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La influencia de la pulverización se centra en la pureza y la uniformidad del material en la producción de recubrimientos de gran superficie.

2021年10月10日

El editor del recubrimiento del material de destino se ha mencionado anteriormente., en el proceso de pulverización catódica, la calidad del material de destino es superior a la de la industria de materiales tradicionales. En este artículo, el editor continuará presentando el impacto de la pureza y uniformidad del material del material de destino en el recubrimiento de área grande. Ven y aprende sobre esto ~

La pureza del material objetivo de la pulverización catódica tiene un mayor impacto en el rendimiento de la película a recubrir.Cuando el vidrio limpio ingresa a la cámara de recubrimiento de alto vacío, si la pureza del material de destino no es suficiente, las partículas de impureza en el material objetivo se adherirán a la superficie del vidrio durante el proceso de pulverización catódica bajo la acción del campo eléctrico y el campo magnético. El fenómeno de separación aparece con firmeza., cuanto mayor sea la pureza del objetivo, cuanto mejor sea el rendimiento de la película depositada.

Para objetivos con baja conductividad térmica, como los objetivos SiA1, la presencia de impurezas en el objetivo a menudo hace que la transferencia de calor se bloquee, o la diferencia entre la temperatura del agua de refrigeración utilizada en la producción y la temperatura real del agua de la línea de revestimiento, etc., hace que el objetivo se agriete durante el uso. Las grietas menores no tendrán un gran impacto en la producción de recubrimientos., cuando hay grietas obvias en el material objetivo, la carga es muy fácil de concentrar en el borde de la parte de la grieta, que causará una descarga anormal en la superficie objetivo. El fenómeno de descarga causará caída de escoria, formación anormal de película, y mayor desperdicio de producto., en el proceso de preparación del objetivo, además de controlar la pureza, Las condiciones del proceso de preparación también deben controlarse..

Para objetivos de aleación, a menudo se produce una distribución desigual del material, como la aglomeración de aluminio en el objetivo de SiAl, segregación de aluminio en el objetivo de zinc-aluminio (la masa atómica del aluminio es 27 menor que la masa atómica del zinc 65, y el aluminio se enfría durante el proceso de enfriamiento después de verter. Flotará, causando un alto contenido de aluminio en un lado y bajo en un lado).Debido al bajo punto de fusión, el Al aglomerado en el objetivo de SiA1 es propenso a la escoria durante el proceso de formación de la película de pulverización catódica, y la cantidad de A1 añadida durante el proceso de pulverización es segura. Cuando ocurre parte de la aglomeración, indica que el contenido de aluminio en otras ubicaciones es menor, que afecta al objetivo de SiA1. La conductividad térmica y conductividad eléctrica de la película., resultando en una tasa de pulverización incoherente, mala uniformidad de la película, agrietamiento del material objetivo, agravando el fenómeno de la descarga de destino, y también reduciendo la calidad de la formación de la película. La segregación de los componentes objetivo afectará la tasa de pulverización catódica (uniformidad de la película) y composición de la película., además de controlar la pureza del material objetivo, La distribución del material en el objetivo de aleación también es muy importante..

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