ergonomia eragiteko altuerarako.

1.Pieza bakarreko disko arkuduna, bezeroak ezagutzeko’ uniformetasun beharrak neurri handiagoan.Birotazioa 5-30r / min, abiadura aldaketa etengabea.

2.Hiru piezako disko arkuduna, planeten iraultza eta biraketa, bezeroen beharrizanak ekoizteko ahalmenari erantzuteko neurri handienean.Irabazpena 5-30r / min, abiadura aldaketa etengabea.

Fixture

Lau piezetan eskuragarri, euskarriaren angelua erregulagarria da, bezeroen beharrak uniformetasunerako neurri handiagoan asetzeko.Birotazioa 5-30r / min, abiadura aldaketa etengabea.

Pieza bakarreko disko arkuduna, bezeroak ezagutzeko’ uniformetasun beharrak neurri handiagoan.Birotazioa 5-30r / min, abiadura aldaketa etengabea.

Huts sistema

Unitatea: difusio ponpa DIP-12000 (Leybold), Sustraiak ZJY-300 ponpa, 2X-70 ponpa mekanikoa, mantentze-lanetarako ponpa 2X-8.Hodia da 304 altzairu herdoilgaitza.

Unitatea: Difusio ponpa KT-400 (Zhenhua), Sustraiak ZJY-150 ponpa, 2X-70 ponpa mekanikoa, mantentze-lanetarako ponpa 2X-8.

Unitatea: difusio-ponpa KT-600 (Zhenhua), Sustraiak ZJY-600 ponpa, 2X-70 ponpa mekanikoa, mantentze-lanetarako ponpa 2X-8.

Unitatea: Difusio-ponpa KT-800 (Zhenhua), Sustraiak ZJY-600 ponpa, 2X-70 ponpa mekanikoa, mantentze-lanetarako ponpa 2X-8.

Azken hutsunea: 4 × 10-4 Pa baino hobea.

Turbulentziaren aurkako gailuarekin hornitua, segurtasun blokeoaren diseinua, eskuzkoa eta automatikoa aukerakoa.

Berokuntza sistema

Berokuntza-tutua berotzeko metodoa, PID kontrola, gehienez 350 ℃ ± 1,5 ℃.

Laneko gasaren inflazioa

Gas masa emaria kontrolatzeko tresna edo inflazio balbularen eskuz doitzea.

Hutsaren ionizazio bonbardaketa

DC 3KV, 06KW hagaxka katodoa (estali aurretik pieza garbitzeko erabiltzen da).

Lurrunketa iturria (aukerakoa)

1. TELEMARK-270 ° -ko elektroi-pistola (inportatu), 6KW, goi tentsioko 4KV-10KV erregulagarria.Posizio eskaneatzea, triangelu uhin eskaneatzea, eskaneatze zirkularra, eskaner espiral.Habe-lekuen fokatze ona, kokapen zehaztasun handia, eta eskaneatze erreproduzigarritasun ona.

2. Etxeko elektroi-pistola (Zhenhua): 6KW, goi tentsioko 4KV ～ 8KV erregulagarria, triangelu uhina aukeratu dezake, sine uhina, uhin karratua eskaneatzen askatasunez.

3. Arragoa: sei barrunbeko Φ38 × 20 arragoa edo lau barrunbekoa Φ38 × 20 gehi barrunbe bateko arku formako arragoa, erdiko arkuaren luzera duena 87 (urtze-puntu baxuko lurrunketa materialen kontsumo handirako erabiltzen da) edo lau barrunbeko Φ48 × 18 arragoa.

Ion iturria (aukerakoa)

1. RF (Irrati-maiztasuna) Ion Iturria (Inportatua).

2. 5KVA Hall ioi-iturria (Zhenhuak ekoitzia), galvanizazio aurretik edo estaldura osagarri baten bidez garbitzeko erabiltzen da galbanizazio prozesuan, filmaren errefrakzio indizea hobetzeko onuragarria dena, sendotasuna, eta filmaren dentsitatea eta atxikimendua.

Filmaren lodiera kontrolatzeko sistema (hautaketa)

1. MDC-360 kristal kontrolatzailea (inportatu) 1 eta 99 estaldura prozesu automatikoen geruzak gorde ditzake, 99 programaren datu motak, zehaztasuna 0.5%+1? Errorea konpondu da.2TELEMARK-880 kristal kontrolatzailea (inportatu): 1 eta 99 estaldura prozesu automatikoen geruzak gorde ditzake, 99 programa datu mota. 精度% 0,5 + 1? Errore finkoa.

3. TELEMARK-820 kontrolagailu optikoa (inportatu): uhin anitzeko luzera espektro osoko amaierako puntuen analisi teknologia hartzen du, eta filmaren amaiera epaitzen du transmisibitatea aztertuz (edo islapen) monitore orriaren kurba 370-870 mm.Kontrolaren zehaztasun handia, uhin-luzera kontrol bakarra, kontrol automatikoa eta eskuzko kontrola ere erabil daitezke.Macileod film kalkulatzeko software osagarria, integrazio maila altua.

4. TELEMARK-820 kontrolagailu optikoak eta TELEMARK-880 kristal kontrolagailuak doitasun handiko eta errepikakortasun handiko estaldura eskakizunak bete ditzakete. Lankide ordenagailu ostalariarekin kontrol automatikoa egiteko..

5. Etxeko kontrolagailu optikoa (esaterako 9704 bat datorren monokromatzailea, etab.), uhin luzera erregulagarria da 330 ra 870, eta zehaztasuna ± 1,5 nm-ra iritsi daiteke.

Komunikatzailea

Oinarri magnetikoarekin, huts-ganberako atearen eta kontrol-armairuaren edozein posiziotan jar daiteke.

Agian zuk ere gustatzen zaizu