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Lista de parámetros técnicos de la máquina de recubrimiento óptico multicapa

2021年8月31日

modelo
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
Tamaño de la sala de revestimiento
Ф1050 × 1250, 304 acero inoxidable.
Ф800 × 1000
Ф900 × 1050
Ф1200 × 1250
Tamaño interior de la cavidad de revestimiento
El soporte del accesorio está a 1680 mm sobre el suelo, adecuado para altura de operación ergonómica.
El soporte de la luminaria está a 1468 mm del suelo, adecuado para altura de operación ergonómica.
El soporte de la luminaria está a 1510 mm del suelo., adecuado para altura de operación ergonómica.
1.Disco arqueado de una pieza, para conocer clientes’ Necesita uniformidad en mayor medida. Rotación 5-30r / min., cambio de velocidad continuo.
2.El disco arqueado de tres piezas, revolución y rotación planetaria, para satisfacer las necesidades de los clientes de capacidad de producción en la mayor medida.Rotación 5-30r / min, cambio de velocidad continuo.
Accesorio
Disponible en cuatro piezas, el ángulo del soporte es ajustable, para satisfacer las necesidades de los clientes de uniformidad en mayor medida. Rotación 5-30r / min, cambio de velocidad continuo.
Disco arqueado de una pieza, para conocer clientes’ Necesita uniformidad en mayor medida. Rotación 5-30r / min., cambio de velocidad continuo.
Disco arqueado de una pieza, para conocer clientes’ Necesita uniformidad en mayor medida. Rotación 5-30r / min., cambio de velocidad continuo.
Sistema de vacío
Unidad: bomba de difusión DIP-12000 (Leybold), Bomba de raíces ZJY-300, bomba mecánica 2X-70, bomba de mantenimiento 2X-8. 304 acero inoxidable.
Unidad: Bomba de difusión KT-400 (Zhenhua), Bomba de raíces ZJY-150, bomba mecánica 2X-70, bomba de mantenimiento 2X-8.
Unidad: bomba de difusión KT-600 (Zhenhua), Bomba de raíces ZJY-600, bomba mecánica 2X-70, bomba de mantenimiento 2X-8.
Unidad: Bomba de difusión KT-800 (Zhenhua), Bomba de raíces ZJY-600, bomba mecánica 2X-70, bomba de mantenimiento 2X-8.
Vacío definitivo: mejor que 4 × 10-4 Pa.
Equipado con dispositivo anti-turbulencia., diseño de interbloqueo de seguridad, manual y automático opcional.
Sistema de calefacción
Método de calentamiento en el tubo de calentamiento., Control PID, máximo 350 ℃ ± 1,5 ℃.
Inflado de gas de trabajo
Instrumento de control de flujo másico de gas o ajuste fino manual de la válvula de inflado.
Bombardeo de ionización al vacío
CC 3KV, 06Cátodo de varilla KW (utilizado para limpiar la pieza de trabajo antes de recubrir).
Fuente de evaporación (Opcional)
1. Cañón de electrones TELEMARK-270 ° (importado), 6KW, Alto voltaje 4KV-10KV ajustable Escaneo de posicionamiento, escaneo de onda triangular, escaneo circular, Escaneo en espiral Buen enfoque puntual de haz, alta precisión de posicionamiento, y buena reproducibilidad de escaneo.
2. Cañón de electrones doméstico (Zhenhua): 6KW, alto voltaje 4KV ~ 8KV ajustable, puede elegir onda triangular, onda sinusoidal, exploración de onda cuadrada libremente.
3. Crisol: crisol de Φ38 × 20 de seis cavidades o crisol de Φ38 × 20 de cuatro cavidades más un crisol en forma de arco de una cavidad con una longitud de arco central de 87 (utilizado para un alto consumo de materiales de evaporación de bajo punto de fusión) o crisol de Φ48 × 18 de cuatro cavidades.
Fuente de iones (Opcional)
1. RF (Frecuencia de radio) Fuente de iones (Importado).
2. 5Fuente de iones KVA Hall (producido por Zhenhua), Se utiliza para la limpieza antes de la galvanoplastia o la galvanoplastia auxiliar en el proceso de galvanoplastia., que es beneficioso para mejorar el índice de refracción de la película, la firmeza, y la densidad y adherencia de la película.
Sistema de control de espesor de película (selección)
1. Controlador de cristal MDC-360 (importado) Puede almacenar 1 ~ 99 capas de proceso de recubrimiento automático, 99 tipos de datos de programa, precisión 0.5%+1? Error solucionado 2 Controlador de cristal TELEMARK-880 (importar): Puede almacenar 1 ~ 99 capas de proceso de recubrimiento automático, 99 tipos de datos de programa. 精度 0.5% + 1? Error fijo.
3. Controlador óptico TELEMARK-820 (importar): adopta la tecnología de análisis de punto final de espectro completo de longitud de onda múltiple, y juzga el final de la película analizando la transmitancia (o reflectancia) curva de la hoja del monitor 370-870 mm. Alta precisión de control, control de longitud de onda única, También se puede utilizar el control automático y el control manual. Software adicional de cálculo de película MACILEOD, alto grado de integración.
4. El controlador óptico TELEMARK-820 y el controlador de cristal TELEMARK-880 pueden cumplir con los requisitos de recubrimiento de alta precisión y alta repetibilidad. Coopere con la computadora host para realizar un control completamente automático.
5. Controlador óptico doméstico (tal como 9704 monocromador a juego, etc.), la longitud de onda es ajustable desde 330 para 870, y la precisión puede alcanzar ± 1,5 nm.
Comunicador
Con base magnética, se puede colocar en cualquier posición de la puerta de la cámara de vacío y el armario de control.

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