Tere tulemast meie veebisaidile
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tööstusuudised

» Uudised » Tööstusuudised

Magnetroni pihustamise pritsimise sihtmärgi põhimõte

202131. august

 

Pihustamise sihtmärgi magnetroni pihustamise põhimõte:

Pihustatud sihtmärgi vahele lisatakse ortogonaalne magnetväli ja elektriväli (katood) ja anood, ja vajalikku inertgaasi (tavaliselt Ar gaas) täidetakse kõrgvaakumkambris. Tekib püsimagnet 250-350 sihtmaterjali pinnal. Gaussi magnetväli, ja kõrgepinge elektriväli moodustavad ortogonaalse elektromagnetvälja.

Elektrivälja toimel, Argaas ioniseerub positiivseteks ioonideks ja elektronideks. Sihtmärgile rakendatakse teatud negatiivne kõrgepinge. Sihtmärgist kiirgavaid elektrone mõjutab magnetväli ja töögaasi ionisatsiooni tõenäosus suureneb, moodustades katoodi lähedal suure tihedusega plasma. Lorentzi jõu mõjul, Arioonid kiirenevad sihtpinnale ja pommitavad sihtpinda suurel kiirusel, nii et sihtmärgist välja paisatud aatomid järgivad impulsi muundamise põhimõtet ja lendavad sihtpinnast kõrgema kineetilise energiaga minema. Substraadi ladestumine kilesse.

Magnetroni pihustamine on üldiselt jagatud kahte tüüpi: lisajõe pihustamine ja raadiosageduslik pihustamine. Lisajõu pritsimisseadmete põhimõte on lihtne, ja selle kiirus on ka metallide pihustamisel kiire..Raadiosagedusliku pihustamise rakendusala on laiem. Lisaks juhtivate materjalide pihustamisele, võib juhtida ka mittejuhtivaid materjale. Samal ajal, see võib läbi viia ka reaktiivse pihustamise, et valmistada ühendmaterjale nagu oksiidid, nitriidid, ja karbiidid..Kui raadiosageduse sagedust suurendatakse, see muutub mikrolaineplasma pihustamiseks. Hetkel, elektronide tsüklotronresonants (ECR) Tavaliselt kasutatakse mikrolaineplasma pihustamist..

Võib -olla teile meeldib ka

  • Kategooriad

  • Värsked uudised & Blogi

  • Jaga sõbrale

  • FIRMA

    Shaanxi Zhongbei titaan tantaal -nioobium Metal Material Co., Ltd. on Hiina ettevõte, mis on spetsialiseerunud värviliste metallide töötlemisele, teenindades globaalseid kliente kvaliteetsete toodete ja täiusliku müügijärgse teenindusega.

  • Võta meiega ühendust

    Mobiilne:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    võrk:www.chn-ti.com