Ongi etorri gure webgunera
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Albiste industrialak

» Berriak » Albiste industrialak

Magnetronak sputtering target printzipioa

2021年8月31日

 

Helmuga magnetroiaren sputtering printzipioa:

Eremu magnetiko ortogonala eta eremu elektrikoa gehitzen dira xurgatutako xede artean (katodoa) eta anodoa, eta beharrezko gas geldoa (normalean Ar gas) hutsik handiko ganberan betetzen da. Iman iraunkorra osatzen da 250-350 xede materialaren gainazalean. Gaussen eremu magnetikoa, eta goi tentsioko eremu elektrikoak eremu elektromagnetiko ortogonala osatzen dute.

Eremu elektrikoaren ekintzaren azpian, Ar gasa ionio eta elektroi positiboetan ionizatzen da. Helburuari tentsio altu negatibo jakin bat aplikatzen zaio. Helburutik igorritako elektroiei eremu magnetikoak eragiten die eta lan egiteko gasaren ionizazio probabilitatea handitzen da, katodotik gertu dentsitate handiko plasma eratuz. Lorentz indarraren ekintzaren azpian, Ar ioiak helburuko gainazalera bizkortu eta abiadura bizian bonbardatzen dute, beraz, helburutik kanpora ateratako atomoek momentuaren bihurketaren printzipioa jarraitu eta energia zinetiko handiagoarekin xede-gainazaletik alde egiten dute.. Substratuaren deposizioa filmean.

Magnetroien sputtering orokorrean bi motatan banatzen da: ibaiadarren sputtering eta irrati frekuentzia sputtering. Ibaiadarretarako ihinztatzeko ekipoen printzipioa erraza da, eta bere abiadura ere bizkorra da metalak sputtering..Irrati frekuentzia sputtering aplikazio sorta zabalagoa da. Material eroaleak isurtzeaz gain, eroaleak ez diren materialak ere isuri daitezke. Momentu berean, sputtering erreaktiboa ere egin dezake oxidoak bezalako material konposatuak prestatzeko, nitruroak, eta karbidoak..Irrati frekuentziaren maiztasuna handitzen bada, mikrouhin-plasma bidezko sputtering bihurtzen da. Gaur egun, elektroi ziklotronoen erresonantzia (ECR) mikrouhin labeko plasma sputtering mota erabili ohi da..

Agian zuk ere gustatzen zaizu

  • Kategoriak

  • Azken Berriak & Bloga

  • Partekatu lagunarekin

  • ENPRESA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobio Metal Material Co., Ltd.. burdinazkoak ez diren metalen prozesamenduan espezializatutako Txinako enpresa bat da, bezero globalak kalitate handiko produktuekin eta salmenta osteko zerbitzu ezin hobean zerbitzatzea.

  • Jarri gurekin harremanetan

    Mugikorra:86-400-660-1855
    Posta elektronikoa:[email protected] aliyun.com
    Webgunea:www.chn-ti.com